一种光刻胶供应装置的制作方法

本技术涉及生产设备，特别涉及一种光刻胶供应装置。

背景技术：

1、光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。

2、光刻胶一般储存于放置桶内，使用时，通过使出胶管穿过放置桶顶部的桶口，并置于放置桶的内部，进而从放置桶内抽取光刻胶以供使用。

3、但通过此种方式，在放置桶需要进行更换时，需要将出胶管从前一放置桶内取出，再重新插入新的放置桶内，在更换放置桶的过程中，容易使出胶管受到外界环境污染，且在抽取过程中，放置桶底部的光刻胶难以全部抽出，产生光刻胶残留，拉高生产成本。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种光刻胶供应装置，旨在解决现有技术中通过将出胶管穿过放置桶的顶部的桶口后，置于放置桶内进行光刻胶抽取的供胶方式，在更换放置桶，取出出胶管时，容使出胶管受外界环境污染，且放置桶底部的光刻胶难以取尽，拉高生产成本的技术问题。

2、为了实现上述目的，本实用新型是通过如下技术方案来实现的：

3、一种光刻胶供应装置，包括供胶桶、出胶管及用于承载所述供胶桶的放置台，所述供胶桶包括自上而下依次连接的平直部、倒锥部及出口部，所述放置台的顶部内凹形成放置槽，所述放置槽自上而下依次形成与所述平直部适配的第一圆柱槽、与所述倒锥部适配的倒锥槽及与所述出口部适配的第二圆柱槽，所述第二圆柱槽贯穿所述放置台，并与外部连通，所述出胶管的一端穿过所述第二圆柱槽，并插接于所述出口部内，所述放置台内设置开合机构，所述开合机构用于当所述放置桶置于所述放置槽内时，开启所述第二圆柱槽，当所述放置桶脱离所述放置槽时，闭合所述第二圆柱槽。

4、与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：将所述出口部设于所述供胶桶的底部，可实现所述供胶桶的底部出胶，避免供胶过程中，光刻胶残留于所述供胶桶内；且通过设置所述倒锥部，可在出胶时将光刻胶导流至所述出口部，进一步避免光刻胶残留的问题；将所述出胶管穿过所述第二圆柱槽，并插接于所述出口部内，以完成供胶，在需要更换所述供胶桶时，无需抽离所述出胶管，仅需将所述供胶桶自所述放置槽内取出，可一定程度减少出胶管与外部环境的接触，进一步地，在于所述放置槽内取出所述供胶桶时，通过设置所述开合机构闭合所述第二圆柱槽，可更好的将所述出胶管与外部隔绝，确保其洁净度。

5、进一步，所述开合机构包括接触板、升降杆及封闭板，所述放置槽内设置所述接触板，所述倒锥槽的内壁形成沿垂向延伸的升降槽，所述升降杆的一端连接所述接触板的底部，所述升降杆的另一端置于所述升降槽内，所述第二圆柱槽的内壁内凹形成第一活动槽，所述封闭板活动连接于所述第一活动槽内，且所述封闭板背向所述第二圆柱槽的一端连接驱动单元，所述升降杆背向所述接触板的一端抵接所述驱动单元，所述驱动单元用于使所述封闭板进入或脱离所述第二圆柱槽。

6、更进一步，所述驱动单元为驱动块及第一弹簧，所述放置台内设置第二活动槽，所述第二活动槽分别连通所述第一活动槽及所述升降槽，所述驱动块活动连接于所述第二活动槽内，所述驱动块的顶部形成倾斜面，所述倾斜面与所述封闭板之间形成钝角，所述升降杆背向所述接触板的一端抵接所述倾斜面，所述第一弹簧的一端连接所述接触板背向所述封闭板的一面，所述第一弹簧的另一端连接所述第二活动槽背向所述第一活动槽的内壁。

7、更进一步，所述倒锥槽的内壁内凹形成容纳槽，所述容纳槽用于容纳所述接触板，所述容纳槽的底部内凹形成所述升降槽。

8、更进一步，所述升降杆外套接第二弹簧，所述第二弹簧的一端连接所述接触板朝向所述升降杆的一面，所述第二弹簧的另一端连接所述容纳槽的底部。

9、更进一步，所述接触板背向所述升降杆的一面与所述倒锥部的外侧壁的形状适配。

10、更进一步，所述放置台的底部设置固定机构，所述固定机构用于固定所述出胶管。

11、更进一步，所述固定机构包括连接杆及锁环，所述锁环套接于所述出胶管上，所述连接杆的一端活动连接所述放置台的底部，所述连接杆的另一端连接所述锁环。

技术特征：

1.一种光刻胶供应装置，其特征在于，包括供胶桶、出胶管及用于承载所述供胶桶的放置台，所述供胶桶包括自上而下依次连接的平直部、倒锥部及出口部，所述放置台的顶部内凹形成放置槽，所述放置槽自上而下依次形成与所述平直部适配的第一圆柱槽、与所述倒锥部适配的倒锥槽及与所述出口部适配的第二圆柱槽，所述第二圆柱槽贯穿所述放置台，并与外部连通，所述出胶管的一端穿过所述第二圆柱槽，并插接于所述出口部内，所述放置台内设置开合机构，所述开合机构用于当所述供胶桶置于所述放置槽内时，开启所述第二圆柱槽，当所述供胶桶脱离所述放置槽时，闭合所述第二圆柱槽。

2.根据权利要求1所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述开合机构包括接触板、升降杆及封闭板，所述放置槽内设置所述接触板，所述倒锥槽的内壁形成沿垂向延伸的升降槽，所述升降杆的一端连接所述接触板的底部，所述升降杆的另一端置于所述升降槽内，所述第二圆柱槽的内壁内凹形成第一活动槽，所述封闭板活动连接于所述第一活动槽内，且所述封闭板背向所述第二圆柱槽的一端连接驱动单元，所述升降杆背向所述接触板的一端抵接所述驱动单元，所述驱动单元用于使所述封闭板进入或脱离所述第二圆柱槽。

3.根据权利要求2所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述驱动单元为驱动块及第一弹簧，所述放置台内设置第二活动槽，所述第二活动槽分别连通所述第一活动槽及所述升降槽，所述驱动块活动连接于所述第二活动槽内，所述驱动块的顶部形成倾斜面，所述倾斜面与所述封闭板之间形成钝角，所述升降杆背向所述接触板的一端抵接所述倾斜面，所述第一弹簧的一端连接所述接触板背向所述封闭板的一面，所述第一弹簧的另一端连接所述第二活动槽背向所述第一活动槽的内壁。

4.根据权利要求2所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述倒锥槽的内壁内凹形成容纳槽，所述容纳槽用于容纳所述接触板，所述容纳槽的底部内凹形成所述升降槽。

5.根据权利要求4所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述升降杆外套接第二弹簧，所述第二弹簧的一端连接所述接触板朝向所述升降杆的一面，所述第二弹簧的另一端连接所述容纳槽的底部。

6.根据权利要求2所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述接触板背向所述升降杆的一面与所述倒锥部的外侧壁的形状适配。

7.根据权利要求1所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述放置台的底部设置固定机构，所述固定机构用于固定所述出胶管。

8.根据权利要求7所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述固定机构包括连接杆及锁环，所述锁环套接于所述出胶管上，所述连接杆的一端活动连接所述放置台的底部，所述连接杆的另一端连接所述锁环。

技术总结本技术提供一种光刻胶供应装置，包括供胶桶、出胶管及用于承载供胶桶的放置台，供胶桶包括平直部、倒锥部及出口部，放置台的顶部内凹形成放置槽，放置槽形成与平直部适配的第一圆柱槽、与倒锥部适配的倒锥槽及与出口部适配的第二圆柱槽，第二圆柱槽贯穿放置台，并连接出胶管，放置台内设置开合机构，开合机构用于开合第二圆柱槽。将出口部设于供胶桶的底部，可实现供胶桶的底部出胶，避免，光刻胶残；在需要更换供胶桶时，无需抽离出胶管，仅需将供胶桶自放置槽内取出，可减少出胶管与外部环境的接触，在于放置槽内取出供胶桶时，通过设置开合机构闭合第二圆柱槽，可更好的将出胶管与外部隔绝，确保其洁净度。技术研发人员：涂亮亮,丁建峰,王祥,牛琳受保护的技术使用者：南昌三盛半导体有限公司技术研发日：20230927技术公布日：2024/5/16