一种炉管的制作方法

本发明涉及太阳能，特别是涉及一种炉管。

背景技术：

1、当前光伏行业的扩散，氧化、退火、掺杂、pecvd，lpcvd等工艺生产有立式炉和卧式炉两种类型，这两种类型的结构都需要将硅片装在特定的载具中传输入反应腔体内进行工艺，通过通入的特定的反应气体，从而实现对硅片进行特定的镀膜，扩散，氧化和薄膜沉积等工艺。在现有的两层炉管设计中，利用底座和顶壁分别将双层炉管的两端密封起来形成直通的腔体，将待处理的晶圆放在直通腔体内，利用双层炉管上的加热层对直通腔体进行加热或者将炉体设置为内外炉体，将内炉腔封闭的形式。

2、如现有技术中对内外炉管进行安装时，由于内炉管的结构限制，例如现有专利cn116499251b，其内炉管的顶部开口底部封闭且安装有加热元件，为了避免损坏加热元器件只能选择从顶部吊装内炉管，将内炉管从外炉管的顶部插装，而如果现有的加工现场的高度空间有限，内炉管安装的过程中的吊装难度加大或者不能正常安装，大大增加了装配的难度。

技术实现思路

1、本发明为了解决上述现有技术中内炉管安装只能从外炉管顶部向下吊装的技术问题，提出一种炉管。

2、本发明采用的技术方案是：

3、本发明提出了一种炉管，包括外炉管、内炉管、上炉盖、下炉门和旋转装置；

4、所述上炉盖安装在所述外炉管的上端，所述外炉管内安装所述内炉管，所述内炉管的上端吊装在所述上炉盖上，所述内炉管下端开口且开口处设置支撑台面，使所述内炉管可从外炉管的底部向上插入所述外炉管内安装并支撑；

5、所述下炉门安装在所述外炉管与所述内炉管的下端，所述下炉门的中部设有中心孔用于穿过所述内炉管的支撑底座，所述下炉门与所述内炉管的下端的密封安装轴向贯通的磁流体密封组件，所述内炉管与所述外炉管之间的容纳空间的上下两端密闭形成密闭腔室，所述内炉管与所述外炉管上设有加热密闭腔室的加热源，所述旋转装置对应密闭腔室设置多个可调整位置和角度的载具放置位，所述旋转装置位于密闭腔室内带动载具旋转的传动部件与所述磁流体密封组件的传动轴连接。

6、第一实施例中，所述内炉管上端开口，内壁设有一圈支撑法兰，所述支撑法兰与所述上炉盖吊装连接。

7、第二实施例中，所述内炉管上端封闭并向上凸出呈半球形的顶盖，所述顶盖的外壁面向上设置呈环形的连接座，所述连接座的内壁设有一圈支撑法兰，所述支撑法兰与所述上炉盖吊装连接。

8、优选地，所述内炉管的下端端面与外炉管下端端面齐平，或者所述内炉管的下端端面超过外炉管下端端面，或者所述外炉管的下端端面超过内炉管下端端面。

9、进一步的，所述内炉管下端开口处的内壁凸出一圈环形台阶或者设置支撑法兰形成所述支撑台面。

10、优选地，所述内炉管的上端与上炉盖之间连接吊挂座。

11、进一步的，所述外炉管上端的外壁上设有外密封法兰，所述上炉盖覆盖所述外炉管与内炉管的上端面，其外边缘与所述外密封法兰密封连接；所述下炉门的外边缘与外炉管下端的台阶密封连接，内边缘与所述磁流体密封组件密封连接。

12、进一步的，所述上炉盖和所述下炉门远离所述容纳空间的外端面向外凸出形成球状凸起，所述上炉盖内部设置空腔，所述空腔内设有多块连接在空腔上下内壁之间的加强筋。

13、旋转装置包括：设置在炉管的所述密闭腔室并带有多个载具放置位的舟托底座，所述舟托底座连接磁流体密封组件的传动轴；位于密闭腔室外连接所述传动轴带动所述舟托底座旋转的旋转动力源。

14、第一实施例中，所述舟托底座包括：

15、旋转底座，所述旋转底座位于所述密闭腔室的底部，并与所述传动轴连接；

16、挂放板，竖直设置在所述旋转底座上，所述挂放板上设有多个可挂放所述载具的所述载具放置位。

17、第二实施例中，所述舟托底座包括：

18、旋转底座，所述旋转底座具有多个供载具舟穿过或者放置的所述载具放置位，并与所述传动轴连接；

19、多对承载件，每一对承载件位于一个载具放置位的两侧边缘，并可折叠地设置在旋转底座上；

20、所述承载件切换为折叠状态时，载具能够从底部向上穿过所述承载件对应的载具放置位；所述承载件切换为展开状态时，所述载具可放置在所述承载件上。

21、如权利要求1所述的炉管，其特征在于，所述磁流体密封组件呈环形，中部也设有对应的中心孔，并分成内圈部分、外圈部分以及位于内圈部分与外圈部分之间呈环形的传动轴；其内圈部分与所述内炉管底部的支撑底座密封连接，外圈部分与所述下炉门的内边缘密封连接，内圈部分与外圈部分与所述传动轴转动密封。

22、进一步的，所述下炉门开设有多个贯穿所述下炉门的炉口，所述炉口的尺寸以及形状与载具的侧面的尺寸以及形状相匹配，每个所述炉口均对应设有炉盖，所述炉盖连接有驱动结构，所述驱动结构用于带动所述炉盖相对所述炉口打开或闭合。

23、进一步的，所述内炉管的内侧设有内加热源，所述外炉管的外侧设有外加热源，所述内加热源分成多组独立的加热段，且所述外加热源与所述内加热源的周边对应设有散热装置。

24、与现有技术比较，本发明具有如下优势：

25、1.通过将内炉管下端设置开口，且内炉管的上端设置连接件，使其下端可安装支撑底座，从而内炉管可以从立式炉的底部插入完成安装，同时内炉管的上端直接与上炉盖吊装连接，方便上炉盖与外炉管的密封，安装方式更加便捷，同时密封要求降低。

26、2.炉管内的载具放置在可以转动的舟托底座上，使载具可以在炉内调整位置和角度，使密闭腔室内通入反应气体或者升温温度差异时，使密闭腔室内部的气场和热场均匀，提高整体的工艺良率。

27、3.下炉门与上炉盖设计呈向外凸出的鼓面，承压能力更好而且不容易变形。

28、4.底部通过磁流体密封组件密封，能够是舟托底座的驱动部件外置，同时确保通过反应气体的密闭腔室保持密封。

29、5.下炉门通过设置多个小炉门，装卸载具时可以打开单个小炉门，避免炉内的热量流失影响加工效率。

技术特征：

1.一种炉管，其特征在于，包括外炉管、内炉管、上炉盖、下炉门和旋转装置；

2.如权利要求1所述的炉管，其特征在于，所述内炉管上端开口，内壁设有一圈支撑法兰，所述支撑法兰与所述上炉盖吊装连接。

3.如权利要求1所述的炉管，其特征在于，所述内炉管上端封闭并向上凸出呈半球形的顶盖，所述顶盖的外壁面向上设置呈环形的连接座，所述连接座的内壁设有一圈支撑法兰，所述支撑法兰与所述上炉盖吊装连接。

4.如权利要求1所述的炉管，其特征在于，所述内炉管的下端端面与外炉管下端端面齐平，或者所述内炉管的下端端面超过外炉管下端端面，或者所述外炉管的下端端面超过内炉管下端端面。

5.如权利要求1所述的炉管，其特征在于，所述内炉管下端开口处的内壁凸出一圈环形台阶或者设置支撑法兰形成所述支撑台面。

6.如权利要求1所述的炉管，其特征在于，所述内炉管的上端与上炉盖之间连接吊挂座。

7.如权利要求1所述的炉管，其特征在于，所述外炉管上端的外壁上设有外密封法兰，所述上炉盖覆盖所述外炉管与内炉管的上端面，其外边缘与所述外密封法兰密封连接；所述下炉门的外边缘与外炉管下端的台阶密封连接，内边缘与所述磁流体密封组件密封连接。

8.如权利要求1所述的炉管，其特征在于，所述上炉盖和所述下炉门远离所述容纳空间的外端面向外凸出形成球状凸起，所述上炉盖内部设置空腔，所述空腔内设有多块连接在空腔上下内壁之间的加强筋。

9.如权利要求1所述的炉管，其特征在于，所述旋转装置包括：设置在炉管的所述密闭腔室并带有多个载具放置位的舟托底座，所述舟托底座连接磁流体密封组件的传动轴；位于密闭腔室外连接所述传动轴带动所述舟托底座旋转的旋转动力源。

10.如权利要求9所述的炉管，其特征在于，所述舟托底座包括：

11.如权利要求9所述的炉管，其特征在于，所述舟托底座包括：

12.如权利要求1所述的炉管，其特征在于，所述磁流体密封组件呈环形，中部也设有对应的中心孔，并分成内圈部分、外圈部分以及位于内圈部分与外圈部分之间呈环形的传动轴；其内圈部分与所述内炉管底部的支撑底座密封连接，外圈部分与所述下炉门的内边缘密封连接，内圈部分与外圈部分与所述传动轴转动密封。

13.如权利要求1所述的炉管，其特征在于，所述下炉门开设有多个贯穿所述下炉门的炉口，所述炉口的尺寸以及形状与载具的侧面的尺寸以及形状相匹配，每个所述炉口均对应设有炉盖，所述炉盖连接有驱动结构，所述驱动结构用于带动所述炉盖相对所述炉口打开或闭合。

14.如权利要求1所述的炉管，其特征在于，所述内炉管的内侧设有内加热源，所述外炉管的外侧设有外加热源，所述内加热源分成多组独立的加热段，且所述外加热源与所述内加热源的周边对应设有散热装置。

技术总结本发明公开了一种炉管，包括外炉管、内炉管、上炉盖和下炉门；上炉盖安装在外炉管的上端，内炉管的上端吊装在所述上炉盖上，所述内炉管下端开口且开口处设置支撑台面，使内炉管可从外炉管的底部向上插入所述外炉管内安装；所述下炉门安装在所述外炉管与所述内炉管的下端，所述下炉门的中部设有中心孔用于穿过所述内炉管的支撑底座，所述下炉门与所述内炉管的下端的密封安装轴向贯通的磁流体密封组件。本发明通过将内炉管下端设置开口，且内炉管的上端设置连接件，使其下端可安装支撑底座，从而内炉管可以从立式炉的底部插入完成安装，同时内炉管的上端直接与上炉盖吊装连接，方便上炉盖与外炉管的密封，安装方式更加便捷，同时密封要求降低。技术研发人员：邓金生,李学文,熊峰,易炜受保护的技术使用者：常州捷佳创精密机械有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/9