光学组件安装结构的制作方法

本申请涉及精密对准测量领域，具体涉及一种光学组件安装结构。

背景技术：

1、目前有通过相机组件直接采集莫尔条纹图像来测量两光学元件间的相对位移量的精密对准技术，但是无法同时测量两被测光学元件之间的间隙值，无法做到对两光学元件间的相对位移量和间隙值的实时同步精密测量。

2、基于此，本发明设计了一种精密对准及间隙测量结构，以解决上述问题。

技术实现思路

1、本申请实施例提供一种光学组件安装结构，旨在解决现有技术中无法做到对两光学元件间的相对位移量和间隙值的实时同步精密测量的技术问题。

2、本申请实施例提供的光学组件安装结构，包括

3、检焦照明镜筒，用于安装第一镜组；

4、第一主镜筒，用于安装第二镜组，第二镜组至少包括分别位于第一主镜筒两端的第一分光棱镜和第二分光棱镜；

5、第二主镜筒，用于安装第三镜组；

6、对准成像镜筒，用于安装第四镜组；

7、第一棱镜固定筒，用于安装第三分光棱镜；

8、第二棱镜固定筒，用于安装第四分光棱镜；

9、检焦照明镜筒、第二主镜筒、对准成像镜筒、第二棱镜固定筒均与第一主镜筒可通光地连接，第一棱镜固定筒与第二主镜筒可通光地连接；

10、检焦照明镜筒、第一主镜筒、第二主镜筒和第一棱镜固定筒可使第一镜组、第一分光棱镜、第三镜组和第三分光棱镜组成检焦照明镜头；

11、第一棱镜固定筒、第二主镜筒、第一主镜筒和对准成像镜筒可使第三分光棱镜、第三镜组、第二镜组和第四镜组组成对准成像镜头；

12、第一棱镜固定筒、第二主镜筒、第一主镜筒和第二棱镜固定筒可使第三分光棱镜、第三镜组、第二镜组和第四分光棱镜组成检焦镜头。

13、根据本申请前述实施方式，第一主镜筒的横截面为方形，第一主镜筒包括沿着周向依次分布的第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁，光学组件安装结构还包括位于第一主镜筒两端的第一端壁和第二端壁；

14、检焦照明镜筒设置于第一侧壁上，第二主镜筒设置于第一端壁上，以使第一镜组通过第一分光棱镜与第三镜组可导光的连接；

15、对准成像镜筒设置于第二侧壁上，第二棱镜固定筒设置于第二端壁上，以使第四镜组、第四分光棱镜均通过第二镜组与第三镜组可导光的连接。

16、根据本申请前述任一实施方式，第一棱镜固定筒为六面体结构，

17、第一棱镜固定筒包括第一通光孔、第二通光孔和第三通光孔，第一通光孔位于第一棱镜固定筒的第五侧壁上，第二通光孔位于第一棱镜固定筒的第六侧壁上，第三通光孔位于第一棱镜固定筒的第七侧壁上，第六侧壁与第七侧壁相对且均与第五侧壁相邻，

18、第一通光孔用于与第二主镜筒可通光地连通，

19、第二通光孔用于使光线在被测光学元件与第三分光棱镜间通过，

20、第三通光孔用于使曝光照明光通向第三分光棱镜。

21、根据本申请前述任一实施方式，第二棱镜固定筒为六面体结构，第二棱镜固定筒包括第四通光孔、第五通光孔和第六通光孔，第四通光孔位于第二棱镜固定筒的第八侧壁上，第五通光孔位于第二棱镜固定筒的第九侧壁上，第六通光孔位于第二棱镜固定筒的第十侧壁上，第八侧壁与第九侧壁相对，第十侧壁与第八侧壁、第九侧壁均相邻，

22、第四通光孔用于与第一主镜筒可通光地连通，

23、第五通光孔用于与外部相机可通光地连通，相机用于获取被测光学元件照明区域的图像信息，

24、第六通光孔用于与外部光谱仪可通光地连通，光谱仪用于接收被测光学元件反射的光谱信息。

25、根据本申请前述任一实施方式，光学组件安装结构还包括分光器安装组件，分光器安装组件与第一主镜筒分别位于对准成像镜筒的两个端部，

26、分光器安装组件用于安装多棱锥反光镜，多棱锥反光镜具有至少n个反光面，可将来自对准成像镜筒的光分反射成n束光，

27、其中，n为大于等于2的正整数。

28、根据本申请前述任一实施方式，分光器安装组件包括支撑板和分光罩，支撑板位于对准成像镜筒与分光罩之间，用于与对准成像镜筒连接、支撑分光罩，

29、多棱锥反光镜安装于分光罩上，分光罩上具有n个分光孔，各个分光孔与多棱锥反光镜的各个分光面一一对应，各分光孔用于供从对应的分光面反射的光通过。

30、根据本申请前述任一实施方式，光学组件安装结构还包括n个镜头安装调节组件，每个镜头安装调节组件上安装有一个镜头组件，各个镜头组件与分光罩上的各个分光孔一一对应，

31、对准成像镜头用于传递被测光学元件生产生的莫尔条纹信息，

32、多棱锥反光镜用于将来自对准成像镜头的莫尔条纹信息分成n路，

33、镜头组件用于对来自对应的分光面的莫尔条纹信息进行成像。

34、根据本申请前述任一实施方式，镜头安装调节组件包括

35、第一基座，用于支撑第二基座，

36、第二基座，用于支撑镜头组件，

37、z轴移动机构，用于使第二基座相对于第一基座沿着z轴方向相对移动。

38、根据本申请前述任一实施方式，镜头安装调节组件还包括

39、第三基座，与第二基座可移动地连接，用于支撑镜头组件，

40、x轴移动机构，用于使第三基座相对于第二基座沿着x轴方向相对移动，

41、其中，x轴与z轴相互垂直。

42、根据本申请前述任一实施方式，镜头安装调节组件还包括

43、第四基座，与第三基座可移动地连接，用于支撑镜头组件，

44、y轴移动机构，用于使第四基座相对于第三基座沿着y轴方向相对移动，

45、其中，y轴与z轴相互垂直，y轴与x轴相互垂直。

46、根据本申请前述任一实施方式，镜头安装调节组件还包括

47、第五基座，与第四基座可转动地连接，用于支撑镜头组件，

48、x-y轴转动机构，用于使第五基座相对于第四基座绕着x-y轴转动，

49、其中，x-y轴与z轴相互垂直，x-y轴与y轴和x轴的夹角均为45°。

50、本申请实施例的光学组件安装结构，通过合理布局光学元件的安装结构，形成检焦照明镜头、对准成像镜头和检焦镜头，其中对准成像镜头将被测光学元件生成的莫尔条纹图像传递到镜头组件，检焦镜头将反射的光谱信息传递到外部光谱仪，将检焦照明区域图像传递到外部相机；可以实现对被测光学元件的相对位移和间隙值进行同步精确测量。

技术特征：

1.一种光学组件安装结构，其特征在于：包括

2.根据权利要求1所述的光学组件安装结构，其特征在于：所述第一主镜筒的横截面为方形，所述第一主镜筒包括沿着周向依次分布的第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁，还包括位于第一主镜筒两端的第一端壁和第二端壁；

3.根据权利要求2所述的光学组件安装结构，其特征在于：所述第一棱镜固定筒为六面体结构，

4.根据权利要求2所述的光学组件安装结构，其特征在于：所述第二棱镜固定筒为六面体结构，所述第二棱镜固定筒包括第四通光孔、第五通光孔和第六通光孔，所述第四通光孔位于所述第二棱镜固定筒的第八侧壁上，所述第五通光孔位于所述第二棱镜固定筒的第九侧壁上，所述第六通光孔位于所述第二棱镜固定筒的第十侧壁上，所述第八侧壁与第九侧壁相对，所述第十侧壁与所述第八侧壁、第九侧壁均相邻，

5.根据权利要求2所述的光学组件安装结构，其特征在于：还包括分光器安装组件，所述分光器安装组件与所述第一主镜筒分别位于所述对准成像镜筒的两个端部，

6.根据权利要求5所述的光学组件安装结构，其特征在于：所述分光器安装组件包括支撑板和分光罩，所述支撑板位于所述对准成像镜筒与所述分光罩之间，用于与所述对准成像镜筒连接、支撑所述分光罩，

7.根据权利要求6所述的光学组件安装结构，其特征在于：还包括n个镜头安装调节组件，每个镜头安装调节组件上安装有一个镜头组件，各个镜头组件与所述分光罩上的各个分光孔一一对应，

8.根据权利要求6所述的光学组件安装结构，其特征在于：所述镜头安装调节组件包括

9.根据权利要求8所述的光学组件安装结构，其特征在于：所述镜头安装调节组件还包括

10.根据权利要求9所述的光学组件安装结构，其特征在于：所述镜头安装调节组件还包括

11.根据权利要求10所述的光学组件安装结构，其特征在于：所述镜头安装调节组件还包括

技术总结本申请属于精密对准测量技术领域，具体公开了一种光学组件安装结构，包括检焦照明镜筒、第一主镜筒、第二主镜筒、对准成像镜筒、第一棱镜固定筒、第二棱镜固定筒，检焦照明镜筒、第二主镜筒、对准成像镜筒、第二棱镜固定筒均与第一主镜筒可通光地连接，第一棱镜固定筒与第二主镜筒可通光地连接；检焦照明镜筒、第一主镜筒、第二主镜筒和第一棱镜固定筒及其内部安装的透镜构成检焦照明镜头；第一棱镜固定筒、第二主镜筒、第一主镜筒和对准成像镜筒及其内部的透镜构成对准成像镜头；第一棱镜固定筒、第二主镜筒、第一主镜筒和第二棱镜固定筒及其内部的透镜构成检焦镜头；可以实现对被测光学元件的相对位移和间隙值进行同步精确测量。技术研发人员：罗先刚,郑名雅,申洪羽,刘明刚受保护的技术使用者：天府兴隆湖实验室技术研发日：技术公布日：2024/5/16