滤光片和LiDAR传感器用罩的制作方法

本发明涉及阻隔可见光区域的光并且透射近红外区域的光的滤光片和具有该滤光片的lidar传感器用罩。

背景技术：

1、光探测和测距(lidar)等对将近红外激光照射到对象物上并反射而返回的光进行检测的传感器模块具有用于保护激光光源和传感器的罩。在此，为了提高传感器的灵敏度，将透射800nm以上的近红外光并且阻隔成为干扰因素的可见光的滤光片用于罩。

2、在专利文献1中记载了一种带有减反射膜的透明基体，所述带有减反射膜的透明基体具有透明基体和通过将高折射率膜和低折射率膜层叠而得到的减反射膜，并且适合于具有近红外光传感器的车载显示装置的罩。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本专利第6881172号公报

技术实现思路

1、发明所要解决的问题

2、对于能够用作传感器模块的罩的滤光片，即使在光的入射角度高的情况下，也要求近红外光的透射性和可见光的阻隔性等光谱特性优异，并且为了提高外观上的设计性，要求颜色为黑色。

3、此外，特别是在车载用的情况下，设想传感器模块的罩暴露在海水、融雪剂等外部环境中，对于用于罩的滤光片，除了要求上述光谱特性以外，还要求高耐盐水腐蚀性。

4、本发明的目的在于，提供光谱特性、外观上的设计性和耐盐水腐蚀性优异的滤光片。

5、用于解决问题的手段

6、本发明提供具有以下构成的滤光片。

7、一种滤光片，所述滤光片具有基材、层叠在所述基材的至少一个主面侧的介质多层膜和层叠在所述介质多层膜上的保护层，其中，所述介质多层膜具有包含非晶硅的层和折射率与所述包含非晶硅的层不同的层，所述保护层包含混合膜，所述混合膜包含选自钽、铌、锆、钛、铪、钨、锡、铈、铬、镍和钒中的至少一种金属的氧化物和二氧化硅。

8、发明效果

9、根据本发明，能够提供近红外光的透射性和可见光的阻隔性优异、外观上的颜色为黑色并且耐盐水腐蚀性优异的滤光片和具有该滤光片的lidar传感器用罩。

技术特征：

1.一种滤光片，所述滤光片具有基材、层叠在所述基材的至少一个主面侧的介质多层膜和层叠在所述介质多层膜上的保护层，其中，

2.如权利要求1所述的滤光片，其中，所述保护层包含氧化铌和二氧化硅，所述保护层的波长550nm下的折射率为1.49以上且2.20以下。

3.如权利要求1所述的滤光片，其中，在所述保护层中，在将选自钽、铌、锆、钛、铪、钨、锡、铈、铬、镍和钒中的至少一种金属的原子数设为m1并且将硅的原子数设为m2时，比率(m1/(m1+m2))×100％为2.0％以上。

4.如权利要求1所述的滤光片，其中，在所述保护层中，在将铌的原子数设为m1nb并且将硅的原子数设为m2时，比率(m1nb/(m1nb+m2))×100％为4.0％以上且45.0％以下。

5.如权利要求1所述的滤光片，其中，所述滤光片满足全部下述光谱特性(i-1)～光谱特性(i-4)：

6.一种lidar传感器用罩，其中，所述lidar传感器用罩具有权利要求1～5中任一项所述的滤光片。

技术总结本发明涉及滤光片和LiDAR传感器用罩。本发明涉及一种滤光片，所述滤光片具有基材、层叠在所述基材的至少一个主面侧的介质多层膜和层叠在所述介质多层膜上的保护层，其中，所述介质多层膜具有包含非晶硅的层和折射率与所述包含非晶硅的层不同的层，所述保护层包含混合膜，所述混合膜包含选自钽、铌、锆、钛、铪、钨、锡、铈、铬、镍和钒中的至少一种金属的氧化物和二氧化硅。技术研发人员：濑户要,三宅雅章受保护的技术使用者：AGC株式会社技术研发日：技术公布日：2024/5/19