一种籽晶用防氧化工装及系统的制作方法

本技术涉及单晶拉制，具体涉及一种籽晶用防氧化工装及系统。

背景技术：

1、单晶硅拉制过程中，氩气由单晶炉副室从上而下竖直吹出，起到带走挥发物和带走晶体表面热量等作用。但是由于籽晶位于重锤的正下方，且籽晶的直径小于夹头及重锤的直径，夹头及重锤阻挡氩气使氩气无法吹拂到籽晶的表面，无法正常带走籽晶周围的挥发物及热量，导致籽晶表面容易出现氧化发彩的现象，影响籽晶正常熔接。若籽晶周围的挥发物等杂质没有被氩气带走，便会在籽晶表面聚集，形成肉眼可见的氧化物，若氧化物掉入熔体中，则会影响单晶成晶，进而造成断线。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种籽晶用防氧化工装及系统，能够引导氩气吹拂到籽晶的表面，带走籽晶周围的挥发物及热量，避免籽晶表面出现氧化发彩的现象，影响籽晶正常熔接，同时避免了籽晶周围的挥发物等杂质在籽晶表面聚集形成肉眼可见的氧化物并掉入熔体中，影响单晶成晶，进而造成断线。

2、为解决上述技术问题，本实用新型采用了以下方案：

3、第一方面，一种籽晶用防氧化工装，包括漏斗状的将氩气向籽晶处汇聚的氩气汇聚装置，所述氩气汇聚装置的大口朝上且环绕在重锤的外围，所述氩气汇聚装置的小口朝下且环绕在与重锤的底面连接的籽晶的外围。

4、进一步的，设定氩气汇聚装置的轴线所处的平面为氩气汇聚装置的中心面，所述氩气汇聚装置的中心面将氩气汇聚装置分为相互之间可拆卸连接的第一挂壁和第二挂壁。

5、进一步的，所述第一挂壁上固定安装有第一连接杆的一端，所述第一连接杆的另一端上固定安装有可固定套设在重锤的上部并可从重锤的上部拆卸下来的安装环。

6、进一步的，所述安装环的半径大于或等于重锤的上部的半径且小于重锤的下部的半径。

7、进一步的，所述第二挂壁上固定安装有第二连接杆的一端，所述第二连接杆的另一端上固定安装有可拆卸安装在安装环上的挂钩。

8、进一步的，所述安装环的外侧壁上开设有凹槽，所述凹槽的槽面上固定安装有挂杆，所述挂钩可拆卸安装在挂杆上。

9、进一步的，所述安装环上开设有供与重锤的顶面连接的钨丝绳穿过的缺口。

10、第二方面，一种籽晶用防氧化系统，包括重锤、与重锤的底面连接的籽晶和与重锤的顶面连接的钨丝绳，还包括上述方案中任意一项所述的籽晶用防氧化工装，所述籽晶用防氧化工装中的氩气汇聚装置的大口朝上且环绕在重锤的外围，所述籽晶用防氧化工装中的氩气汇聚装置的小口朝下且环绕在籽晶的外围，所述籽晶用防氧化工装中的安装环可固定套设在重锤的上部并可从重锤的上部拆卸下来。

11、本实用新型具有的有益效果：

12、1、本实用新型中，单晶炉副室内的氩气先吹拂至氩气汇聚装置的大口处，接着会沿着氩气汇聚装置的内侧壁移动至氩气汇聚装置的小口处，由于氩气汇聚装置的小口环绕在籽晶的外围，因此氩气会在氩气汇聚装置的引导下吹拂籽晶的表面，带走籽晶周围的挥发物及热量，避免籽晶表面出现氧化发彩的现象，影响籽晶正常熔接，同时避免了籽晶周围的挥发物等杂质在籽晶表面聚集形成肉眼可见的氧化物并掉入熔体中，影响单晶成晶，进而造成断线。

13、2、本实用新型中，氩气汇聚装置分为相互之间可拆卸连接的第一挂壁和第二挂壁，便于安装氩气汇聚装置和将氩气汇聚装置拆除。

14、3、本实用新型中，安装环的半径大于或等于重锤的上部的半径且小于重锤的下部的半径，使安装环可以固定套设在重锤的上部，第一挂壁通过第一连接杆与安装环连接，使第一挂壁可以固定在指定位置处。

15、4、本实用新型中，安装环的外侧壁上的凹槽的槽面上固定安装有挂杆，且第二挂壁上固定安装的第二连接杆上安装有挂钩，挂钩可拆卸安装在挂杆上，使第二挂壁可以固定在指定位置处。

16、5、本实用新型中，位于安装环内的钨丝绳可通过安装环上的缺口移动至安装环外。

技术特征：

1.一种籽晶用防氧化工装，其特征在于，包括漏斗状的将氩气向籽晶(12)处汇聚的氩气汇聚装置，所述氩气汇聚装置的大口朝上且环绕在重锤(11)的外围，所述氩气汇聚装置的小口朝下且环绕在与重锤(11)的底面连接的籽晶(12)的外围。

2.根据权利要求1所述的一种籽晶用防氧化工装，其特征在于，设定氩气汇聚装置的轴线所处的平面为氩气汇聚装置的中心面，所述氩气汇聚装置的中心面将氩气汇聚装置分为相互之间可拆卸连接的第一挂壁(4)和第二挂壁(3)。

3.根据权利要求2所述的一种籽晶用防氧化工装，其特征在于，所述第一挂壁(4)上固定安装有第一连接杆(5)的一端，所述第一连接杆(5)的另一端上固定安装有可固定套设在重锤(11)的上部并可从重锤(11)的上部拆卸下来的安装环(1)。

4.根据权利要求3所述的一种籽晶用防氧化工装，其特征在于，所述安装环(1)的半径大于或等于重锤(11)的上部的半径且小于重锤(11)的下部的半径。

5.根据权利要求3所述的一种籽晶用防氧化工装，其特征在于，所述第二挂壁(3)上固定安装有第二连接杆(2)的一端，所述第二连接杆(2)的另一端上固定安装有可拆卸安装在安装环(1)上的挂钩(9)。

6.根据权利要求5所述的一种籽晶用防氧化工装，其特征在于，所述安装环(1)的外侧壁上开设有凹槽(7)，所述凹槽(7)的槽面上固定安装有挂杆(6)，所述挂钩(9)可拆卸安装在挂杆(6)上。

7.根据权利要求3所述的一种籽晶用防氧化工装，其特征在于，所述安装环(1)上开设有供与重锤(11)的顶面连接的钨丝绳(10)穿过的缺口(8)。

8.一种籽晶用防氧化系统，包括重锤(11)、与重锤(11)的底面连接的籽晶(12)和与重锤(11)的顶面连接的钨丝绳(10)，其特征在于，还包括权利要求1-7中任意一项所述的籽晶用防氧化工装，所述籽晶用防氧化工装中的氩气汇聚装置的大口朝上且环绕在重锤(11)的外围，所述籽晶用防氧化工装中的氩气汇聚装置的小口朝下且环绕在籽晶(12)的外围，所述籽晶用防氧化工装中的安装环(1)可固定套设在重锤(11)的上部并可从重锤(11)的上部拆卸下来。

技术总结本技术涉及单晶拉制技术领域，公开了一种籽晶用防氧化工装及系统，其中一种籽晶用防氧化工装，包括漏斗状的将氩气向籽晶处汇聚的氩气汇聚装置，氩气汇聚装置的大口朝上且环绕在重锤的外围，氩气汇聚装置的小口朝下且环绕在与重锤的底面连接的籽晶的外围，还公开了一种籽晶用防氧化系统，包括包括重锤、籽晶和钨丝绳，还包括籽晶用防氧化工装。本技术能够引导氩气吹拂到籽晶的表面，带走籽晶周围的挥发物及热量，避免籽晶表面出现氧化发彩的现象，影响籽晶正常熔接，同时避免了籽晶周围的挥发物等杂质在籽晶表面聚集形成肉眼可见的氧化物并掉入熔体中，影响单晶成晶，进而造成断线。技术研发人员：黄旭东,关树军,洪华,路建华,曾宏强,杨亚方受保护的技术使用者：乐山市京运通半导体材料有限公司技术研发日：20231107技术公布日：2024/5/27