一种曝光机的掩膜版的版库组件的制作方法

本发明涉及一种版库组件，尤其涉及一种曝光机的掩膜版的版库组件。

背景技术：

1、在半导体芯片的生产中会利用到曝光机，而曝光机会使用到掩膜版，而掩膜版的种类非常多，晶圆上的图案有时候可能需要多次曝光形成，因此曝光机就会需要多个掩膜版，而目前掩膜版一般都是放置在放置盒内，然后在曝光工艺中，将需要用到的掩膜版人工都取出放置在曝光机的方式平台上，然后再利用机械手将平台上的掩膜版送入到光刻机内进行曝光操作，使用完成后，再利用机械手将掩膜版送出到放置平台上，而后需要人工将掩膜版再放入到放置盒内，而这种人工取出放入的动作可能污染掩膜版，这样会影响曝光的精度，并且若是掩膜版的数量比较多时，上述的缺陷更加明显。

技术实现思路

1、本发明所要解决的技术问题是：提供一种曝光机的掩膜版的版库组件，该版库组件能够更好的存储掩膜版，方便机械手的自动存取。

2、为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种曝光机的掩膜版的版库组件，包括放置平台和版库叠置模块，所述版库叠置模块包括若干个相互叠置固定的版库单体，每个版库单体的结构相同，所述版库单体包括相互平行的左侧框和右侧框以及用于放置掩膜版的放置盒，所述左侧框和右侧框上设置有方便放置盒放入的水平插装槽，所述放置盒包括盒体和前端盖，所述盒体内设置有用于放置掩膜版的放置腔室，所述放置腔室内设置有支撑所述掩膜版的支撑结构，所述掩膜版放置在所述支撑结构后掩膜版与放置腔室的底部形成方便机械手插入的插入间隙，所述前端盖的上端铰接在在盒体上部，所述左侧框或者右侧框上安装有驱动所述前端盖打开的开盖动力装置。

3、作为一种优选的方案，所述开盖动力装置包括固定在左侧框或者右侧框上的开盖电机，所述开盖电机的输出轴上固定有开盖驱动盘，所述开盖驱动盘上偏心固定有开盖轮，所述开盖电机驱动开盖轮绕输出轴的中心旋转与所述前端盖的内侧面抵触配合。

4、作为一种优选的方案，所述左侧框和前端盖、右侧框和前端盖之间设置有迫使前端盖关闭的弹性件。

5、作为一种优选的方案，所述弹性件为扭簧，所述前端盖的左右两端通过前铰接轴铰接在所述左侧框和右侧框上，所述扭簧套装在所述前铰接轴上且挤压在所述前端盖和左侧框、前端盖和右侧框之间。

6、作为一种优选的方案，所述弹性件为拉环，所述盒体的左右两侧设置有弹簧安装槽，所述拉环安装于所述弹簧安装槽内，所述拉环的一端连接在前端盖上，所述拉环的另一端固定在盒体上，所述拉环的拉力迫使所述前端盖闭合。

7、作为一种优选的方案，所述盒体的左右两侧的中部转动安装有中间铰轴，所述中心铰轴左右方向延伸，所述中间铰轴的外侧端固定有主动臂，所述中间铰轴的内侧端固定有限位臂，所述主动臂位于所述弹簧安装槽内，所述拉环连接在所述主动臂上，所述限位臂位于所述放置腔室内，所述拉环的拉力迫使所述限位臂偏转对所述掩膜版的边部的上方限位。

8、作为一种优选的方案，所述左侧框和右侧框上还设置有用于检测水平插装槽内是否插入放置盒的检测传感器。

9、作为一种优选的方案，所述盒体的上端设置有上端盖，所述上端盖的后端铰接在盒体的后端，所述盒体上设置有锁紧所述上端盖的端盖锁紧结构。

10、作为一种优选的方案，所述支撑结构包括设置于放置腔室四角的四个支撑台面，每个支撑台面上均设置有与掩膜版端面定位的侧定位块，所述支撑台面上设置有与掩膜版底部的定位孔位置对应的定位销。

11、作为一种优选的方案，所述左侧框和右侧框均包括一类安装螺孔和二类安装螺孔，左侧框之间或者右侧框通过设置于一类安装螺孔内的一类螺栓与下方对应的左侧框或右侧框螺纹固定，左侧框之间或者右侧框通过设置于二类安装螺孔内的二类螺栓与上方对应的左侧框或右侧框螺纹固定。

12、采用了上述技术方案后，本发明的效果是：由于一种曝光机的掩膜版的版库组件，包括放置平台和版库叠置模块，所述版库叠置模块包括若干个相互叠置固定的版库单体，每个版库单体的结构相同，所述版库单体包括相互平行的左侧框和右侧框以及用于放置掩膜版的放置盒，所述左侧框和右侧框上设置有方便放置盒放入的水平插装槽，所述放置盒包括盒体和前端盖，所述盒体内设置有用于放置掩膜版的放置腔室，所述放置腔室内设置有支撑所述掩膜版的支撑结构，所述掩膜版放置在所述支撑结构后掩膜版与放置腔室的底部形成方便机械手插入的插入间隙，所述前端盖的上端铰接在在盒体上部，所述左侧框或者右侧框上安装有驱动所述前端盖打开的开盖动力装置，因此，多个版库单体相互叠加可以方便多个放置盒叠放，这样可以放置多块掩膜版，而当需要取出掩膜版时，直接通过开盖动力装置打开前端盖，这样方便机械手从前端深入到插入间隙的下方，然后机械手上升支撑掩膜版将掩膜版取出放置盒，这样整个过程无需人工参与，从而实现了多块掩膜版的存取，提高了效率的同时避免对掩膜版污染，而不使用的掩膜版存放在放置盒中保存，避免污染。

13、又由于所述开盖动力装置包括固定在左侧框或者右侧框上的开盖电机，所述开盖电机的输出轴上固定有开盖驱动盘，所述开盖驱动盘上偏心固定有开盖轮，所述开盖电机驱动开盖轮绕输出轴的中心旋转与所述前端盖的内侧面抵触配合，利用开盖电机可以驱动开盖驱动盘旋转，从而使开盖轮从下向上顶推前端盖，使前端盖打开，而当开盖轮离开前端盖后，前端盖会因为自身的重力而关闭，该结构的前端盖开闭顺畅。

14、又由于所述左侧框和前端盖、右侧框和前端盖之间设置有迫使前端盖关闭的弹性件，利用弹性件可以更好使前端盖闭合。

15、又由于所述盒体的左右两侧的中部转动安装有中间铰轴，所述中心铰轴左右方向延伸，所述中间铰轴的外侧端固定有主动臂，所述中间铰轴的内侧端固定有限位臂，所述主动臂位于所述弹簧安装槽内，所述拉环连接在所述主动臂上，所述限位臂位于所述放置腔室内，所述拉环的拉力迫使所述限位臂偏转对所述掩膜版的边部的上方限位，因此，当前端盖打开时，前端盖就通过拉环拉动主动臂，使中间铰轴旋转，进而带动限位臂偏转，这样打在机械手插入到掩膜版底部顶推掩膜版上升时，可以通过限位臂限制掩膜版的边缘上端，这样对掩膜版和机械手之间产生一定的挤压力，这样机械手可以快速的吸附掩膜版，也能保证吸附更稳定。

16、又由于所述支撑结构包括设置于放置腔室四角的四个支撑台面，每个支撑台面上均设置有与掩膜版端面定位的侧定位块，所述支撑台面上设置有与掩膜版底部的定位孔位置对应的定位销，该支撑结构可以更准确的放置掩膜版，保证掩膜版的位置准确。

17、又由于所述盒体的上端设置有上端盖，所述上端盖的后端铰接在盒体的后端，所述盒体上设置有锁紧所述上端盖的端盖锁紧结构，该上端盖可以打开，这样方便开始时从上方放置掩膜版。

18、又由于所述左侧框和右侧框均包括一类安装螺孔和二类安装螺孔，左侧框之间或者右侧框通过设置于一类安装螺孔内的一类螺栓与下方对应的左侧框或右侧框螺纹固定，左侧框之间或者右侧框通过设置于二类安装螺孔内的二类螺栓与上方对应的左侧框或右侧框螺纹固定，该左侧框和右侧框可以更好的相互叠置固定。