正性感光树脂组合物及其套装试剂、图形化制法和用途的制作方法

本发明涉及光刻胶领域，尤其是涉及一种正性感光树脂组合物及包含其的套装试剂，还涉及使用它们形成图形化光刻胶的方法，以及在发光二极管(led)生产中，用于制造金属电极与触摸屏的线路的用途。

背景技术：

0、技术背景

1、近年来，随着光刻工艺的应用范围越来越广，光刻工艺广泛应用于制造显示元件、平板显示、触摸屏、led、太阳能薄膜电池等电子设备以及功率器件、充电桩等器件。特别是在平板显示及led制造领域，由于所用的设备主要是宽谱型g/i线光刻机，这些光刻机本身的极限分辨率有限，从而限制了平板显示及led的发展。

2、目前，为了提高光刻胶的极限分辨率，通常采用以下方式：第一，采用纯化度更高的树脂；第二，增大光引发剂的用量，使用酯化度更高的光引发剂。但是这些方法会造成产品光刻胶存在其他的问题，例如，对于获得纯化更高的树脂，其操作工艺复杂、产率低、成本高；对于酯化度高的光敏剂，其用量大、成本高，并且其中会掺杂低的酯化度的其他副产物，影响感光性能；因此，在现有的通用材料及工艺中，极限分辨率不能得到有效地提升，而且增加了生产成本和能源的消耗。

3、由此，需要开发一种能够适用于光刻工艺中的正性感光树脂组合物，以提高光刻胶的极限分辨率，同时光刻胶的其他性能(例如感度和留膜率)不会恶化，能够满足下游产品的生产工艺。

技术实现思路

1、本发明是鉴于上述课题而研发，其目的在于，提供一种正性感光树脂组合物，使得由其制备的光刻胶具有显著改善的极限分辨率(即显影分辨率)，以及优良的感度和留膜率。

2、为了达到上述目的，本发明在第一方面，提供了一种正性感光树脂组合物，其包含以下组分：

3、(a)5至30重量％、优选10至25重量％、更优选15至20重量％的线性酚醛树脂；

4、(b)1至10重量％、优选3至8重量％的重氮萘醌型光引发剂；

5、(c)0.5至10重量％、优选1至5重量％的多酚化合物；

6、基于正性感光树脂组合物的总重量计。

7、本发明的第二方面，提供了一种用于制备图形化光刻胶的套装试剂，其包括：试剂(1)本发明第一方面所述的正性感光树脂组合物；以及试剂(2)含有表面活性剂的显影液，优选含氟型表面活性剂。

8、本发明的第三方面，提供了制备图形化光刻胶的方法。

9、本发明的第四方面，提供了本发明的第一方面所述的正性感光树脂组合物，或者本发明的第二方面所述的套装试剂，在led生产中用于制造金属电极、触摸屏的线路的用途。

10、本发明通过在正性感光树脂组合物中加入多酚化合物，以调节光刻胶在显影液中的溶解速率，使得在显影过程中，曝光区的光刻胶可以有效溶解，而非曝光区的光刻胶难以溶解，从而可以很好地保留下来，以达到提高极限分辨率的目的；进一步地，在显影过程中通过在显影液中加入表面活性剂，以使得产品图形化光刻胶的极限分辨率得以进一步改善，同时具有优良的感度和留膜率。

技术特征：

1.一种正性感光树脂组合物，其包含：

2.根据权利要求1所述的正性感光树脂组合物，其中多酚化合物为式(i)化合物，

3.根据权利要求1或2所述的正性感光树脂组合物，其中多酚化合物为式(i)化合物，

4.根据权利要求1所述的正性感光树脂组合物，其中，在23℃下、在含有2.38重量％的四甲基氢氧化铵的水溶液中，线性酚醛树脂的溶解速率为100-600埃/秒，优选200-500埃/秒。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的正性感光树脂组合物，其中所述线性酚醛树脂的重均分子量为4000-8000，优选4500-7000；其选自邻甲酚型酚醛树脂、间甲酚型酚醛树脂或对甲酚型酚醛树脂或其混合物；优选地为摩尔比为20:80至80:20的间甲酚与对甲酚的混合物与甲醛进行缩合反应得到的线性酚醛树脂。

6.根据权利要求1所述的正性感光树脂组合物，其中所述重氮萘醌型光引发剂为下式(b-1)的化合物中的一种或多种，

7.根据权利要求1-6中任一项所述的正性感光树脂组合物，其中组分(a)线性酚醛树脂的质量分数ma与组分(c)多酚化合物的质量分数mc之比值为2-22，优选3-20，更优选4-15；所述质量分数基于正性感光树脂组合物的总重量计。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的正性感光树脂组合物，其中组分(a)线性酚醛树脂的质量分数ma、组分(b)重氮萘醌型光引发剂的质量分数mb、组分(c)多酚化合物的质量分数mc之比值为(2-22)：(0.5-8)：1，优选(3-20)：(1-5)：1；优选地，(ma+mc)/mb在2-7范围内，优选为4；更优选地，所述ma、mb与mc满足以下关系式a：

9.一种用于制备图形化光刻胶的套装试剂，其包括：

10.根据权利要求9所述的套装试剂，其中，试剂(2)中，表面活性剂在显影液的质量分数mf为0.01至1重量％，优选0.05-0.5重量％，基于显影液的总重量计；

11.一种制备图形化光刻胶的方法，其包括以下步骤：

12.权利要求1至8中任一项所述的正性感光树脂组合物，或者权利要求9或10所述的用于制备图形化光刻胶的套装试剂，在led生产中用于制造金属电极、触摸屏的线路的用途。

技术总结本发明涉及一种正性感光树脂组合物以及包含其的套装试剂，其中试剂(1)为正性感光树脂组合物，包含(a)线性酚醛树脂、(b)重氮萘醌型光引发剂和(c)多酚化合物；试剂(2)为显影液，包含含氟型表面活性剂；本发明还涉及使用该套装试剂制备图形化光刻胶的方法，以及它们用于制造金属电极、触摸屏的线路的用途；所制备的图形化光刻胶具有显著改善的极限分辨率和良好的感度、留膜率。技术研发人员：陈志成,晏凯,杨遇春受保护的技术使用者：深圳市容大感光科技股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/5