一种载膜机构、液膜转移装置及薄膜制备设备的制作方法

本申请涉及液膜处理，尤其涉及一种载膜机构、液膜转移装置及薄膜制备设备。

背景技术：

1、目前，在存储或转移液膜中，由于液膜不同区域的溶剂挥发程度不同，导致该液膜成膜后的薄膜均匀性差。

技术实现思路

1、基于此，本申请实施例提供一种载膜机构、液膜转移装置及薄膜制备设备。

2、为了解决上述技术问题，本申请实施例提供一种载膜机构，采用了如下所述的技术方案：

3、一种载膜机构，包括：

4、载膜平台，开设有用于容置液膜的容腔；

5、循环供气模块，用于向所述容腔提供循环的气态溶剂。

6、进一步地，所述载膜平台还开设有与所述容腔连通的储液腔，所述储液腔用于储存溶剂；

7、所述循环供气模块包括设于所述储液腔的雾化件，所述雾化件用于雾化所述储液腔内的溶剂，以形成气态溶剂。

8、进一步地，所述循环供气模块还包括用于输送气态溶剂的驱动件；

9、所述驱动件设于所述储液腔内，且所述驱动件具有输气通道，所述输气通道的两端分别与所述容腔和所述储液腔连通。

10、进一步地，所述载膜平台还开设有进气通道以及回气通道，所述进气通道的两端分别与所述容腔和所述储液腔连通，所述回气通道的两端分别与所述容腔和所述储液腔连通。

11、进一步地，所述进气通道和所述回气通道分别设于所述容腔的两侧。

12、进一步地，所述载膜平台包括底板、装设于所述底板的基板以及装设于所述基板的盖板；

13、所述容腔为所述基板与所述盖板围合形成，所述储液腔为所述底板与所述基板围合形成。

14、进一步地，所述基板开设有与所述储液腔连通的内部注液口；所述载膜平台还包括第一密封件，所述第一密封件可拆卸安装于所述内部注液口。

15、进一步地，所述底板开设有与所述储液腔连通的外部注液口；所述载膜平台还包括第二密封件，所述第二密封件可拆卸安装于所述外部注液口。

16、进一步地，所述载膜机构还包括设于所述容腔的湿度检测模块，所述湿度检测模块用于检测所述容腔的湿度。

17、进一步地，所述载膜机构还包括装设于所述载膜平台的供电模块,所述循环供气模块与所述循环供气模块电连接。

18、进一步地，所述载膜机构还包括装设于所述载膜平台的显示模块,所述循环供气模块与所述显示模块电连接。

19、为了解决上述技术问题，本申请实施例还提供一种液膜转移装置，采用了如下所述的技术方案：

20、一种液膜转移装置，包括如上所述的载膜机构。

21、为了解决上述技术问题，本申请实施例还提供一种薄膜制备设备，采用了如下所述的技术方案：

22、一种薄膜制备设备，包括如上所述的载膜机构、或如上所述的液膜转移装置。

23、与现有技术相比，本申请实施例主要有以下有益效果：本申请利用循环供气模块为容腔内提供循环的气态溶剂，从而提升液膜的成膜均匀性。

技术特征：

1.一种载膜机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的载膜机构，其特征在于，所述载膜平台还开设有与所述容腔连通的储液腔，所述储液腔用于储存溶剂；

3.根据权利要求2所述的载膜机构，其特征在于，所述循环供气模块还包括用于输送气态溶剂的驱动件；

4.根据权利要求2所述的载膜机构，其特征在于，所述载膜平台还开设有进气通道以及回气通道，所述进气通道的两端分别与所述容腔和所述储液腔连通，所述回气通道的两端分别与所述容腔和所述储液腔连通。

5.根据权利要求4所述的载膜机构，其特征在于，所述进气通道和所述回气通道分别设于所述容腔的两侧。

6.根据权利要求2所述的载膜机构，其特征在于，所述载膜平台包括底板、装设于所述底板上的基板以及装设于所述基板上的盖板；

7.根据权利要求6所述的载膜机构，其特征在于，所述基板开设有与所述储液腔连通的内部注液口；所述载膜平台还包括第一密封件，所述第一密封件可拆卸安装于所述内部注液口；和/或，

8.根据权利要求1至7中任一项所述的载膜机构，其特征在于，所述载膜机构还包括设于所述容腔的湿度检测模块，所述湿度检测模块用于检测所述容腔的湿度；和/或，

9.一种液膜转移装置，其特征在于，包括如权利要求1至8中任一项所述的载膜机构。

10.一种薄膜制备设备，其特征在于，包括如权利要求1至8中任一项所述的载膜机构、或如权利要求9所述的液膜转移装置。

技术总结本申请实施例涉及液膜处理领域，尤其涉及一种载膜机构，包括载膜平台和循环供气模块；载膜平台开设有用于容置液膜的容腔；循环供气模块用于向所述容腔提供循环的气态溶剂。本申请还涉及一种液膜转移装置及薄膜制备设备。本申请提供的技术方案能够有效提升液膜的成膜均匀性。技术研发人员：林通,庄锦勇,付东受保护的技术使用者：广东聚华印刷显示技术有限公司技术研发日：20231228技术公布日：2024/7/18