一种掩膜版清洗机毛刷机构的制作方法

本技术涉及掩膜版清洗设备机构领域，具体涉及一种掩膜版清洗机毛刷机构。

背景技术：

1、掩膜版生产过程中，需要经过曝光、显影、蚀刻、脱模、清洗环节，掩膜版才能出现完整的图形，而掩膜版清洗环节是去除掩膜版在脱模过程中残留的光刻胶、药液残留等颗粒物，而清洗毛刷是清洗环节去除残胶颗粒异物的重要工具。掩膜版清洗时产品会在轴承带动下旋转，毛刷也会在电机的带动下旋转加挥动，同一时间毛刷周围会持续喷洒清洗药液，毛刷在旋转和药液的作用下清洁掩膜版。但清洗液直接有喷液管喷洒至掩膜版上，随着毛刷的转动会导致药液会被甩到掩膜版外，从而造成清洗液的浪费并降低清洗效果。

技术实现思路

1、本实用新型目的在于提供一种掩膜版清洗机毛刷机构，能够有效的解决清洗液直接喷洒在掩膜版后，随着毛刷的转动药液被甩到掩膜版外的问题，从而避免清洗液的浪费并提高清洗效果。

2、本实用新型通过下述技术方案实现：

3、一种掩膜版清洗机毛刷机构，包括驱动组件、清洗刷头和清洗液布液盘，所述驱动组件固定于外部支架上并悬与待刷掩膜版上方；所述驱动组件的驱动端与所述清洗液布液盘连接；所述清洗刷头设置于所述清洗液布液盘下方，并与待刷掩膜版接触。为了解决上述技术问题，并实现相应技术效果，本实用新型，工作时清洗液首先进入清洗液布液盘内，然后通过清洗液布液盘进行二次布液，确保清洗液能够直接流入清洗刷头底部，更有利于清洗液的利用，从而解决随着毛刷的转动药液被甩到掩膜版外的问题，进而能够有效的避免清洗液的浪费并提高清洗效果。

4、进一步的技术方案：

5、所述清洗液布液盘上设置有若干漏液槽，且若干所述漏液槽沿所述清洗液布液盘的轴线呈周向设置。

6、更进一步的：所述漏液槽的上部开口大于所述漏液槽的下部开口，且所述漏液槽的两侧壁均向所述漏液槽中间收紧。

7、更进一步的：所述漏液槽的槽底与槽顶间存在角度偏移，且所述槽底的偏移方向于所述清洗液布液盘的转动方向一致。

8、更进一步的：若干所述漏液槽沿所述清洗液布液盘的周向均匀等角度间隔设置；

9、更进一步的：相邻两道所述漏液槽之间的角度间隔为30°～45°。

10、更进一步的：在所述清洗液布液盘底部，相邻两道所述漏液槽之间均设置有一道清洗刷头。

11、更进一步的：所述清洗液布液盘顶开设有用于防止清洗液飞溅的阻液槽，且所述漏液槽均设置于所述阻液槽内。

12、更进一步的：还包括喷液管，所述喷液管的一端与外部清洗液连通，所述喷液管的另一端插入所述阻液槽内。

13、更进一步的：所述驱动组件包括驱动电机和转轴，所述转轴的一端与所述驱动电机的驱动轴连接，所述转轴的另一端与所述清洗液布液盘连接。

14、更进一步的：所述驱动组件还包括电机箱体，所述电机箱体与外部支架连接，且所述驱动电机设置于所述电机箱体内；

15、更进一步的：所述转轴延伸至所述电机箱体外后与所述清洗液布液盘连接。

16、本实用新型与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：

17、1、本实用新型一种掩膜版清洗机毛刷机构，工作时清洗液首先进入清洗液布液盘内，然后通过清洗液布液盘进行二次布液，确保清洗液能够直接流入清洗刷头底部，更有利于清洗液的利用，从而解决随着毛刷的转动药液被甩到掩膜版外的问题，进而能够有效的避免清洗液的浪费并提高清洗效果。

18、2、本实用新型一种掩膜版清洗机毛刷机构，所述漏液槽的上部开口大于所述漏液槽的下部开口，以及所述漏液槽的槽底与槽顶间存在角度偏移，能够提高清洗液的布液效果，确保清洗液能够均匀有效的流入清洗刷头底部。

19、3、本实用新型一种掩膜版清洗机毛刷机构，所述阻液槽的设置能够有效的避免清洗液随着清洗液布液盘转动而被甩出的问题出现，从而有效的避免清洗液的浪费。

技术特征：

1.一种掩膜版清洗机毛刷机构，其特征在于，包括驱动组件(1)、清洗刷头(2)和清洗液布液盘(3)，所述驱动组件(1)固定于外部支架上并悬与待刷掩膜版上方；

2.根据权利要求1所述的一种掩膜版清洗机毛刷机构，其特征在于，所述清洗液布液盘(3)上设置有若干漏液槽(31)，且若干所述漏液槽(31)沿所述清洗液布液盘(3)的轴线呈周向设置。

3.根据权利要求2所述的一种掩膜版清洗机毛刷机构，其特征在于，所述漏液槽(31)的上部开口大于所述漏液槽(31)的下部开口，且所述漏液槽(31)的两侧壁均向所述漏液槽(31)中间收紧。

4.根据权利要求3所述的一种掩膜版清洗机毛刷机构，其特征在于，所述漏液槽(31)的槽底与槽顶间存在角度偏移，且所述槽底的偏移方向于所述清洗液布液盘(3)的转动方向一致。

5.根据权利要求2所述的一种掩膜版清洗机毛刷机构，其特征在于，若干所述漏液槽(31)沿所述清洗液布液盘(3)的周向均匀等角度间隔设置；

6.根据权利要求5所述的一种掩膜版清洗机毛刷机构，其特征在于，在所述清洗液布液盘(3)底部，相邻两道所述漏液槽(31)之间均设置有一道清洗刷头(2)。

7.根据权利要求2所述的一种掩膜版清洗机毛刷机构，其特征在于，所述清洗液布液盘(3)顶开设有用于防止清洗液飞溅的阻液槽(32)，且所述漏液槽(31)均设置于所述阻液槽(32)内。

8.根据权利要求7所述的一种掩膜版清洗机毛刷机构，其特征在于，还包括喷液管(4)，所述喷液管的一端与外部清洗液连通，所述喷液管(4)的另一端插入所述阻液槽(32)内。

9.根据权利要求2所述的一种掩膜版清洗机毛刷机构，其特征在于，所述驱动组件(1)包括驱动电机(11)和转轴(12)，所述转轴(12)的一端与所述驱动电机(11)的驱动轴连接，所述转轴(12)的另一端与所述清洗液布液盘(3)连接。

10.根据权利要求9所述的一种掩膜版清洗机毛刷机构，其特征在于，所述驱动组件(1)还包括电机箱体(13)，所述电机箱体(13)与外部支架连接，且所述驱动电机(11)设置于所述电机箱体(13)内；

技术总结本技术公开了一种掩膜版清洗机毛刷机构，包括驱动组件、清洗刷头和清洗液布液盘，所述驱动组件固定于外部支架上并悬与待刷掩膜版上方；所述驱动组件的驱动端与所述清洗液布液盘连接；所述清洗刷头设置于所述清洗液布液盘下方，并与待刷掩膜版接触。本技术，工作时清洗液首先进入清洗液布液盘内，然后通过清洗液布液盘进行二次布液，确保清洗液能够直接流入清洗刷头底部，更有利于清洗液的利用，从而解决随着毛刷的转动药液被甩到掩膜版外的问题，进而能够有效的避免清洗液的浪费并提高清洗效果。技术研发人员：孙多卫,郑宇辰受保护的技术使用者：成都路维光电有限公司技术研发日：20231127技术公布日：2024/6/11