一种光刻机自动对焦结构的制作方法

本技术涉及光刻机设备，具体为一种光刻机自动对焦结构。

背景技术：

1、光刻机是全息防伪、衍射光学元件和微光学元件制造以及集成电路和微电子元件制造的关键设备，光刻技术是推动微光学和微电子技术发展的核心动力，其主要作用是进行曝光。在曝光的过程中，由于感光材料本身和涂敷感光材料的基底存在起伏，厚度存在差异，以及投影镜头的焦平面位置存在偏差时，会严重影响最终生成的图像质量，无法生产出高质量的光刻产品。因此，必须控制投影微缩镜头的对焦，使得整个曝光过程中，感光材料表面位于投影镜头的成像平面上，保证成像在感光材料表面的图像是最清晰的。

2、传统的对焦装置在对焦时不可调节高度和不可调节基片的角度，进而降低对焦效率，且现有的光刻机对焦装置对应固定装置只能对固定大小的基片进行夹取固定，无法对不同尺寸大小的基片进行固定，降低了实用性，进而使得对焦不够精准。

技术实现思路

1、针对上述技术问题，本实用新型提供一种光刻机自动对焦结构，可以便捷的对基片进行固定，并保证了对基片进行自动对焦，提高了装置的实用性。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光刻机自动对焦结构，包括支撑组件、以及设置在支撑组件上对基片进行固定且自动对焦的对焦机构，对焦机构包括沿竖直方向设置在支撑组件上的升降组件设置在升降组件上的旋转组件、横向设置在旋转组件上的调角组件、设置在调角组件上的固定盘、以及设置在固定盘远离调角组件一端端面上对基片进行固定的固定组件；

3、调角组件包括横向设置在旋转组件上且上侧面沿长度方向开设调节槽内的调节块、设置在调节槽内并驱动调节块在调节槽内进行移动的调节件、以及一端与调节块转动连接且另一端通过转动块与固定盘底端连接的调节杆，调高杆上侧面远离转动块一端的位置也设置有与固定盘底端端面连接的转动块。

4、优选的，调节件包括穿设于调节槽内并与调节块螺纹连接的调节丝杆、以及设置在调高杆内并驱动调节丝杆进行转动的电机。

5、优选的，固定盘顶端端面上呈圆周整列开设有三条滑槽，且每个滑槽开口方向的长度方向均过固定盘端面圆心位置；固定组件包括三根一一对应设置在滑槽内的第一滑杆、活动套设于第一滑杆上的第一滑块、设置在固定盘顶端端面上的第一滑块上的吸盘、设置在固定盘内且转动设置在第一滑块上的第二滑块、通过电机设置在固定盘内且位于固定盘中部位置上的控制盘、以及三根呈圆周阵列设置在控制盘上的第二滑杆，第二滑杆分别一一对应活动穿设于不同第二滑块上；第二滑杆的长度方向偏离固定盘的轴线方向。

6、优选的，支撑组件包括设置在安装底座上的旋转台、穿设于安装底座内且驱动旋转台进行转动的第一旋转电机、多根底端一一对应穿设于旋转台顶端呈圆周阵列开设插接槽内的限位杆、以及多根垂直旋转台侧面螺纹连接设置旋转台上的固定螺栓，多根固定螺栓分别一一对应穿设于不同插接槽内。

7、优选的，升降组件包括底端活动穿设于限位杆顶端开设升降槽内且顶端通过旋转组件连接调高杆杆身中部的升降杆、以及穿设于升降槽内且通过电机驱动的升降丝杆，升降丝杆穿设于升降杆内且与升降杆螺纹连接。

8、优选的，旋转组件包括设置在升降杆顶端端部上且输出端连接调高杆杆身中部的第二旋转电机。

9、本实用新型的有益效果：其中直接将基片放置于固定盘上，并通过设置在固定盘上的固定组件对基片进行固定，通过升降组件和设置在升降组件上的旋转组件、以及设置在旋转组件上的调角组件从而便于对经过固定组件固定的基片进行自动对焦，可以便捷的对基片进行固定，并保证了对基片进行自动对焦，提高了装置的实用性。

技术特征：

1.一种光刻机自动对焦结构，包括支撑组件、以及设置在支撑组件上对基片进行固定且自动对焦的对焦机构，其特征在于，对焦机构包括沿竖直方向设置在支撑组件上的升降组件设置在升降组件上的旋转组件、横向设置在旋转组件上的调角组件、设置在调角组件上的固定盘(9)、以及设置在固定盘(9)远离调角组件一端端面上对基片进行固定的固定组件；

2.根据权利要求1所述的一种光刻机自动对焦结构，其特征在于：调节件包括穿设于调节槽(13)内并与调节块(14)螺纹连接的调节丝杆(17)、以及设置在调高杆(8)内并驱动调节丝杆(17)进行转动的电机。

3.根据权利要求2所述的一种光刻机自动对焦结构，其特征在于：固定盘(9)顶端端面上呈圆周整列开设有三条滑槽，且每个滑槽开口方向的长度方向均过固定盘(9)端面圆心位置；固定组件包括三根一一对应设置在滑槽内的第一滑杆(18)、活动套设于第一滑杆(18)上的第一滑块(19)、设置在固定盘(9)顶端端面上的第一滑块(19)上的吸盘(10)、设置在固定盘(9)内且转动设置在第一滑块(19)上的第二滑块(21)、通过电机设置在固定盘(9)内且位于固定盘(9)中部位置上的控制盘(23)、以及三根呈圆周阵列设置在控制盘(23)上的第二滑杆(20)，第二滑杆(20)分别一一对应活动穿设于不同第二滑块(21)上；第二滑杆(20)的长度方向偏离固定盘(9)的轴线方向。

4.根据权利要求3所述的一种光刻机自动对焦结构，其特征在于：支撑组件包括设置在安装底座(1)上的旋转台(2)、穿设于安装底座(1)内且驱动旋转台(2)进行转动的第一旋转电机(3)、多根底端一一对应穿设于旋转台(2)顶端呈圆周阵列开设插接槽(4)内的限位杆(6)、以及多根垂直旋转台(2)侧面螺纹连接设置旋转台(2)上的固定螺栓(5)，多根固定螺栓(5)分别一一对应穿设于不同插接槽(4)内。

5.根据权利要求4所述的一种光刻机自动对焦结构，其特征在于：升降组件包括底端活动穿设于限位杆(6)顶端开设升降槽内且顶端通过旋转组件连接调高杆(8)杆身中部的升降杆(7)、以及穿设于升降槽内且通过电机驱动的升降丝杆(12)，升降丝杆(12)穿设于升降杆(7)内且与升降杆(7)螺纹连接。

6.根据权利要求5所述的一种光刻机自动对焦结构，其特征在于：旋转组件包括设置在升降杆(7)顶端端部上且输出端连接调高杆(8)杆身中部的第二旋转电机(11)。

技术总结本技术提供一种光刻机自动对焦结构，对焦机构包括沿竖直方向设置在支撑组件上的升降组件设置在升降组件上的旋转组件、横向设置在旋转组件上的调角组件、设置在调角组件上的固定盘、以及设置在固定盘远离调角组件一端端面上对基片进行固定的固定组件；调角组件包括横向设置在旋转组件上且上侧面沿长度方向开设调节槽内的调节块、设置在调节槽内并驱动调节块在调节槽内进行移动的调节件、以及一端与调节块转动连接且另一端通过转动块与固定盘底端连接的调节杆，调高杆上侧面远离转动块一端的位置也设置有与固定盘底端端面连接的转动块；本技术可以便捷的对基片进行固定，并保证了对基片进行自动对焦，提高了装置的实用性。技术研发人员：李文静,章广飞,王运钢,薛业保受保护的技术使用者：安徽国芯光刻技术有限公司技术研发日：20231008技术公布日：2024/5/16