一种表面平整度可调式探针卡的制作方法

本技术属于探针卡，具体涉及一种表面平整度可调式探针卡。

背景技术：

1、当前，通信行业及消费电子行业发展迅速，市场对产品相关性能提出了更高的要求，极大推动了半导体器件小型化，集成化的发展进程。整体趋势上，测试触点密度越来越高，测试晶圆对象尺寸越来越大，所以对于探针卡相应半导体器件的测试技术也有了更高的要求，尤其是对探针卡平整度要求越来越严苛。

2、如专利(cn116679095a)公开了一种优化平整度调节的探针卡，优化了探针卡平整度调节效率和精度，提升了平整度的可调整裕量；

3、在使用上述技术时，发现现有技术中存在以下技术问题：该装置在调节平整度时不够精细，易导致调节过度，进而影响探针卡的平整度，且调整时，易导致探针卡局部变形，导致探针卡的损坏，为此，我们设计一种表面平整度可调式探针卡，用于对上述技术问题提供另一种技术方案。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种表面平整度可调式探针卡，以解决上述背景技术中提出现有的技术在使用过程中的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种表面平整度可调式探针卡，包括支撑架，所述支撑架的底部设置有探针卡主体，所述支撑架与探针卡主体之间设置有多个转动组件，所述转动组件包括竖向滑动柱、圆形罩、竖向连接柱以及球体，所述竖向连接柱位于探针卡主体的顶部且与探针卡主体固定连接，所述竖向连接柱的顶部固定有球体，所述球体顶部的外侧转动连接有圆形罩，所述圆形罩的顶部与竖向滑动柱固定连接；

3、所述支撑架顶部的四个端角均固定有矩形调整箱，所述矩形调整箱的内部设置有用于竖向滑动柱升降的升降机构。

4、优选的，所述升降机构包括圆形旋转件，所述圆形旋转件位于矩形调整箱的内部且与矩形调整箱通过轴承转动连接，所述圆形旋转件的一端固定有第一横向螺纹杆，所述第一横向螺纹杆远离圆形旋转件的一端固定有第二横向螺纹杆，所述第一横向螺纹杆与第二横向螺纹杆的螺纹旋向相反，所述第一横向螺纹杆以及第二横向螺纹杆的外侧均螺纹连接有矩形移动板，所述矩形移动板的底部转动连接有矩形传动板，所述矩形传动板的底部转动连接有矩形连接板，所述矩形连接板的底部与竖向滑动柱固定连接。

5、优选的，所述圆形旋转件的外侧固定有圆形旋转环，所述矩形调整箱的内部开设有与圆形旋转环适配的圆形旋转槽，所述圆形旋转件与矩形调整箱之间通过圆形旋转环以及圆形旋转槽的配合转动连接；

6、所述圆形旋转件的内部开设有内六角槽。

7、优选的，所述第一横向螺纹杆与第二横向螺纹杆的连接处通过轴承转动连接有一个隔板，所述隔板与矩形调整箱固定连接。

8、优选的，所述矩形移动板的顶部固定有燕尾滑块，所述矩形调整箱的内部开设有与燕尾滑块适配的燕尾滑槽；

9、所述矩形调整箱与矩形移动板之间通过燕尾滑块以及燕尾滑槽的配合滑动连接。

10、优选的，所述竖向滑动柱的外侧且位于矩形调整箱的内部固定有圆形滑动环。

11、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

12、本方案通过升降机构的设置，使得竖向滑动柱能够在矩形调整箱的内部进行滑动，进而使得探针卡主体的一个端角能够得到升降，以便于探针卡主体能够进行平整度调节，且调节更加精细，防止调节过度，通过圆形罩与球体的转动连接，能够防止调节时探针卡主体发生损坏。

技术特征：

1.一种表面平整度可调式探针卡，其特征在于：包括支撑架(1)，所述支撑架(1)的底部设置有探针卡主体(2)，所述支撑架(1)与探针卡主体(2)之间设置有多个转动组件，所述转动组件包括竖向滑动柱(11)、圆形罩(12)、竖向连接柱(13)以及球体(14)，所述竖向连接柱(13)位于探针卡主体(2)的顶部且与探针卡主体(2)固定连接，所述竖向连接柱(13)的顶部固定有球体(14)，所述球体(14)顶部的外侧转动连接有圆形罩(12)，所述圆形罩(12)的顶部与竖向滑动柱(11)固定连接；

2.根据权利要求1所述的一种表面平整度可调式探针卡，其特征在于：所述升降机构包括圆形旋转件(4)，所述圆形旋转件(4)位于矩形调整箱(3)的内部且与矩形调整箱(3)通过轴承转动连接，所述圆形旋转件(4)的一端固定有第一横向螺纹杆(5)，所述第一横向螺纹杆(5)远离圆形旋转件(4)的一端固定有第二横向螺纹杆(6)，所述第一横向螺纹杆(5)与第二横向螺纹杆(6)的螺纹旋向相反，所述第一横向螺纹杆(5)以及第二横向螺纹杆(6)的外侧均螺纹连接有矩形移动板(7)，所述矩形移动板(7)的底部转动连接有矩形传动板(8)，所述矩形传动板(8)的底部转动连接有矩形连接板(9)，所述矩形连接板(9)的底部与竖向滑动柱(11)固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种表面平整度可调式探针卡，其特征在于：所述圆形旋转件(4)的外侧固定有圆形旋转环，所述矩形调整箱(3)的内部开设有与圆形旋转环适配的圆形旋转槽，所述圆形旋转件(4)与矩形调整箱(3)之间通过圆形旋转环以及圆形旋转槽的配合转动连接；

4.根据权利要求2所述的一种表面平整度可调式探针卡，其特征在于：所述第一横向螺纹杆(5)与第二横向螺纹杆(6)的连接处通过轴承转动连接有一个隔板，所述隔板与矩形调整箱(3)固定连接。

5.根据权利要求2所述的一种表面平整度可调式探针卡，其特征在于：所述矩形移动板(7)的顶部固定有燕尾滑块，所述矩形调整箱(3)的内部开设有与燕尾滑块适配的燕尾滑槽；

6.根据权利要求2所述的一种表面平整度可调式探针卡，其特征在于：所述竖向滑动柱(11)的外侧且位于矩形调整箱(3)的内部固定有圆形滑动环(10)。

技术总结本技术公开了一种表面平整度可调式探针卡，属于探针卡技术领域，该一种表面平整度可调式探针卡，包括支撑架，支撑架的底部设置有探针卡主体，支撑架与探针卡主体之间设置有多个转动组件，转动组件包括竖向滑动柱、圆形罩、竖向连接柱以及球体，竖向连接柱位于探针卡主体的顶部且与探针卡主体固定连接，竖向连接柱的顶部固定有球体；通过升降机构的设置，使得竖向滑动柱能够在矩形调整箱的内部进行滑动，进而使得探针卡主体的一个端角能够得到升降，以便于探针卡主体能够进行平整度调节，且调节更加精细，防止调节过度，通过圆形罩与球体的转动连接，能够防止调节时探针卡主体发生损坏。技术研发人员：殷伟受保护的技术使用者：无锡矽圆科技有限公司技术研发日：20231208技术公布日：2024/7/11