一种光机承载结构及光学设备的制作方法

本技术涉及光机承载结构。

背景技术：

1、一些光学设备对精密度要求较高，各光学元件之间需要保证非常稳定的相对位置关系。例如，半导体行业中用于对晶圆、芯片、掩膜版等产品进行检测的光学检测/量测设备，其中涉及很多光学模块(如镜筒、镜组、镜头、相机等组件，以及透镜、反射镜、分光片等单个光学元件)，这些光学模块往往可拆卸地安装在一个光机背板上，相互之间保持一定的位置关系。

2、光学模块可拆卸地安装在同一光机背板上的好处是便于单个光学模块的拆装和光学装调，但是，这种结构也存在不利之处，比如光机背板发生轻微形变或者某个光学模块松动时，各光学模块之间的位置关系就会发生改变，容易导致光路发生改变，从而造成光学检测的失败。

技术实现思路

1、本实用新型主要解决光学设备的光学模块之间易发生位置关系改变而影响光路稳定的技术问题。

2、第一方面，本实用新型提供了一种光机承载结构。

3、一种光机承载结构，包括：

4、光机背板；

5、承载支座，所述承载支座与所述光机背板为一体结构并凸出所述光机背板的板面；所述承载支座设有光学腔室以及与所述光学腔室连通的多个通光口，所述光学腔室用于引导光束的传输，所述通光口用于对接相应的光学模块；

6、以及加强支撑组件，所述加强支撑组件连接在所述承载支座凸出于所述光机背板的部位与所述光机背板的板面之间，所述加强支撑组件用于阻止所述承载支座相对于所述光机背板产生形变。

7、在一种技术方案中，所述加强支撑组件包括斜撑梁，所述斜撑梁相对于所述光机背板倾斜布置，所述斜撑梁的一端与所述光机背板连接，另一端与所述承载支座连接。

8、在一种技术方案中，所述承载支座包括法兰连接部，所述法兰连接部用于供可拆卸支座连接，所述法兰连接部具有用于朝向所述可拆卸支座的对接面和与所述对接面相背的背面，所述加强支撑组件连接在所述背面与所述光机背板之间。

9、在一种技术方案中，所述承载支座的光学腔室具有第一光轴方向，所述法兰连接部的所述对接面与所述第一光轴方向垂直；其中，所述第一光轴方向配置为所述光机背板的运动方向。

10、在一种技术方案中，至少一个所述通光口沿第二光轴方向设置，所述第二光轴方向与所述第一光轴方向垂直；所述光学腔室内用于设置分光元件或反射元件，以将全部或部分的光束从第二光轴方向引导至第一光轴方向。

11、在一种技术方案中，所述加强支撑组件与所述光机背板、所述承载支座连为一体化结构。

12、在一种技术方案中，还包括可拆卸支座，所述可拆卸支座具有第一连接部和第二连接部，所述第一连接部和所述第二连接部分别位于所述可拆卸支座的两个相邻侧，所述第一连接部与所述光机背板可拆连接，所述第二连接部与所述承载支座可拆卸连接。

13、在一种技术方案中，所述可拆卸支座具有元件安装腔，所述可拆卸支座的所述元件安装腔用于容置成像镜组、中继镜组、分束器中的至少一种；所述可拆卸支座上设有与其内部的元件安装腔连通的通光口，所述可拆卸支座上的所述通光口用于供光学探测器连接。

14、在一种技术方案中，所述第二连接部包括两处支撑脚，两处支撑脚的排列方向平行于所述光机背板的板面，所述支撑脚上设有用于支撑到所述承载支座上的支撑法兰，所述可拆卸支座与所述承载支座通过所述支撑法兰连接。

15、在一种技术方案中，所述支撑法兰具有朝向所述承载支座的对接面和与所述对接面相背的背面，所述支撑脚包括与所述支撑法兰连接的支腿，所述支撑法兰的所述背面与所述支腿之间设有加强筋。

16、在一种技术方案中，所述光机背板包括延展耳部，所述延展耳部沿所述光机背板的板面凸出所述光机背板的侧边，所述延展耳部用于装配光学调节组件。

17、在一种技术方案中，所述光机背板上设有减重槽，所述减重槽用于减轻所述光机背板的重量。

18、第二方面，本实用新型提供了一种光学设备。

19、一种光学设备，包括：

20、载物台，所述载物台用于承载被检物品；

21、多个光学模块，设于上述任一项技术方案所述的光机承载结构上，用于构成针对所述被检测物品的照明光路和成像光路；

22、驱动模块，与所述光机承载结构连接，用于驱动所述光机承载结构沿预设的运动方向移动。

23、本实用新型的有益效果：

24、据上述光机承载结构，承载支座与光机背板采用了一体结构，相比于通过紧固件可拆卸地连接承载支座与光机背板，一体结构能够避免紧固件的紧固和松动过程导致光机背板发生变形，进而有利于避免由此导致承载支座的固定位置发生变化，同时，承载支座凸出于所述光机背板的部位与所述光机背板的板面之间设置了加强支撑结构，加强支撑结构有利于避免所述承载支座相对于所述光机背板偏摆，保证一体结构的稳定性，从而保证了承载支座在光机背板上具有稳定可靠的设置位置，能够提高光学设备的稳定性和可靠性。

技术特征：

1.一种光机承载结构，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的光机承载结构，其特征在于，所述加强支撑组件包括斜撑梁，所述斜撑梁相对于所述光机背板倾斜布置，所述斜撑梁的一端与所述光机背板连接，另一端与所述承载支座连接。

3.如权利要求1所述的光机承载结构，其特征在于，所述承载支座包括法兰连接部，所述法兰连接部用于供可拆卸支座连接，所述法兰连接部具有用于朝向所述可拆卸支座的对接面和与所述对接面相背的背面，所述加强支撑组件连接在所述背面与所述光机背板之间。

4.如权利要求3所述的光机承载结构，其特征在于，所述承载支座的光学腔室具有第一光轴方向，所述法兰连接部的所述对接面与所述第一光轴方向垂直；其中，所述第一光轴方向配置为所述光机背板的运动方向。

5.如权利要求4所述的光机承载结构，其特征在于，至少一个所述通光口沿第二光轴方向设置，所述第二光轴方向与所述第一光轴方向垂直；所述光学腔室内用于设置分光元件或反射元件，以将全部或部分的光束从第二光轴方向引导至第一光轴方向。

6.如权利要求1至4中任一项所述的光机承载结构，其特征在于，所述加强支撑组件与所述光机背板、所述承载支座连为一体化结构。

7.如权利要求1或2所述的光机承载结构，其特征在于，还包括可拆卸支座，所述可拆卸支座具有第一连接部和第二连接部，所述第一连接部和所述第二连接部分别位于所述可拆卸支座的两个相邻侧，所述第一连接部与所述光机背板可拆连接，所述第二连接部与所述承载支座可拆卸连接。

8.如权利要求7所述的光机承载结构，其特征在于，所述可拆卸支座具有元件安装腔，所述可拆卸支座的所述元件安装腔用于容置成像镜组、中继镜组、分束器中的至少一种；所述可拆卸支座上设有与其内部的元件安装腔连通的通光口，所述可拆卸支座上的所述通光口用于供光学探测器连接。

9.如权利要求7所述的光机承载结构，其特征在于，所述第二连接部包括两处支撑脚，两处支撑脚的排列方向平行于所述光机背板的板面，所述支撑脚上设有用于支撑到所述承载支座上的支撑法兰，所述可拆卸支座与所述承载支座通过所述支撑法兰连接。

10.如权利要求9所述的光机承载结构，其特征在于，所述支撑法兰具有朝向所述承载支座的对接面和与所述对接面相背的背面，所述支撑脚包括与所述支撑法兰连接的支腿，所述支撑法兰的所述背面与所述支腿之间设有加强筋。

11.如权利要求1至4中任一项所述的光机承载结构，其特征在于，所述光机背板包括延展耳部，所述延展耳部沿所述光机背板的板面凸出所述光机背板的侧边，所述延展耳部用于装配光学调节组件。

12.如权利要求1至4中任一项所述的光机承载结构，其特征在于，所述光机背板上设有减重槽，所述减重槽用于减轻所述光机背板的重量。

13.一种光学设备，其特征在于，包括：

技术总结本技术涉及光机承载结构。一种光机承载结构，包括：光机背板；承载支座，所述承载支座与所述光机背板为一体结构并凸出所述光机背板的板面；所述承载支座设有光学腔室以及与所述光学腔室连通的多个通光口，所述光学腔室用于引导光束的传输，所述通光口用于对接相应的光学模块；以及加强支撑组件，所述加强支撑组件连接在所述承载支座凸出于所述光机背板的部位与所述光机背板的板面之间，所述加强支撑组件用于阻止所述承载支座相对于所述光机背板产生形变。本技术主要解决光学设备的光学模块之间易发生位置关系改变而影响光路稳定的技术问题。技术研发人员：胡志伟,姚本溪,吕肃,陈鲁受保护的技术使用者：深圳中科飞测科技股份有限公司技术研发日：20231026技术公布日：2024/6/5