一种光罩自动更换的装置的制作方法

本技术涉及半导体设备，尤其涉及一种光罩自动更换的装置。

背景技术：

1、在半导体的制作过程中，经常需要利用光罩开合器对光罩使用盒内的光罩进行更换，如果光罩更换过程中光罩出现异常，那么对应的工艺制程只能暂停，且光罩购买成本较高，因此，需要对光罩更换过程严格管控。

2、而在光罩更换领域的现有技术中，操作人员将光罩使用盒放在光罩开合器上，通过光罩开合器分离光罩使用盒的底座和盒盖，操作人员将盒盖取走后，用夹具手动夹取光罩，再转移到对应的光罩存放盒中，同时将正确的光照存放盒中的光罩夹取至光罩使用盒，最后通过光罩开合器完成光罩使用盒的安装。

3、但是在这个过程中，操作人员需要进行两次手动夹取操作，而手动夹取光罩有可能对光罩造成划伤，并且手动操作过程中，存在光罩掉落风险。

4、因此，针对上述问题，提供一种光罩自动更换的装置，是本领域亟待解决的技术问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种光罩自动更换的装置。

2、本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

3、本实用新型的第一方面，提供一种光罩自动更换的装置，包括设备操作平台，所述设备操作平台上设置有光罩开合器、光罩存放盒、以及位于光罩开合器和光照存放盒正中间的机械臂；

4、所述机械臂包括底座、竖直前端、连接中端、竖直后端；所述竖直前端的底部与底座连接、且竖直前端相对于底座可旋转，所述连接中端的一端可升降移动地设置于所述竖直前端上，连接中端的另一端与所述竖直后端的顶端连接，竖直后端的底端连接有夹具，所述夹具的形状与光罩的形状匹配。

5、进一步地，所述光罩开合器和光罩存放盒通过对应的夹角块组固定在设备操作平台上。

6、进一步地，所述机械臂还包括驱动竖直前端旋转的第一动力驱动部件，所述第一动力驱动部件包括第一电机、第一主动齿轮和第一从动齿轮，所述第一电机的驱动端与第一主动齿轮连接、且所述第一主动齿轮和第一从动齿轮相啮合；所述第一主动齿轮和第一从动齿轮均为环状齿轮，第一从动齿轮环设于竖直前端底部。

7、进一步地，所述机械臂还包括驱动连接中端升降移动的第二动力驱动部件，所述第二动力驱动部件包括第二电机、第二主动齿轮和第二从动齿轮，所述第二电机的驱动端与第二主动齿轮连接、且所述第二主动齿轮和第二从动齿轮相啮合；所述第二主动齿轮为环状齿轮，所述第二从动齿轮为竖直齿轮条，所述第二主动齿轮的底座与连接中端连接，所述第二从动齿轮设置于竖直前端上。

8、进一步地，所述夹具包括微型气缸和夹爪，所述微型气缸的驱动端与夹爪连接。

9、进一步地，所述夹具的抓夹端套设有光滑固定塑料层，所述光滑固定塑料层为特氟龙层。

10、进一步地，当光罩为长方体，夹爪为矩形夹；当光罩为圆柱体状时，夹爪为圆形夹爪。

11、进一步地，所述机械臂连接有动力控制装置，所述动力控制装置为plc控制器。

12、本实用新型的有益效果是：

13、在本实用新型中，通过引入机械臂的相关结构完成对光罩的自动更换动作，大大提高了光罩更换过程中的稳定性，防止光罩在更换过程中出现划伤、掉落情况，且整个过程用户不会直接接触光罩，自动化程度高，进一步提升光罩更换效率。

技术特征：

1.一种光罩自动更换的装置，其特征在于：包括设备操作平台，所述设备操作平台上设置有光罩开合器、光罩存放盒、以及位于光罩开合器和光照存放盒正中间的机械臂；

2.根据权利要求1所述的一种光罩自动更换的装置，其特征在于：所述光罩开合器和光罩存放盒通过对应的夹角块组固定在设备操作平台上。

3.根据权利要求1所述的一种光罩自动更换的装置，其特征在于：所述机械臂还包括驱动竖直前端旋转的第一动力驱动部件，所述第一动力驱动部件包括第一电机、第一主动齿轮和第一从动齿轮，所述第一电机的驱动端与第一主动齿轮连接、且所述第一主动齿轮和第一从动齿轮相啮合；所述第一主动齿轮和第一从动齿轮均为环状齿轮，第一从动齿轮环设于竖直前端底部。

4.根据权利要求1所述的一种光罩自动更换的装置，其特征在于：所述机械臂还包括驱动连接中端升降移动的第二动力驱动部件，所述第二动力驱动部件包括第二电机、第二主动齿轮和第二从动齿轮，所述第二电机的驱动端与第二主动齿轮连接、且所述第二主动齿轮和第二从动齿轮相啮合；所述第二主动齿轮为环状齿轮，所述第二从动齿轮为竖直齿轮条，所述第二主动齿轮的底座与连接中端连接，所述第二从动齿轮设置于竖直前端上。

5.根据权利要求1所述的一种光罩自动更换的装置，其特征在于：所述夹具包括微型气缸和夹爪，所述微型气缸的驱动端与夹爪连接。

6.根据权利要求5所述的一种光罩自动更换的装置，其特征在于：所述夹具的抓夹端套设有光滑固定塑料层，所述光滑固定塑料层为特氟龙层。

7.根据权利要求5所述的一种光罩自动更换的装置，其特征在于：当光罩为长方体，夹爪为矩形夹；当光罩为圆柱体状时，夹爪为圆形夹爪。

8.根据权利要求3或4或5所述的一种光罩自动更换的装置，其特征在于：所述机械臂连接有动力控制装置，所述动力控制装置为plc控制器。

技术总结本技术公开了一种光罩自动更换的装置，包括设备操作平台，设备操作平台上设置有光罩开合器、光罩存放盒、以及位于光罩开合器和光照存放盒正中间的机械臂；机械臂包括底座、竖直前端、连接中端、竖直后端；竖直前端的底部与底座连接、且竖直前端相对于底座可旋转，连接中端的一端可升降移动地设置于竖直前端上，连接中端的另一端与竖直后端的顶端连接，竖直后端的底端连接有夹具，夹具的形状与光罩的形状匹配。本技术通过引入机械臂的相关结构完成对光罩的自动更换动作，大大提高了光罩更换过程中的稳定性，防止光罩在更换过程中出现划伤、掉落情况，且整个过程用户不会直接接触光罩，自动化程度高，进一步提升光罩更换效率。技术研发人员：黄仁贵受保护的技术使用者：成都海威华芯科技有限公司技术研发日：20231221技术公布日：2024/7/18