一种单晶炉预膜处理设备的制作方法

本技术属于单晶炉，涉及一种单晶炉预膜处理设备。

背景技术：

1、预膜处理是水处理的一种基础处理。在清洗结束后,设备金属表面处于活泼状态,预膜处理就是在整个系统的运行初期,向水中投加高浓度的缓蚀阻垢剂,使金属表面迅速生成一种化学保护膜,以阻止介质对设备的侵蚀,从而起到缓蚀阻垢作用。而在单晶炉的运作过程中也需要对其进行预膜处理，而现在市面上的专门用于单晶炉预膜处理的设备较少，且适配性不高，因此，设计出一种单晶炉预膜处理设备是很有必要的。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种单晶炉预膜处理设备。

2、本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种单晶炉预膜处理设备，包括a箱、b箱、c箱、d箱和e箱，其特征在于，所述a箱、b箱、c箱、d箱和e箱底部分别通过水管a1、水管b1、水管c1、水管d1和水管e1连接有主水管一，主水管一上又分别通过单元a、单元b、单元c、单元d、单元e连接有外部的流水管一和流水管二，所述a箱、b箱、c箱、d箱和e箱顶部设置有开口，开口上方分别通过水管a7、水管b7、水管c7、水管d7和水管e3连接有主水管二，所述主水管二的一端连接有x气管，x气管通过三通管分别连接有气体管道的一端和y气管，y气管与主水管一的一端相连，所述主水管二的另一端通过单元e与与气体管道的另一端和主水管一的另一端相连。

3、所述单元a包括水管a2，所述水管a2一端连接主水管一，水管a2的另一端通过三通管分别连接有水管a3和水管a4，所述水管a3连接有流水管一，所述水管a4通过三通管分别连接有回水管a和水管a5，所述水管a5又通过三通管分别连接有流水管二和水管a6，所述水管a6通过气管a连接有气体管道。

4、所述单元e包括水管e2，所述水管e2一端连接主水管一，水管e2的另一端通过三通管分别连接有水管d3和气体管道，所述气体管道端部连接有气管e4，气管e4又通过三通管分别连接主水管二和出气口，所述主水管二的端部设置有水管e5作为备用接口。

5、所述的各水管和气管上均安装有对应的阀门。

6、所述y气管上安装有气阀一，所述x气管上安装有气阀二。

7、所述出气口上安装有气阀三。

8、采用上述结构，方便控制。

9、本实用新型的工作原理如下：选择a箱、b箱、c箱、d箱或e箱其中之一作为主体进行一拖四操作，例如选择a箱作为主体：将流水管一和流水管二接好相应单晶炉后，开关阀门，使a1、a2、a3、a5、a7阀开启，a4、a6阀关闭b2、b3、b5阀开启，b1、b4、b6、b7阀关闭c2、c3、c5阀开启，c1、c4、c6、c7阀关闭d2、d3、d5阀开启，d1、d4、d6、d7阀关闭e1、e2、e3、e4、e5阀关闭气阀1、气阀2、气阀3关闭，之后正式抽a桶液体，常温循环清洗5-8分钟,关a桶开关电源，等液体回流到a桶内，等到没有液体流出时，将a1阀关闭，先开气阀1、后开气阀3，进行排液，排干后关闭气阀1、气阀3，之后再关闭：a2、a5、b2、b5、c2、c5、d2、d5阀，开启：a4、a6、b4、b6、c4、c6、d4、d6阀，再三检查各个阀门状态，再开启气阀3，进行反向排液，排干后，关闭气阀3，最后关闭：a4、a6、b4、b6、c4、c6、d4、d6阀,开启e4阀、气阀2，检查各个阀门状态后，开启气阀3，进行最终排液，排干后关闭气阀3；采用b箱、c箱、d箱或e箱为主体时其工作原理与上述原理相同。

10、与现有技术相比，本单晶炉预膜处理设备具有该优点：本实用新型通过各管路与阀门之间的配合，能够很好的对单晶炉进行清洗和预膜。

技术特征：

1.一种单晶炉预膜处理设备，包括a箱(1)、b箱(2)、c箱(3)、d箱(4)和e箱(5)，其特征在于，所述a箱(1)、b箱(2)、c箱(3)、d箱(4)和e箱(5)底部分别通过水管a1、水管b1、水管c1、水管d1和水管e1连接有主水管一(6)，主水管一(6)上又分别通过单元a、单元b、单元c、单元d、单元e连接有外部的流水管一(7)和流水管二(8)，所述a箱(1)、b箱(2)、c箱(3)、d箱(4)和e箱(5)顶部设置有开口，开口上方分别通过水管a7、水管b7、水管c7、水管d7和水管e3连接有主水管二(9)，所述主水管二(9)的一端连接有x气管(10)，x气管(10)通过三通管分别连接有气体管道(12)的一端和y气管(11)，y气管(11)与主水管一(6)的一端相连，所述主水管二(9)的另一端通过单元e与气体管道(12)的另一端和主水管一(6)的另一端相连。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉预膜处理设备，其特征在于，所述单元a包括水管a2，所述水管a2一端连接主水管一(6)，水管a2的另一端通过三通管分别连接有水管a3和水管a4，所述水管a3连接有流水管一(7)，所述水管a4通过三通管分别连接有回水管a和水管a5，所述水管a5又通过三通管分别连接有流水管二(8)和水管a6，所述水管a6通过气管a连接有气体管道(12)。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉预膜处理设备，其特征在于，所述单元e包括水管e2，所述水管e2一端连接主水管一(6)，水管e2的另一端通过三通管分别连接有水管d3和气体管道(12)，所述气体管道(12)端部连接有气管e4，气管e4又通过三通管分别连接主水管二(9)和出气口，所述主水管二(9)的端部设置有水管e5作为备用接口。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉预膜处理设备，其特征在于，所述的各水管和气管上均安装有对应的阀门。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉预膜处理设备，其特征在于，所述y气管(11)上安装有气阀一(13)，所述x气管(10)上安装有气阀二(14)。

6.根据权利要求3所述的一种单晶炉预膜处理设备，其特征在于，所述出气口上安装有气阀三(15)。

技术总结本技术提供了一种单晶炉预膜处理设备。它解决了现在市面上的专门用于单晶炉预膜处理的设备较少，且适配性不高等技术问题。本单晶炉预膜处理设备，包括箱体A、箱体B、箱体C、箱体D和箱体E，底部分别通过水管A1、水管B1、水管C1、水管D1和水管E1连接有主水管一，顶部设置有开口，开口上方分别通过水管A7、水管B7、水管C7、水管D7和水管E3连接有主水管二，主水管二的一端连接有气管X，气管X通过三通管分别连接有气体管道的一端和气管Y，气管Y与主水管一的一端相连，主水管二的另一端通过单元E与与气体管道的另一端和主水管一的另一端相连。本技术通过各管路与阀门之间的配合，能够很好的对单晶炉进行清洗和预膜。技术研发人员：苏鸣,盛建刚,叶青海,许建枫,宋星星受保护的技术使用者：浙江盛诚机械科技有限公司技术研发日：20231016技术公布日：2024/6/11