一种具有电容检测结构的压电微镜的制作方法

本技术涉及微镜检测，尤其涉及一种具有电容检测结构的压电微镜。

背景技术：

1、微镜是一类可以有效实现光路调控的微纳芯片，广泛应用于投影、成像、激光导航等领域。传统的微镜有压电式微镜或静电式微镜，压电式微镜是压电驱动压电检测，静电式微镜是静电驱动电容检测，都属于自驱动自检测，驱动和检测结构是共用的，这意味着驱动微镜转动时，无法检测微镜的偏转角度，检测微镜偏转角度时，无法持续对微镜进行激励。这会对微镜的性能产生较大影响，即由驱动微镜切换至检测微镜时，微镜偏转角度减小，或由检测微镜切换至驱动微镜时，检测灵敏度降低。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于克服现有技术存在的以上问题，提供一种具有电容检测结构的压电微镜，该压电微镜采用压电驱动结构进行驱动微镜偏转，电容检测结构进行检测微镜偏转角度，提高微镜的性能。

2、为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现：

3、本实用新型提供一种具有电容检测结构的压电微镜，所述微镜包括：

4、外围固定结构；

5、反射镜结构，设置于所述外围固定结构的内部，且所述反射镜结构由悬臂梁与所述外围固定结构连接；

6、压电驱动结构，设置于所述反射镜结构上，用于驱动所述反射镜结构偏转；以及

7、电容检测结构，设置于所述反射镜结构和所述外围固定结构上，且所述电容检测结构位于所述反射镜结构的外侧以及所述外围固定结构的内侧。

8、在本实用新型的一个实施例中，所述电容检测结构包括：

9、可动梳齿组，分布于所述反射镜结构的外壁；以及

10、固定梳齿组，设置于所述外围固定结构的内壁，且所述固定梳齿组与所述可动梳齿组交错设置，形成叉指结构。

11、在本实用新型的一个实施例中，所述可动梳齿组的末端与所述外围固定结构之间形成有第一间隙。

12、在本实用新型的一个实施例中，所述固定梳齿组的末端与所述反射镜结构之间形成有第二间隙。

13、在本实用新型的一个实施例中，所述可动梳齿组由多个设置于所述反射镜结构上的可动梳齿构成，所述固定梳齿组由多个设置于所述外围固定结构上的固定梳齿构成。

14、在本实用新型的一个实施例中，相邻的所述可动梳齿和所述固定梳齿之间形成有第三间隙。

15、在本实用新型的一个实施例中，所述微镜还包括基板，所述基板位于所述外围固定结构的一侧。

16、在本实用新型的一个实施例中，所述基板上设置有键合层，所述键合层位于所述基板和所述外围固定结构之间，用于键合所述基板和所述外围固定结构。

17、在本实用新型的一个实施例中，所述微镜还包括隔离层，所述隔离层位于所述压电驱动结构与所述反射镜之间、所述悬臂梁的上表面以及所述外围固定结构的上表面。

18、综上所述，本实用新型提供一种具有电容检测结构的压电微镜，该压微镜采用压电驱动结构进行驱动微镜偏转，电容检测结构进行检测微镜偏转角度，微镜驱动和微镜检测可同时持续进行，提高微镜的性能，同时，该压电微镜由于可动梳齿组和固定梳齿组之间形成第一检测电容和第二检测电容，可实现微镜的双轴电容检测。

技术特征：

1.一种具有电容检测结构的压电微镜，其特征在于,所述微镜包括：

2.根据权利要求1所述的压电微镜，其特征在于，所述电容检测结构包括：

3.根据权利要求2所述的压电微镜，其特征在于，所述可动梳齿组的末端与所述外围固定结构之间形成有第一间隙。

4.根据权利要求2所述的压电微镜，其特征在于，所述固定梳齿组的末端与所述反射镜结构之间形成有第二间隙。

5.根据权利要求4所述的压电微镜，其特征在于，所述可动梳齿组由多个设置于所述反射镜结构上的可动梳齿构成，所述固定梳齿组由多个设置于所述外围固定结构上的固定梳齿构成。

6.根据权利要求5所述的压电微镜，其特征在于，相邻的所述可动梳齿和所述固定梳齿之间形成有第三间隙。

7.根据权利要求1所述的压电微镜，其特征在于，所述微镜还包括基板，所述基板位于所述外围固定结构的一侧。

8.根据权利要求7所述的压电微镜，其特征在于，所述基板上设置有键合层，所述键合层位于所述基板和所述外围固定结构之间，用于键合所述基板和所述外围固定结构。

9.根据权利要求1所述的压电微镜，其特征在于，所述微镜还包括隔离层，所述隔离层位于所述压电驱动结构与所述反射镜之间、所述悬臂梁的上表面以及所述外围固定结构的上表面。

技术总结本技术提供一种具有电容检测结构的压电微镜，所述微镜包括：外围固定结构；反射镜结构，设置于所述外围固定结构的内部，且所述反射镜结构由悬臂梁与所述外围固定结构连接；压电驱动结构，设置于所述反射镜结构上，用于驱动所述反射镜结构偏转；以及电容检测结构，设置于所述反射镜结构和所述外围固定结构上，且所述电容检测结构位于所述反射镜结构的外侧以及所述外围固定结构的内侧。本技术提供一种具有电容检测结构的压电微镜，该压微镜的微镜驱动和微镜检测可同时持续进行，提高微镜的性能，且可实现微镜的双轴电容检测。技术研发人员：刘美琪,徐涛受保护的技术使用者：合肥领航微系统集成有限公司技术研发日：20230926技术公布日：2024/5/29