一种曝光机辅助上料装置的制作方法

本技术涉及曝光机，具体为一种曝光机辅助上料装置。

背景技术：

1、曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备，是在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光，它常用于半导体制造，光电电子，平板，射频微波，衍射光学，微机电系统，凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制领域。现有的大多曝光机的上料方式仍然依靠人工进行上料，这种方式的工作效率较低，浪费了较多的人力资源，且失误率较高。

技术实现思路

1、为了克服现有技术中所存在的上述缺陷，本实用新型提供了一种曝光机辅助上料装置。

2、一种曝光机辅助上料装置，包括机架，所述机架上设有输送平台，所述输送平台的顶部设有上料组件，机架上连接有输送组件，所述输送组件包括用于承托输送小车的翻转架，所述翻转架与输送小车连接，所述上料组件用于将输送小车中物料板取出，所述上料组件包括位于输送平台顶部的滑板。

3、进一步的，所述输送小车为顶部开口结构，所述输送小车的两个相对的内侧壁上均固定安装有栅格架，所述物料板插入栅格架的空隙中。

4、进一步的，所述翻转架与升降组件连接，所述升降组件包括固定安装在机架上的第一驱动电机，所述第一驱动电机的输出端与第一锥形齿轮连接，所述第一锥形齿轮与第二锥形齿轮啮合，所述第二锥形齿轮与第一丝杠的顶部连接，所述机架的侧部设有安装槽，所述第一丝杠向下延伸与安装槽的底壁连接，所述安装槽上远离第一丝杠的一端设有光杆，所述翻转架的顶部设有转轴，所述转轴的两端分别设有第一滑块和第二滑块，所述第一滑块与第一丝杠螺纹配合连接，所述第二滑块与光杆滑动连接。

5、进一步的，所述翻转架为l型结构，所述翻转架的侧板上设有若干定位槽，所述定位槽内设有磁铁，所述输送小车上设有与定位槽对应的定位柱。

6、进一步的，所述翻转架的侧板与电动伸缩杆的输出端连接，所述电动伸缩杆固定安装在安装槽内。

7、进一步的，所述输送小车的底部设有移动滚轮，所述翻转架的底板的上端面设有滑轨，所述移动滚轮通过滑轨与底板滑动连接。

8、进一步的，所述底板的两侧设有向上延伸的限位板，两个所述限位板的相对面与输送小车贴合。

9、进一步的，所述滑板的顶部设有承托板，所述承托板与滑板滑动连接，所述滑板上设有输送槽，所述输送槽内设有第二丝杠，所述第二丝杠与承托板的底部配合连接，所述第二丝杠的一端第二驱动电机的输出端连接，所述第二驱动电机固定安装滑板上，所述承托板靠近翻转架的一端设有向上延伸的上料凸起。

10、进一步的，所述安装槽的顶壁上通过支架安装有第三驱动电机，所述第三驱动电机的输出端与第一齿轮连接，所述第一齿轮与第二齿轮啮合，所述第二齿轮与传动轴的底部连接，所述传动轴的顶部穿过安装槽顶壁与滑板连接。

11、进一步的，所述底板远离侧板的一侧设有向下的倾斜面。

12、由于采用了以上技术方案，本实用新型的有益技术效果是：本实用新型中将多个物料板放置在输送小车上，然后将输送小车推至曝光机附近，将输送小车推至翻转架上，启动电动伸缩杆，带动翻转架旋转90°，从而使输送小车也旋转90°，然后通过上料组件将底部的物料板取出，并将其调整角度，输送至曝光位置，实现了曝光机的自动上料，方便快捷，提高上料的准确性。

技术特征：

1.一种曝光机辅助上料装置，包括机架(1)，其特征在于，所述机架(1)上设有输送平台(2)，所述输送平台(2)的顶部设有上料组件，机架(1)上连接有输送组件，所述输送组件包括用于承托输送小车(4)的翻转架(3)，所述翻转架(3)与输送小车(4)连接，所述上料组件用于将输送小车(4)中物料板(6)取出，所述上料组件包括位于输送平台(2)顶部的滑板(22)。

2.根据权利要求1所述的一种曝光机辅助上料装置，其特征在于，所述输送小车(4)为顶部开口结构，所述输送小车(4)的两个相对的内侧壁上均固定安装有栅格架(5)，所述物料板(6)插入栅格架(5)的空隙中。

3.根据权利要求2所述的一种曝光机辅助上料装置，其特征在于，所述翻转架(3)与升降组件连接，所述升降组件包括固定安装在机架(1)上的第一驱动电机(7)，所述第一驱动电机(7)的输出端与第一锥形齿轮(8)连接，所述第一锥形齿轮(8)与第二锥形齿轮(9)啮合，所述第二锥形齿轮(9)与第一丝杠(10)的顶部连接，所述机架(1)的侧部设有安装槽(11)，所述第一丝杠(10)向下延伸与安装槽(11)的底壁连接，所述安装槽(11)上远离第一丝杠(10)的一端设有光杆(12)，所述翻转架(3)的顶部设有转轴(13)，所述转轴(13)的两端分别设有第一滑块(14)和第二滑块(15)，所述第一滑块(14)与第一丝杠(10)螺纹配合连接，所述第二滑块(15)与光杆(12)滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种曝光机辅助上料装置，其特征在于，所述翻转架(3)为l型结构，所述翻转架(3)的侧板(32)上设有若干定位槽(16)，所述定位槽(16)内设有磁铁，所述输送小车(4)上设有与定位槽(16)对应的定位柱(17)。

5.根据权利要求3所述的一种曝光机辅助上料装置，其特征在于，所述翻转架(3)的侧板(32)与电动伸缩杆(18)的输出端连接，所述电动伸缩杆(18)固定安装在安装槽(11)内。

6.根据权利要求3所述的一种曝光机辅助上料装置，其特征在于，所述输送小车(4)的底部设有移动滚轮(20)，所述翻转架(3)的底板(33)的上端面设有滑轨(21)，所述移动滚轮(20)通过滑轨(21)与底板(33)滑动连接。

7.根据权利要求6所述的一种曝光机辅助上料装置，其特征在于，所述底板(33)的两侧设有向上延伸的限位板(34)，两个所述限位板(34)的相对面与输送小车(4)贴合。

8.根据权利要求1所述的一种曝光机辅助上料装置，其特征在于，所述滑板(22)的顶部设有承托板(23)，所述承托板(23)与滑板(22)滑动连接，所述滑板(22)上设有输送槽(24)，所述输送槽(24)内设有第二丝杠(25)，所述第二丝杠(25)与承托板(23)的底部配合连接，所述第二丝杠(25)的一端第二驱动电机(26)的输出端连接，所述第二驱动电机(26)固定安装滑板(22)上，所述承托板(23)靠近翻转架(3)的一端设有向上延伸的上料凸起(19)。

9.根据权利要求3所述的一种曝光机辅助上料装置，其特征在于，所述安装槽(11)的顶壁上通过支架(27)安装有第三驱动电机(28)，所述第三驱动电机(28)的输出端与第一齿轮(29)连接，所述第一齿轮(29)与第二齿轮(30)啮合，所述第二齿轮(30)与传动轴(31)的底部连接，所述传动轴(31)的顶部穿过安装槽(11)顶壁与滑板(22)连接。

10.根据权利要求7所述的一种曝光机辅助上料装置，其特征在于，所述底板(33)远离侧板(32)的一侧设有向下的倾斜面。

技术总结本技术属于曝光机技术领域，具体为一种曝光机辅助上料装置，包括机架，所述机架上设有输送平台，所述输送平台的顶部设有上料组件，机架上连接有输送组件，所述输送组件包括翻转架，所述翻转架与输送小车连接，本技术中将多个物料板放置在输送小车上，然后将输送小车推至曝光机附近，将输送小车推至翻转架上，启动电动伸缩杆，带动翻转架旋转90°，从而使输送小车也旋转90°，然后通过输送组件将底部的物料板取出，并将其调整角度，输送至曝光位置，实现了曝光机的自动上料，方便快捷，提高上料的准确性。技术研发人员：王云鹏,王海英,郭世玲受保护的技术使用者：青岛皖誉包装材料有限公司技术研发日：20230927技术公布日：2024/7/18