一种喷头和喷淋设备的制作方法

本发明涉及湿法刻蚀领域，特别是一种喷头和喷淋设备。

背景技术：

1、在基板的湿法刻蚀工艺中，通常需要利用喷头在基板上喷淋药剂。但是，目前的喷头一般采用管状的结构，管状的喷头上开设有多个出液孔，通过这些线性排布的出液孔对基板进行药剂喷淋。但是，采用这种喷淋方式，在大型基板的湿法刻蚀工艺中，喷头喷洒的药剂不均。同时，被喷射到平面基板上的药剂反应刻蚀一段时间后，基板上各部位残留的药剂有效成分浓度降低或有效成分分布不均，造成刻蚀速度变缓或刻蚀不均。从而，导致产生过刻蚀或欠刻蚀的现象，影响刻蚀质量，影响生产良率。

技术实现思路

1、本发明要解决的技术问题是：解决上述所提出的至少一个技术问题。

2、本发明解决其技术问题的解决方案是：

3、一种喷头，包括外壳，所述外壳内设有容纳空间，所述喷头还包括刮液机构，所述外壳上设有输入孔，所述输入孔连通到所述容纳空间中，所述外壳的底部设有用于输出药剂的狭缝，所述狭缝连通到所述容纳空间内，所述刮液机构设置在所述外壳上，所述狭缝的前侧和/或后侧设置所述刮液机构，所述刮液机构用于刮走基板上表面的液体。

4、作为上述技术方案的进一步改进，所述刮液机构包括刮板，所述刮板设置在所述外壳上，所述刮板的长度沿左右方向延伸。

5、作为上述技术方案的进一步改进，所述刮液机构还包括驱动装置，所述驱动装置设置在外壳上，所述刮板与所述外壳之间通过转轴连接，使得所述刮板和所述外壳之间可相对转动，所述转轴沿左右方向延伸，所述驱动装置带动所述刮板摆动，以调整刮板和工件之间的夹角。

6、作为上述技术方案的进一步改进，所述驱动装置包括伺服电机、第一齿轮和第二齿轮，所述第二齿轮固定在所述转轴上，所述伺服电机带动所述第一齿轮转动，所述伺服电机固定在所述外壳上，所述第二齿轮和所述转轴同轴传动，所述转轴与所述外壳之间可相对转动，所述刮板固定在所述转轴上，所述第一齿轮和所述第二齿轮相啮合。

7、作为上述技术方案的进一步改进，所述容纳空间包括一级或多级的二分流道，以及缓冲腔，二分流道的输入端和所述输入孔相连通，二分流道的所有输出端均连通到所述缓冲腔中，所述狭缝连通到所述缓冲腔。

8、本发明还提供了一种喷淋设备，其包括所述的喷头。

9、作为上述技术方案的进一步改进，喷淋设备还包括底座、承载台和横移机构，所述承载台固定在所述底座上，所述承载台用于承载工件，所述横移机构设置在所述底座上，所述外壳设置在所述横移机构上，所述横移机构带动所述外壳前后横移，使得输出孔可对承载台上的工件进行喷淋。

10、作为上述技术方案的进一步改进，喷淋设备还包括循环泵，所述循环泵抽取药剂槽中的药剂以输送到所述外壳的输入孔，所述底座上设有药剂槽，所述药剂槽用于放置药剂，所述承载台设置在药剂槽底部，所述承载台的顶面用于对基板进行支撑。

11、作为上述技术方案的进一步改进，所述横移机构包括直线电机、连接架、导轨和第一旋转装置，所述第一旋转装置设置在所述连接架上，所述第一旋转装置带动所述外壳转动，所述第一旋转装置的输出轴的轴线沿竖向设置，所述导轨沿前后方向延伸，所述导轨固定在所述底座上，所述直线电机设置在所述底座上，所述直线电机带动所述连接架沿着所述导轨前后运动。

12、作为上述技术方案的进一步改进，喷淋设备还包括输送线，所述输送线用于对基板进行输送，所述外壳设置在输送线的上方，所述刮液机构用于刮走输送线上的基板的上表面的液体。

13、本发明的有益效果是：药剂可从外壳的输入孔中添加到容纳空间内。容纳空间内的药剂从狭缝处向下流出，通过长度沿左右方向的狭缝的设置，可使药剂在狭缝中均匀地流出，使得药剂的喷淋尽可能均匀。另外，刮液机构设置在狭缝的前侧和/或后侧，在使用时，可先由刮液机构先刮走基板表面不均匀的药剂，从而再对基板表面进行均匀地喷淋，使得基板表面喷淋的药剂较为均匀。刮液机构包括刮板和调整刮板摆动角度的驱动装置，从而调整刮板在刮走基板表面的药剂时，刮板和基板顶面的角度，以确保充分刮走基板表面的药剂。

技术特征：

1.一种喷头，包括外壳（1），所述外壳（1）内设有容纳空间，其特征在于，所述喷头还包括刮液机构（2），所述外壳（1）上设有输入孔（12），所述输入孔（12）连通到所述容纳空间中，所述外壳（1）的底部设有用于输出药剂的狭缝（13），所述狭缝（13）连通到所述容纳空间内，所述刮液机构（2）设置在所述外壳（1）上，狭缝（13）的前侧和/或后侧设置所述刮液机构（2），所述刮液机构用于刮走基板上表面的液体；所述刮液机构（2）包括刮板（24），所述刮板（24）设置在所述外壳（1）上，所述刮板（24）的长度沿左右方向延伸；所述刮液机构（2）还包括驱动装置，所述驱动装置设置在外壳（1）上，所述刮板（24）与所述外壳（1）之间通过转轴（20）连接，使得所述刮板（24）和所述外壳（1）之间可相对转动，所述转轴（20）沿左右方向延伸，所述驱动装置带动所述刮板（24）摆动，以调整刮板（24）和工件之间的夹角。

2.根据权利要求1所述的喷头，其特征在于，所述驱动装置包括伺服电机（21）、第一齿轮（22）和第二齿轮（23），所述第二齿轮（23）固定在所述转轴（20）上，所述伺服电机（21）带动所述第一齿轮（22）转动，所述伺服电机（21）固定在所述外壳（1）上，所述第二齿轮（23）和所述转轴（20）同轴传动，所述转轴（20）与所述外壳（1）之间可相对转动，所述刮板（24）固定在所述转轴（20）上，所述第一齿轮（22）和所述第二齿轮（23）相啮合。

3.根据权利要求1所述的喷头，其特征在于，所述容纳空间包括一级或多级的二分流道（31），以及缓冲腔（32），二分流道（31）的输入端和所述输入孔（12）相连通，二分流道（31）的所有输出端均连通到所述缓冲腔（32）中，所述狭缝（13）连通到所述缓冲腔（32）。

4.一种喷淋设备，其特征在于，包括如权利要求1-3任一项所述的喷头。

5.根据权利要求4所述的喷淋设备，其特征在于，喷淋设备还包括底座（41）、承载台（42）和横移机构（43），所述承载台（42）固定在所述底座（41）上，所述承载台（42）用于承载工件，所述横移机构（43）设置在所述底座（41）上，所述外壳（1）设置在所述横移机构（43）上，所述横移机构（43）带动所述外壳（1）前后横移，使得输出孔可对承载台（42）上的工件进行喷淋。

6.根据权利要求5所述的喷淋设备，其特征在于，喷淋设备还包括循环泵（44），所述循环泵（44）抽取药剂槽（410）中的药剂以输送到所述外壳（1）的输入孔（12），所述底座（41）上设有药剂槽（410），所述药剂槽（410）用于放置药剂，所述承载台（42）设置在药剂槽（410）底部，所述承载台（42）的顶面用于对基板进行支撑。

7.根据权利要求5所述的喷淋设备，其特征在于，所述横移机构（43）包括直线电机（431）、连接架（432）、导轨（433）和第一旋转装置（434），所述第一旋转装置（434）设置在所述连接架（432）上，所述第一旋转装置（434）带动所述外壳（1）转动，所述第一旋转装置（434）的输出轴的轴线沿竖向设置，所述导轨（433）沿前后方向延伸，所述导轨（433）固定在所述底座（41）上，所述直线电机（431）设置在所述底座（41）上，所述直线电机（431）带动所述连接架（432）沿着所述导轨（433）前后运动。

8.根据权利要求4所述的喷淋设备，其特征在于，喷淋设备还包括输送线，所述输送线用于对基板进行输送，所述外壳设置在输送线的上方，所述刮液机构用于刮走输送线上的基板的上表面的液体。

技术总结本发明涉及湿法刻蚀领域，本发明公开一种喷头和喷淋设备，其中，喷头包括外壳，所述外壳内设有容纳空间，所述喷头还包括刮液机构，所述外壳上设有输入孔，所述输入孔连通到所述容纳空间中，所述外壳的底部设有长度沿左右方向延伸的狭缝，所述狭缝连通到所述容纳空间内，所述刮液机构设置在所述外壳上，所述刮液机构设置在所述狭缝的前侧和/或后侧。另外，喷淋设备包括所述的喷头，喷淋设备还包括底座、承载台和横移机构，所述承载台固定在所述底座上，所述承载台用于承载工件，所述横移机构设置在所述底座上，所述外壳设置在所述横移机构上，所述横移机构带动所述外壳前后横移，使得输出孔可对承载台上的工件进行喷淋。技术研发人员：杨一新受保护的技术使用者：季华实验室技术研发日：技术公布日：2024/7/23