具有定位保护功能的旋转镜组结构的制作方法

本技术涉及半导体加工，具体的说是一种具有定位保护功能的旋转镜组结构。

背景技术：

1、半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。目前，在半导体检测领域，随着检测产能不断提升以及光路精度要求提高。因此在实际使用中就需要使用镜筒镜组对可调小镜筒位置进行精密定位以及锁止，以防止在光路通过式收其他方面（抖动以及位置偏差）影响而导致效率不高以及检测不清晰。

2、然而，镜筒镜组的旋转主要是通过电机给以动力进行集成镜筒转筒，从而实现不同镜筒切换。其主要缺点：1.运动时后定位的位置精确度主要是靠电机进行定位，存在的不确定因素比较多，比如中从动轮的为只调整，传动链条的涨紧情况以及安装相对位置的调整等等；2.在到达指定位置后无法保持精度，受其他因素影响。为此，我们提出了一种具有定位保护功能的旋转镜组结构，用以克服以上问题。

技术实现思路

1、针对现有技术中存在的上述不足之处，本实用新型目的是提供一种具有定位保护功能的旋转镜组结构，用于解决现有镜筒镜组在运动时后定位的位置精确度主要是靠电机进行定位，存在的不确定因素比较多，而且在到达指定位置后无法保持精度，受其他因素影响的问题。

2、本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是：一种具有定位保护功能的旋转镜组结构，包括集成镜筒、伺服电机、镜筒旋转支架、精密链条、可调小镜筒、伺服电机支架、定位挡块、旋转接触弹片、弹簧以及内镜管，所述集成镜筒固定于镜筒旋转支架的内部，所述集成镜筒的一侧通过精密链条电性连接有伺服电机，所述伺服电机通过伺服电机支架固定于镜筒旋转支架上，其特点是：所述集成镜筒内部设有可调小镜筒与内镜管，所述集成镜筒上的定位挡块和旋转接触弹片之间采用嵌入式组装定位，所述旋转接触弹片的一侧连接有弹簧。

3、为了进一步提高具有定位保护功能的旋转镜组结构的使用便利性，本实用新型采用的方案是：所述集成镜筒的内部设有内含可调小镜筒，并通过v型槽对可调小镜筒进行定位以及锁持。

4、为了进一步提高具有定位保护功能的旋转镜组结构的使用便利性，本实用新型采用的方案是：所述集成镜筒的一侧还转动连接有从动链轮。

5、为了进一步提高具有定位保护功能的旋转镜组结构的使用便利性，本实用新型采用的方案是：所述伺服电机通过带轮连接有主动链轮，所述主动链轮通过链条传递动力到集成镜筒设置的从动链轮。

6、为了进一步提高具有定位保护功能的旋转镜组结构的使用便利性，本实用新型采用的方案是：所述镜筒旋转支架的外表面覆盖有金属外壳，所述镜筒旋转支架呈镂空筒状结构，且且一端密闭设置，另一端开口设置。

7、为了进一步提高具有定位保护功能的旋转镜组结构的使用便利性，本实用新型采用的方案是：所述可调小镜筒的内部设有含镜片。

8、为了进一步提高具有定位保护功能的旋转镜组结构的使用便利性，本实用新型采用的方案是：所述内镜管的外部活动设有架环，所述架环的外径小于所述集成镜筒的最小内径，所述集成镜筒通过架环固定套接内镜管。

9、为了进一步提高具有定位保护功能的旋转镜组结构的使用便利性，本实用新型采用的方案是：所述内镜管设为喇叭筒状结构，且位于内镜管宽面的一侧设有若干根模拟光束管。

10、为了进一步提高具有定位保护功能的旋转镜组结构的使用便利性，本实用新型采用的方案是：在所述镜筒旋转支架的一侧上设有若干个通孔，所述若干个通孔的正中心用于固定光纤束导接口以便对接光纤，所述模拟光束管与光纤束导接口之间能够连接传递光信号的光纤。

11、本实用新型的有益效果：

12、（1）该种具有定位保护功能的旋转镜组结构将集成镜筒旋转到可调小镜筒被需要的位置，采用定位挡块与旋转接触弹片的配合作业进行定位以及位置锁定；

13、（2）该种具有定位保护功能的旋转镜组结构的集成镜筒上可根据需要进行可调小镜筒的位置调节，主要是通过v型槽进行定位以及锁持，由于集成镜筒与可调小镜筒的运动配合是通过定位挡块与旋转接触弹片实现的，所以在保持位置的时候不易产生细小位置的变化，避免了抖动对光路的影响。

技术特征：

1.具有定位保护功能的旋转镜组结构，包括集成镜筒（1）、伺服电机（2）、镜筒旋转支架（3）、精密链条（4）、可调小镜筒（5）、伺服电机支架（6）、定位挡块（7）、旋转接触弹片（8）、弹簧（9）以及内镜管（10），所述集成镜筒（1）固定于镜筒旋转支架（3）的内部，所述集成镜筒（1）的一侧通过精密链条（4）电性连接有伺服电机（2），所述伺服电机（2）通过伺服电机支架（6）固定于镜筒旋转支架（3）上，其特征在于：所述集成镜筒（1）内部设有可调小镜筒（5）与内镜管（10），所述集成镜筒（1）上的定位挡块（7）和旋转接触弹片（8）之间采用嵌入式组装定位，所述旋转接触弹片（8）的一侧连接有弹簧（9）。

2.根据权利要求1所述的具有定位保护功能的旋转镜组结构，其特征在于：所述集成镜筒（1）的内部设有内含可调小镜筒（5），并通过v型槽对可调小镜筒（5）进行定位以及锁持。

3.根据权利要求2所述的具有定位保护功能的旋转镜组结构，其特征在于：所述集成镜筒（1）的一侧还转动连接有从动链轮。

4.根据权利要求1所述的具有定位保护功能的旋转镜组结构，其特征在于：所述伺服电机（2）通过带轮连接有主动链轮，所述主动链轮通过通过链条传递动力到集成镜筒（1）设置的从动链轮。

5.根据权利要求1所述的具有定位保护功能的旋转镜组结构，其特征在于：所述镜筒旋转支架（3）的外表面覆盖有金属外壳，所述镜筒旋转支架（3）呈镂空筒状结构，且且一端密闭设置，另一端开口设置。

6.根据权利要求1所述的具有定位保护功能的旋转镜组结构，其特征在于：所述可调小镜筒（5）的内部设有含镜片。

7.根据权利要求1所述的具有定位保护功能的旋转镜组结构，其特征在于：所述内镜管（10）的外部活动设有架环，所述架环的外径小于所述集成镜筒（1）的最小内径，所述集成镜筒（1）通过架环固定套接内镜管（10）。

8.根据权利要求1所述的具有定位保护功能的旋转镜组结构，其特征在于：所述内镜管（10）设为喇叭筒状结构，且位于内镜管（10）宽面的一侧设有若干根模拟光束管（11）。

9.根据权利要求8所述的具有定位保护功能的旋转镜组结构，其特征在于：所述模拟光束管（11）与光纤束导接口（12）之间能够连接传递光信号的光纤。

10.根据权利要求1所述的具有定位保护功能的旋转镜组结构，其特征在于：在所述镜筒旋转支架（3）的一侧上设有若干个通孔，所述若干个通孔的正中心用于固定光纤束导接口（12）以便对接光纤。

技术总结本技术公开了一种具有定位保护功能的旋转镜组结构，集成镜筒固定于镜筒旋转支架的内部，集成镜筒的一侧通过精密链条电性连接有伺服电机，伺服电机通过伺服电机支架固定于镜筒旋转支架上，其特点是：集成镜筒内部设有可调小镜筒与内镜管，集成镜筒上的定位挡块和旋转接触弹片之间采用嵌入式组装定位，旋转接触弹片的一侧连接有弹簧。本技术集成镜筒上可根据需要进行可调小镜筒的位置调节，主要是通过V型槽进行定位以及锁持，采用定位挡块与旋转接触弹片的配合作业进行定位以及位置锁定，由于集成镜筒与可调小镜筒的运动配合是通过定位挡块与旋转接触弹片实现的，所以不易产生细小位置的变化，避免了抖动对光路的影响。技术研发人员：郑都晓受保护的技术使用者：常州雷射激光设备有限公司技术研发日：20231019技术公布日：2024/5/29