一种光刻胶涂覆装置的制作方法

本技术涉及光刻胶涂覆装置的，特别是涉及一种光刻胶涂覆装置。

背景技术：

1、光刻胶(photoresist)又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、x射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料，在光刻工艺过程中，用作抗腐蚀涂层材料，目前在将光刻胶涂覆在芯片上时，如现有技术如授权公告号为cn218383655u的实用新型专利中，该装置包括底座，所述底座的外侧壁安装有罩体，所述罩体的顶端安装有安装座，且安装座的内部安装有电热板，所述底座的内部设置有转动机构，所述转动机构的顶端设置有真空吸盘机构，且真空吸盘机构的顶端设置有芯片，所述芯片的一侧设置有毛刷。

2、但该装置使用中发现，该装置需要人员手动涂覆操作，并且芯片涂覆之前不便于对其表面清洁处理，芯片上附着灰尘异物后，容易导致涂覆光刻胶后表面不平整的情况，降低了涂覆质量。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本实用新型提供一种提高芯片涂胶前清理的便利性，减少人员手动涂覆操作的劳动强度，提高涂覆质量的光刻胶涂覆装置。

2、本实用新型的一种光刻胶涂覆装置，包括吸气箱和工作台，工作台安装在吸气箱顶端，并且工作台顶端中部设置有吸气孔；还包括排料装置、吸气装置、进气装置、第一电缸、吹气箱和吹气管，第一电缸的固定端安装在排料装置上，排料装置用于对光刻胶排放，吹气箱安装在第一电缸的移动端上，吹气箱与外部气源连通，多组吹气管均连通设置在吹气箱底端，工作台外侧壁上连通设置有进气装置，吸气箱安装在吸气装置上，吸气装置用于对吸气箱内吸气，并且吸气装置用于带动吸气箱旋转；将需要涂胶的芯片放置在工作台顶端，使芯片将吸气孔覆盖，之后通过控制第一电缸移动端伸缩长度，使第一电缸带动吹气箱和多组吹气管移动至芯片上方，之后打开吸气装置对吸气箱内吸气，使吸气箱内形成负压后通过吸气孔将芯片吸附固定，通过外部气源将空气输送至吹气箱内部，使多组吹气管对芯片表面吹气清理，之后涂胶装置将光刻胶排放至芯片顶端中部，同时吸气装置带动吸气箱旋转，吸气箱带动芯片旋转，通过离心作用使光刻胶涂覆在芯片表面上，提高装置对芯片涂胶前清理的便利性，减少人员手动涂覆操作的劳动强度，提高涂覆质量。

3、优选的，所述进气装置包括筒体、限位环、活塞、拉杆、弹簧和限位杆，筒体连通设置在工作台外侧壁上，筒体外侧壁周向设置有通孔，限位环安装在筒体内侧壁上，活塞滑动设置在筒体内部，拉杆后端与活塞外侧壁旋转连接，拉杆前端伸出筒体外部，弹簧配合安装在筒体内侧壁上，限位杆安装在筒体外侧壁上；由于弹簧对活塞提供推动力，使活塞将筒体的多组通孔封堵，提高吸气箱内吸气形成负压状态的便利性，当需要将工作台顶端涂覆完成后的芯片取下时，抓取拉杆向外拉动，使拉杆带动活塞向外滑动，此时吸气箱内通过筒体的多组通孔与室外相通，从而使室外空气进入吸气箱内部，便于人员将工作台顶端的芯片收取，提高操作的便利性，通过将拉杆旋转调节使限位杆对拉杆的移动限位，减少吸气箱旋转时活塞向外移动的情况。

4、优选的，所述吸气装置包括底座、套筒、吸气管和真空泵，套筒旋转安装在底座顶端，吸气箱底端与套筒顶端连接，吸气管顶端与吸气箱内连通，吸气管底端旋转安装在底座顶端，真空泵安装在底座内侧壁上，并且真空泵输入端与吸气管底端连通；打开真空泵通过吸气管对0内吸气，从而使吸气箱内形成负压，提高芯片在工作台顶端固定的便利性。

5、优选的，所述排料装置包括架体、排料管和排料管，架体安装在底座顶端，第一电缸的固定端安装在架体外侧壁上，第二电缸的固定端安装在架体顶端，排料管安装在第二电缸的移动端上；通过排料管将光刻胶排放至芯片上，提高装置使用的便利性。

6、优选的，还包括齿环和电机，齿环安装在套筒内侧壁上，电机安装在底座内侧壁上，电机输出端设置有齿轮，齿轮与齿环啮合；电机带动齿轮旋转，齿轮旋转后通过与齿环的啮合带动套筒旋转，提高工作台带动芯片旋转的便利性。

7、优选的，所述工作台吸气孔底端设置有过滤网；减少室外灰尘污垢进入吸气箱内部。

8、优选的，还包括多组支脚，多组支脚均设置在底座底端；通过设置多组支脚，提高装置使用的平稳性。

9、与现有技术相比本实用新型的有益效果为：将需要涂胶的芯片放置在工作台顶端，使芯片将吸气孔覆盖，之后通过控制第一电缸移动端伸缩长度，使第一电缸带动吹气箱和多组吹气管移动至芯片上方，之后打开吸气装置对吸气箱内吸气，使吸气箱内形成负压后通过吸气孔将芯片吸附固定，通过外部气源将空气输送至吹气箱内部，使多组吹气管对芯片表面吹气清理，之后涂胶装置将光刻胶排放至芯片顶端中部，同时吸气装置带动吸气箱旋转，吸气箱带动芯片旋转，通过离心作用使光刻胶涂覆在芯片表面上，提高装置对芯片涂胶前清理的便利性，减少人员手动涂覆操作的劳动强度，提高涂覆质量。

技术特征：

1.一种光刻胶涂覆装置，包括吸气箱(1)和工作台(2)，工作台(2)安装在吸气箱(1)顶端，并且工作台(2)顶端中部设置有吸气孔；其特征在于，还包括排料装置、吸气装置、进气装置、第一电缸(3)、吹气箱(4)和吹气管(5)，第一电缸(3)的固定端安装在排料装置上，排料装置用于对光刻胶排放，吹气箱(4)安装在第一电缸(3)的移动端上，吹气箱(4)与外部气源连通，多组吹气管(5)均连通设置在吹气箱(4)底端，工作台(2)外侧壁上连通设置有进气装置，吸气箱(1)安装在吸气装置上，吸气装置用于对吸气箱(1)内吸气，并且吸气装置用于带动吸气箱(1)旋转。

2.如权利要求1所述的一种光刻胶涂覆装置，其特征在于，所述进气装置包括筒体(6)、限位环(7)、活塞(8)、拉杆(9)、弹簧(10)和限位杆(11)，筒体(6)连通设置在工作台(2)外侧壁上，筒体(6)外侧壁周向设置有通孔，限位环(7)安装在筒体(6)内侧壁上，活塞(8)滑动设置在筒体(6)内部，拉杆(9)后端与活塞(8)外侧壁旋转连接，拉杆(9)前端伸出筒体(6)外部，弹簧(10)配合安装在筒体(6)内侧壁上，限位杆(11)安装在筒体(6)外侧壁上。

3.如权利要求1所述的一种光刻胶涂覆装置，其特征在于，所述吸气装置包括底座(12)、套筒(13)、吸气管(14)和真空泵(15)，套筒(13)旋转安装在底座(12)顶端，吸气箱(1)底端与套筒(13)顶端连接，吸气管(14)顶端与吸气箱(1)内连通，吸气管(14)底端旋转安装在底座(12)顶端，真空泵(15)安装在底座(12)内侧壁上，并且真空泵(15)输入端与吸气管(14)底端连通。

4.如权利要求1所述的一种光刻胶涂覆装置，其特征在于，所述排料装置包括架体(16)、排料管(18)和排料管(18)，架体(16)安装在底座(12)顶端，第一电缸(3)的固定端安装在架体(16)外侧壁上，第二电缸(17)的固定端安装在架体(16)顶端，排料管(18)安装在第二电缸(17)的移动端上。

5.如权利要求3所述的一种光刻胶涂覆装置，其特征在于，还包括齿环(19)和电机(20)，齿环(19)安装在套筒(13)内侧壁上，电机(20)安装在底座(12)内侧壁上，电机(20)输出端设置有齿轮(21)，齿轮(21)与齿环(19)啮合。

6.如权利要求1所述的一种光刻胶涂覆装置，其特征在于，所述工作台(2)吸气孔底端设置有过滤网。

7.如权利要求3所述的一种光刻胶涂覆装置，其特征在于，还包括多组支脚(22)，多组支脚(22)均设置在底座(12)底端。

技术总结本技术涉及光刻胶涂覆装置的技术领域，特别是涉及一种光刻胶涂覆装置，其提高芯片涂胶前清理的便利性，减少人员手动涂覆操作的劳动强度，提高涂覆质量；包括吸气箱和工作台，工作台安装在吸气箱顶端，并且工作台顶端中部设置有吸气孔；还包括排料装置、吸气装置、进气装置、第一电缸、吹气箱和吹气管，第一电缸的固定端安装在排料装置上，排料装置用于对光刻胶排放，吹气箱安装在第一电缸的移动端上，吹气箱与外部气源连通，多组吹气管均连通设置在吹气箱底端，工作台外侧壁上连通设置有进气装置，吸气箱安装在吸气装置上，吸气装置用于对吸气箱内吸气，并且吸气装置用于带动吸气箱旋转。技术研发人员：陈晓光,康小文,于深受保护的技术使用者：住晶新材料科技（烟台）有限公司技术研发日：20231024技术公布日：2024/6/2