一种设有去除余胶的涂胶显影机涂胶装置的制作方法

本技术涉及涂胶显影机，具体为一种设有去除余胶的涂胶显影机涂胶装置。

背景技术：

1、涂胶显影机是制造半导体的常用设备，一般用于光刻胶涂布及显影等工艺，通过滴落的方式将胶体覆盖在基片的表面，并由基片的旋转将多余的胶体甩落在收集器内部；

2、公开号cn114496856a公开了一种涂胶显影机平整涂胶的装置及方法，固定座的下方设有涂胶器本体，涂胶器本体和固定座通过液压伸缩缸连接，两个侧板之间设有与固定座相配合的驱动组件，控制箱内设有若干第一转轴；硅片自身旋转，进而使得涂胶更加平整均匀，提高了工作效率，可以使得放置槽内的硅片脱离出来，便于取出硅片；

3、但是上述用于涂胶显影机中的平整涂胶的机构在实际使用过程中还存在以下问题：通过放置槽带动基片进行旋转，将多余的胶体通过离心力的方式甩落，但甩落的胶体无法限定其飞行方向，进而容易与周围的基片相互粘连，而通过桶状的收集器收集时又会因胶体反复堆积而发生飞溅反射，进而容易造成重复涂胶等情况，影响基片涂胶的效果。

4、所以我们提出了一种设有去除余胶的涂胶显影机涂胶装置，以便于解决上述中提出的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种设有去除余胶的涂胶显影机涂胶装置，以解决上述背景技术提出的目前通过放置槽带动基片进行旋转，将多余的胶体通过离心力的方式甩落，但甩落的胶体无法限定其飞行方向，进而容易与周围的基片相互粘连，而通过桶状的收集器收集时又会因胶体反复堆积而发生飞溅反射，进而容易造成重复涂胶等情况，影响基片涂胶的效果。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种设有去除余胶的涂胶显影机涂胶装置，包括涂胶装置本体，以及开设于涂胶装置本体顶端内部的涂胶腔体；

3、所述涂胶装置本体的顶面滑动设置有防溅盖板，且防溅盖板的左右两端呈前后对称的方式固定设置有定位滑杆；

4、还包括：所述涂胶装置本体内部的涂胶腔体中设置有胶体存储器，且胶体存储器的内部中心位置处固定设置有防止发生偏移的定位锁止柱；

5、其中，防溅盖板的后方内部通过轴承转动设置有驱动齿轮，且驱动齿轮的转轴处固定连接于驱动电机的输出轴底端；

6、其中，防溅盖板的内壁转动设置有导向内齿环，防溅盖板的内部固定设置有定位外齿环。

7、优选的，所述防溅盖板通过两端对称设置的定位滑杆滑动贯穿设置于涂胶装置本体顶端内部的涂胶腔体中，且防溅盖板与涂胶腔体以及胶体存储器之间为竖向同圆心的结构分布设置，并且防溅盖板与后方顶部的驱动电机之间固定连接。

8、优选的，所述防溅盖板的下方中部固定设置有定位环体，且定位环体与防溅盖板内部的定位外齿环之间通过等角度设置的斜拉定位杆相互连接，并且安装之后的定位环体套设连接于胶体存储器内部定位锁止柱的外壁。

9、优选的，所述防溅盖板后方的驱动齿轮啮合连接于导向内齿环的外壁，且导向内齿环与定位外齿环之间等角度转动设置有导向齿轮，并且等角度转动设置的导向齿轮分别啮合连接于导向内齿环的内壁与定位外齿环的外壁。

10、优选的，等角度设置的导向齿轮的中部均固定连接于旋转导杆的顶端，且等角度设置的旋转导杆的左右两侧均固定设置有主除胶刮板，并且等角度设置的主除胶刮板均贴合滑动设置于胶体存储器的内壁。

11、优选的，所述胶体存储器的内部底面均等角度开设有流通导槽，且胶体存储器的内部底面均等角度设置有副除胶刮板，且等角度设置的副除胶刮板的底面贴合滑动设置于胶体存储器的底面，并且等角度设置的副除胶刮板的顶端固定连接于旋转导杆的顶端。

12、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该一种设有去除余胶的涂胶显影机涂胶装置，通过涂胶装置本体内部胶体存储器的设置，能够对依靠离心力甩落的胶体进行收集，防止飞溅的胶体影响涂胶装置本体的工作，并通过主除胶刮板以及副除胶刮板针对内壁以及底面的胶体通过流通导槽排出，防止堆积的胶体影响甩落胶体收集，其具体内容如下：

13、1.通过涂胶装置本体内部涂胶腔体中胶体存储器的设置，能够在安装过程中通过定位锁止柱套设于基片定位器的外壁，并将胶体存储器定位于涂胶腔体中，进而能够对依靠离心力甩落的胶体进行收集，防止飞溅的胶体影响涂胶装置本体的工作；

14、2.通过防溅盖板内部等角度分布的主除胶刮板以及副除胶刮板的设置，能够在工作情况下通过旋转导杆自身的旋转与公转，带动贴合于胶体存储器内壁以及底面的胶体进行清除，并由流通导槽排出，防止堆积的胶体影响甩落胶体收集。

技术特征：

1.一种设有去除余胶的涂胶显影机涂胶装置，包括涂胶装置本体（1），以及开设于涂胶装置本体（1）顶端内部的涂胶腔体（2）；

2.根据权利要求1所述的一种设有去除余胶的涂胶显影机涂胶装置，其特征在于：所述防溅盖板（3）通过两端对称设置的定位滑杆（4）滑动贯穿设置于涂胶装置本体（1）顶端内部的涂胶腔体（2）中，且防溅盖板（3）与涂胶腔体（2）以及胶体存储器（5）之间为竖向同圆心的结构分布设置，并且防溅盖板（3）与后方顶部的驱动电机（8）之间固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种设有去除余胶的涂胶显影机涂胶装置，其特征在于：所述防溅盖板（3）的下方中部固定设置有定位环体（11），且定位环体（11）与防溅盖板（3）内部的定位外齿环（10）之间通过等角度设置的斜拉定位杆（12）相互连接，并且安装之后的定位环体（11）套设连接于胶体存储器（5）内部定位锁止柱（6）的外壁。

4.根据权利要求3所述的一种设有去除余胶的涂胶显影机涂胶装置，其特征在于：所述防溅盖板（3）后方的驱动齿轮（7）啮合连接于导向内齿环（9）的外壁，且导向内齿环（9）与定位外齿环（10）之间等角度转动设置有导向齿轮（13），并且等角度转动设置的导向齿轮（13）分别啮合连接于导向内齿环（9）的内壁与定位外齿环（10）的外壁。

5.根据权利要求4所述的一种设有去除余胶的涂胶显影机涂胶装置，其特征在于：等角度设置的导向齿轮（13）的中部均固定连接于旋转导杆（14）的顶端，且等角度设置的旋转导杆（14）的左右两侧均固定设置有主除胶刮板（15），并且等角度设置的主除胶刮板（15）均贴合滑动设置于胶体存储器（5）的内壁。

6.根据权利要求1所述的一种设有去除余胶的涂胶显影机涂胶装置，其特征在于：所述胶体存储器（5）的内部底面均等角度开设有流通导槽（16），且胶体存储器（5）的内部底面均等角度设置有副除胶刮板（17），且等角度设置的副除胶刮板（17）的底面贴合滑动设置于胶体存储器（5）的底面，并且等角度设置的副除胶刮板（17）的顶端固定连接于旋转导杆（14）的顶端。

技术总结本技术公开了一种设有去除余胶的涂胶显影机涂胶装置，包括涂胶装置本体；所述涂胶装置本体的顶面滑动设置有防溅盖板；还包括：所述涂胶装置本体内部的涂胶腔体中设置有胶体存储器；其中，防溅盖板的后方内部通过轴承转动设置有驱动齿轮，且驱动齿轮的转轴处固定连接于驱动电机的输出轴底端；其中，防溅盖板的内壁转动设置有导向内齿环。该设有去除余胶的涂胶显影机涂胶装置，通过涂胶装置本体内部胶体存储器的设置，能够对依靠离心力甩落的胶体进行收集，防止飞溅的胶体影响涂胶装置本体的工作，并通过主除胶刮板以及副除胶刮板针对内壁以及底面的胶体通过流通导槽排出，防止堆积的胶体影响甩落胶体收集。技术研发人员：安礼余,肖山竹受保护的技术使用者：宇弘研科技（苏州）有限公司技术研发日：20231008技术公布日：2024/5/16