一种板间清理工具及光刻机台的制作方法

本技术涉及半导体制造，特别涉及一种板间清理工具及光刻机台。

背景技术：

1、track系统是一个半导体制造中的晶圆加工自动化系统，具有涂胶和显影装置，而其系统其中的光刻胶机台在工作使用完成后，都需要工作人员对其机台上的冷板与热板分别进行清理，但由于冷板与热板之间的间隙过小，在清理热板时需要事先将冷板进行搬运，同时由于冷板重量较大，为避免冷板搬运过程中发生磕碰热板的现象，现有都是借助清理工具，将无尘布借助工具深入到冷板与热板之间的间隙内，以完成对热板的清理过程，但在上述的清理过程中，由于存在人工视觉的盲区，且工具无法做到与热板所形成区域的完美贴合，因此导致此间隙内会有死角未清理的区域，这些未清理掉的杂质进而会影响机台的下一次正常使用。

技术实现思路

1、本实用新型提供了一种板间清理工具及光刻机台，用于无死角清理机台内部的间隙，保证机台的正常运行。

2、为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

3、第一方面，本实用新型提供一种板间清理工具，包括：工作台组件、夹持组件、清理件、把手本体和输气组件；

4、所述夹持组件和所述把手本体均与所述工作台组件连接，且设置于所述工作台组件的同一侧；所述夹持组件用于夹持所述清理件，并将所述清理件固定于所述工作台组件上，所述把手本体与所述工作台组件之间呈锐角连接；

5、所述工作台组件上开设有至少一个出气孔，所述把手本体上开设有送气孔，所述出气孔通过所述送气孔与所述输气组件连通。

6、本申请在把手本体上增加设置有用于输送气体的输气装置，且在工作的工作台组件上开设有用于吹气的出气孔，从而在清理件清理完成后，由输气装置输送的气体会由出气孔输送至清理的间隙内部，外界的高速气流一方面会将未清理死角中的杂质吹出，另一方面高速气流会将清理件的清理痕迹进行清除，保证了本申请所清理位置处的不再带有未清理的杂质，进一步保证了机台设备的正常运行。

7、可选地，所述工作台组件包括底板和支撑架，所述底板包括相对设置的第一表面和第二表面，所述夹持组件和所述支撑架设置在所述第一表面，所述把手本体与所述支撑架连接，所述出气孔开设于所述第二表面上。

8、可选地，所述把手本体与所述支撑架为一体式结构，且所述支撑架内部形成有用于连通所述出气孔与所述把手本体的导气通路。

9、可选地，所述把手本体与所述支撑架为活动连接，所述支撑架上设置有锁定结构，角度调节后的所述把手本体通过所述锁定结构固定。

10、可选地，所述底板上设置有防护装置，所述把手本体外壁上设置有防护层，所述防护装置和所述防护层均采用柔性材料制成。

11、可选地，所述夹持组件包括固定夹、阻尼转轴，所述固定夹通过所述阻尼转轴与所述底板连接。

12、可选地，所述出气孔为多个，且多个所述出气孔在所述底板上间隔排布。

13、可选地，所述把手本体与所述支撑架之间形成的锐角为[10°，20°]。

14、可选地，所述输气组件包括输气机和导管，所述导管设置于所述输气机的输气端，所述送气孔通过所述导管连通所述输气机。

15、第二方面，本申请还提供一种光胶机台，包括机台本体以及如上述任一项所述的板间清理工具，所述机台本体包括层叠设置的冷板和热板，所述冷板和所述热板之间形成有用于容纳所述板间清理工具的间隙。

技术特征：

1.一种板间清理工具，其特征在于，包括：工作台组件、夹持组件、清理件、把手本体和输气组件；

2.根据权利要求1所述的板间清理工具，其特征在于，所述工作台组件包括底板和支撑架，所述底板包括相对设置的第一表面和第二表面，所述夹持组件和所述支撑架设置在所述第一表面，所述把手本体与所述支撑架连接，所述出气孔开设于所述第二表面上。

3.根据权利要求2所述的板间清理工具，其特征在于，所述把手本体与所述支撑架为一体式结构，且所述支撑架内部形成有用于连通所述出气孔与所述把手本体的导气通路。

4.根据权利要求2所述的板间清理工具，其特征在于，所述把手本体与所述支撑架为活动连接，所述支撑架上设置有锁定结构，角度调节后的所述把手本体通过所述锁定结构固定。

5.根据权利要求2所述的板间清理工具，其特征在于，所述底板上设置有防护装置，所述把手本体外壁上设置有防护层，所述防护装置和所述防护层均采用柔性材料制成。

6.根据权利要求5所述的板间清理工具，其特征在于，所述夹持组件包括固定夹、阻尼转轴，所述固定夹通过所述阻尼转轴与所述底板连接。

7.根据权利要求6所述的板间清理工具，其特征在于，所述出气孔为多个，且多个所述出气孔在所述底板上间隔排布。

8.根据权利要求3所述的板间清理工具，其特征在于，所述把手本体与所述支撑架之间形成的锐角为[10°，20°]。

9.根据权利要求1-4中任一项所述的板间清理工具，其特征在于，所述输气组件包括输气机和导管，所述导管设置于所述输气机的输气端，所述送气孔通过所述导管连通所述输气机。

10.一种光刻机台，其特征在于，包括机台本体以及如上述权利要求1-9任一项所述的板间清理工具，所述机台本体包括层叠设置的冷板和热板，所述冷板和所述热板之间形成有用于容纳所述板间清理工具的间隙。

技术总结本技术涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种板间清理工具及光刻机台，包括：工作台组件、夹持组件、清理件、把手本体和输气组件，所述夹持组件和所述把手本体均与所述工作台组件连接，且设置于所述工作台组件的同一侧，所述夹持组件用于夹持所述清理件，并将所述清理件固定于所述工作台组件上，所述工作台组件上开设有至少一个出气孔，所述把手本体上开设有送气孔，所述出气孔通过所述送气孔与所述输气组件连通，外界的高速气流一方面会将未清理死角中的杂质吹出，另一方面高速气流会将清理件的清理痕迹进行清除，保证了本申请所清理位置处的不再带有未清理的杂质，进一步保证了机台设备的正常运行。技术研发人员：宋龙龙受保护的技术使用者：武汉楚兴技术有限公司技术研发日：20230901技术公布日：2024/5/29