一种半导体加工用储存柜的制作方法

本技术涉及半导体加工，具体涉及一种半导体加工用储存柜。

背景技术：

1、现有技术中的储存柜一般由放置架和外壳组成，当需要移动时，放置在放置架表面的半导体芯片容易发生位移甚至产生碰撞。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种半导体加工用储存柜。

2、为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种半导体加工用储存柜，包括柜体，所述柜体的正面铰接柜门，其创新点在于：所述柜体内部从上至下依次设置多个放置架，所述放置架采用水囊制得，所述放置架内注入清水，所述放置架上设置多个插槽，且每个放置架的外部均设置罩壳，所述罩壳铰接在柜体内，所述罩壳内部区域中的柜体部位均设置真空头，所述真空头外接同一个真空设备，所述放置架的外部设置一圈橡胶密封条，所述橡胶密封条与罩壳的内壁相贴合。

3、进一步的，每个所述放置架的尺寸各不相同，且插槽也各不相同。

4、进一步的，所述罩壳采用透明材质。

5、进一步的，所述放置架表面设置防水涂层。

6、进一步的，所述放置架的底部设置托架，所述托架固定在柜体内。

7、采用上述结构后，本实用新型有益效果为：

8、本实用新型通过设置水囊制得的放置架，放置架上设置插槽用于储存半导体芯片，能够避免对半导体芯片造成损伤，同时每个放置架都配置单独的罩壳，形成单独的真空区，打开其中一个，而不影响其它的正常存储，从而能够保持芯片的真空保存。

技术特征：

1.一种半导体加工用储存柜，包括柜体，所述柜体的正面铰接柜门，其特征在于：所述柜体内部从上至下依次设置多个放置架，所述放置架采用水囊制得，所述放置架内注入清水，所述放置架上设置多个插槽，且每个放置架的外部均设置罩壳，所述罩壳铰接在柜体内，所述罩壳内部区域中的柜体部位均设置真空头，所述真空头外接同一个真空设备，所述放置架的外部设置一圈橡胶密封条，所述橡胶密封条与罩壳的内壁相贴合。

2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用储存柜，其特征在于：每个所述放置架的尺寸各不相同，且插槽也各不相同。

3.根据权利要求1所述的一种半导体加工用储存柜，其特征在于：所述罩壳采用透明材质。

4.根据权利要求1所述的一种半导体加工用储存柜，其特征在于：所述放置架表面设置防水涂层。

5.根据权利要求1所述的一种半导体加工用储存柜，其特征在于：所述放置架的底部设置托架，所述托架固定在柜体内。

技术总结本技术公开了一种半导体加工用储存柜，包括柜体，所述柜体的正面铰接柜门，所述柜体内部从上至下依次设置多个放置架，所述放置架采用水囊制得，所述放置架内注入清水，所述放置架上设置多个插槽，且每个放置架的外部均设置罩壳，所述罩壳铰接在柜体内，所述罩壳内部区域中的柜体部位均设置真空头，所述真空头外接同一个真空设备，所述放置架的外部设置一圈橡胶密封条，所述橡胶密封条与罩壳的内壁相贴合。本技术通过设置水囊制得的放置架，放置架上设置插槽用于储存半导体芯片，能够避免对半导体芯片造成损伤，同时每个放置架都配置单独的罩壳，形成单独的真空区，打开其中一个，而不影响其它的正常存储，从而能够保持芯片的真空保存。技术研发人员：翁晓升受保护的技术使用者：南通捷晶半导体技术有限公司技术研发日：20231228技术公布日：2024/7/18