一种适用于拍摄的光刻机载片台结构的制作方法

本技术属于半导体制造，具体的说，是涉及一种适用于拍摄的光刻机载片台结构。

背景技术：

1、光刻机是生产大规模集成电路的核心设备，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。载片台是是光刻机上较为重要的组成部分，用于对硅片进行承载处理和后续的取出移动。

2、中国专利cn202223176767.9，公开了一种光刻机载片台观察结构，通过观察组件对载片台的工作情况进行观察，该观察方式能够减缓直面观察对人体有所伤害，且用相机记录载片台工作的时候该结构也能提供的帮助使拍摄更加便捷；上述技术方案主要存在以下不足：对光刻机的作业观察主要通过相机(摄像机)进行拍摄，但上述技术方案在进行相机(摄像机)记录拍摄等情况下，将相机固定安装在近距离望远放大镜进行拍摄观察，导致相机的拍摄角度局限性较大，无法进行多角度的拍摄作业。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种适用于拍摄的光刻机载片台结构，以解决现有技术所存在的将相机固定安装在近距离望远放大镜进行拍摄观察，导致相机的拍摄角度局限性较大，无法进行多角度的拍摄作业的问题。

2、为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案如下：

3、一种适用于拍摄的光刻机载片台结构，包括操作台，设置在所述操作台上的底座，以及设置在所述底座上的载片台，其特征在于：在所述操作台上设置有可围绕所述载片台做弧形运动的弧形驱动机构，在所述弧形驱动机构上设置有用于安装相机的可调式云台；所述弧形驱动机构包括两个相对设置的支架：第一f型支架和第二f型支架，设置在所述第一f型支架和第二f型支架之间并与二者转动连接的驱动支架和从动支架，设置在所述第一f型支架和第二f型支架之间并与其下端端部转动连接的安装平台，以及用于驱动所述驱动支架的电机，所述可调式云台固定安装在所述安装平台上。

4、进一步的，所述驱动支架呈三角形结构，其左右两端分别与所述第一f型支架和第二f型支架的上端部转动连接，所述操作台上设置有受所述电机驱动可自转的转动轴，所述驱动支架的下端套接在所述转动轴上并从动于所述转动轴。

5、进一步的，所述从动支架呈三角形结构，其左右两端分别与所述第一f型支架和第二f型支架的中端部转动连接，所述操作台上设置有固定轴，所述从动支架的下端套接在所述固定轴上并可相对所述固定轴转动。

6、进一步的，所述驱动支架和所述从动支架的上端均呈弧形结构。

7、进一步的，所述第一f型支架和第二f型支架的下端均呈弧形结构，所述安装平台的两侧分别与两个弧形结构的末端转动连接。

8、进一步的，所述可调式云台包括云台基座，位于上端并嵌入所述云台基座内的万向球，下端固定在所述万向球上支撑杆，设置在所述支撑杆的安装底座，设置在所述安装底座上并用于连接相机的连接螺丝，以及设置在所述云台基座上并用于固定所述万向球的固定旋钮。

9、进一步的，在所述安装底座上还设置有防滑垫。

10、与现有技术相比，本实用新型具备以下有益效果：

11、本实用新型基于操作台、底座和载片台，在操作台上设置弧形驱动机构，弧形驱动机构的安装平台上固定安装可调式云台，在需要拍摄时，将相机安装在可调式云台上，通过电机驱动驱动支架转动，结合从动支架，以此带动与第一f型支架和第二f型支架转动连接的安装平台围绕载片台做弧形运动，从而扩大了相机针对载片台的拍摄角度，避免了现有技术所存在的相机拍摄角度局限性较大的问题；此外，可调式云台可实现万向调节，从而进一步丰富了相机的拍摄角度。

技术特征：

1.一种适用于拍摄的光刻机载片台结构，包括操作台(1)，设置在所述操作台(1)上的底座(2)，以及设置在所述底座(2)上的载片台(3)，其特征在于：在所述操作台(1)上设置有可围绕所述载片台(3)做弧形运动的弧形驱动机构，在所述弧形驱动机构上设置有用于安装相机的可调式云台(4)；所述弧形驱动机构包括两个相对设置的支架：第一f型支架(5)和第二f型支架(6)，设置在所述第一f型支架(5)和第二f型支架(6)之间并与二者转动连接的驱动支架(7)和从动支架(8)，设置在所述第一f型支架(5)和第二f型支架(6)之间并与其下端端部转动连接的安装平台(9)，以及用于驱动所述驱动支架(7)的电机，所述可调式云台(4)固定安装在所述安装平台(9)上。

2.根据权利要求1所述的适用于拍摄的光刻机载片台结构，其特征在于：所述驱动支架(7)呈三角形结构，其左右两端分别与所述第一f型支架(5)和第二f型支架(6)的上端部转动连接，所述操作台(1)上设置有受所述电机驱动可自转的转动轴(10)，所述驱动支架(7)的下端套接在所述转动轴(10)上并从动于所述转动轴(10)。

3.根据权利要求2所述的适用于拍摄的光刻机载片台结构，其特征在于：所述从动支架(8)呈三角形结构，其左右两端分别与所述第一f型支架(5)和第二f型支架(6)的中端部转动连接，所述操作台(1)上设置有固定轴(11)，所述从动支架(8)的下端套接在所述固定轴(11)上并可相对所述固定轴(11)转动。

4.根据权利要求3所述的适用于拍摄的光刻机载片台结构，其特征在于：所述驱动支架(7)和所述从动支架(8)的上端均呈弧形结构。

5.根据权利要求4所述的适用于拍摄的光刻机载片台结构，其特征在于：所述第一f型支架(5)和第二f型支架(6)的下端均呈弧形结构，所述安装平台(9)的两侧分别与两个弧形结构的末端转动连接。

6.根据权利要求5所述的适用于拍摄的光刻机载片台结构，其特征在于：所述可调式云台(4)包括云台基座(41)，位于上端并嵌入所述云台基座(41)内的万向球(42)，下端固定在所述万向球(42)上支撑杆(43)，设置在所述支撑杆(43)的安装底座(44)，设置在所述安装底座(44)上并用于连接相机的连接螺丝(45)，以及设置在所述云台基座(41)上并用于固定所述万向球(42)的固定旋钮(46)。

7.根据权利要求6所述的适用于拍摄的光刻机载片台结构，其特征在于：在所述安装底座(44)上还设置有防滑垫(47)。

技术总结本技术属于半导体制造技术领域，提供了一种适用于拍摄的光刻机载片台结构，包括操作台，设置在操作台上的底座，以及设置在底座上的载片台，在操作台上设置有可围绕载片台做弧形运动的弧形驱动机构，在弧形驱动机构上设置有用于安装相机的可调式云台；弧形驱动机构包括两个相对设置的支架：第一F型支架和第二F型支架，设置在第一F型支架和第二F型支架之间的驱动支架、从动支架和安装平台，以及用于驱动驱动支架的电机。本技术扩大了相机针对载片台的拍摄角度，避免了现有技术所存在的相机拍摄角度局限性较大的问题；此外，可调式云台可实现万向调节，从而进一步丰富了相机的拍摄角度。技术研发人员：曹志超,王作义,王赞博,何立新受保护的技术使用者：上海广奕电子科技股份有限公司技术研发日：20230925技术公布日：2024/5/29