一种激光整形装置的制作方法

本技术涉及激光辅助键合领域，具体而言，涉及一种激光整形装置。

背景技术：

1、激光辅助键合利用激光的热效应实现电子元件的封装互连。与传统回流焊方法相比，该方法可实现键合区域精确的加热控制，有效避免了可能产生的热膨胀与热应力，在提高键合效率的同时可实现微细结构的互连。而能量均匀分布的光斑是实现高质量键合的基础，此外，在对不同型号芯片进行键合时，需调整光斑的尺寸。

2、现有的光束均化方法只能获得固定尺寸的平顶光束，限制了激光辅助键合系统的灵活性，而光阑等方法虽然可以获得不同尺寸的光斑，但仍需添加光束均化系统，增加了系统的复杂程度。综上，亟需一种可同时均化光束能量分布、灵活调节光斑尺寸的光束整形系统。

技术实现思路

1、本实用新型实施例提供一种激光整形装置，以解决无法同时均化光束和调节光斑的技术问题。

2、本实用新型实施例提供的一种激光整形装置，沿激光传播方向，包括依次设置的激光器、微透镜阵列和图像采集器；所述微透镜阵列至少具有两个，且两者间距能够调整。

3、优选的，沿激光传播方向，所述微透镜阵列包括依次设置的第一微透镜阵列、第二微透镜阵列和第三微透镜阵列，所述第一微透镜阵列相对于所述激光器固定设置；

4、所述第二微透镜阵列相对于所述第一微透镜阵列可移动设置；和/或，所述第三微透镜阵列相对于所述第一微透镜阵列可移动设置。

5、优选的，包括驱动组件，所述驱动组件被配置为驱动所述第二微透镜阵列相对于所述第一微透镜阵列移动，和/或，所述驱动组件被配置为驱动所述第三微透镜阵列相对于所述第一微透镜阵列移动。

6、优选的，所述驱动组件包括电机，所述电机配置为驱动所述第二微透镜阵列靠近或远离所述第一微透镜阵列，和/或，所述电机配置为驱动所述第三微透镜阵列靠近或远离所述第一微透镜阵列。

7、优选的，还包括上位机，所述电机和所述图像采集器均与所述上位机电连接。

8、优选的，还包括透镜，所述透镜设置于所述第三微透镜阵列与所述图像采集器之间。

9、优选的，包括扩束准直模块，所述扩束准直模块位于所述激光器与所述第一微透镜阵列之间。

10、优选的，沿激光传播方向，所述扩束准直模块依次包括聚焦镜和准直镜，且位于所述激光器与所述第一微透镜阵列之间。

11、优选的，所述扩束准直模块包括滤波器，所述滤波器设置于所述聚焦镜与所述准直镜之间，且位于所述聚焦镜的聚焦焦点或靠近于所述聚焦焦点的部位。

12、优选的，所述滤波器为针孔滤波器。

13、本实用新型实施例所提供的的有益效果在于：设置激光器发射激光，设有至少两个可调整的微透镜阵列，激光光束经过微透镜阵列，获得整形均化后的光束，图像采集器采集到整形后光斑的尺寸，在此过程中，可以通过调整微透镜阵列间的距离来调整入射至图像采集器的光斑尺寸，同时实现均化光束和调节光斑。

技术特征：

1.一种激光整形装置，其特征在于，沿激光传播方向，包括依次设置的激光器(1)、微透镜阵列和图像采集器(9)；所述微透镜阵列包括依次设置的第一微透镜阵列(5)、第二微透镜阵列(6)和第三微透镜阵列(7)，所述第一微透镜阵列(5)相对于所述激光器(1)固定设置；

2.根据权利要求1所述的激光整形装置，其特征在于，所述驱动组件包括电机；所述电机配置为驱动所述第二微透镜阵列(6)靠近或远离所述第一微透镜阵列(5)，和/或，所述电机配置为驱动所述第三微透镜阵列(7)靠近或远离所述第一微透镜阵列(5)。

3.根据权利要求2所述的激光整形装置，其特征在于，还包括上位机(13)，所述电机和所述图像采集器(9)均与所述上位机(13)电连接。

4.根据权利要求1所述的激光整形装置，其特征在于，还包括透镜(8)，所述透镜(8)设置于所述第三微透镜阵列(7)与所述图像采集器(9)之间。

5.根据权利要求1所述的激光整形装置，其特征在于，包括扩束准直模块，所述扩束准直模块位于所述激光器(1)与所述第一微透镜阵列(5)之间。

6.根据权利要求5所述的激光整形装置，其特征在于，沿激光传播方向，所述扩束准直模块依次包括聚焦镜(2)和准直镜(4)，且位于所述激光器(1)与所述第一微透镜阵列(5)之间。

7.根据权利要求6所述的激光整形装置，其特征在于，所述扩束准直模块包括滤波器(3)，所述滤波器(3)设置于所述聚焦镜(2)与所述准直镜(4)之间，且位于所述聚焦镜(2)的聚焦焦点或靠近于所述聚焦焦点的部位。

8.根据权利要求7所述的激光整形装置，其特征在于，所述滤波器(3)为针孔滤波器。

技术总结本技术涉及激光辅助键合领域，尤其涉及一种激光整形装置，该装置包括依次设置的激光器、微透镜阵列和图像采集器；微透镜阵列至少具有两个，且两者间距能够调整。设置激光器发射激光，设有至少两个可调整的微透镜阵列，激光光束经过微透镜阵列，获得整形均化后的光束，图像采集器采集到整形后光斑的尺寸，在此过程中，可以通过调整微透镜阵列间的距离来调整入射至图像采集器的光斑尺寸，同时实现均化光束和调节光斑。技术研发人员：华国杰,张豹受保护的技术使用者：北京华卓精科科技股份有限公司技术研发日：20230918技术公布日：2024/7/9