一种晶圆清洗废液过滤及蒸凝提纯循环设备的制作方法

本发明涉及废液提纯的，具体为一种晶圆清洗废液过滤及蒸凝提纯循环设备。

背景技术：

1、晶圆清洗过程中，由于一些清洗工序的清洗要求较高，通常采用快冲快排的方式，即药液冲洗晶圆后立即排出。通过过滤以及蒸凝提纯，可去除废液中金属颗粒以及去胶。但是，现有的过滤工序过于简单，往往是通过简单的一组过滤结构对废液实现过滤，这种简单的过滤结构通常无法实现很好的过滤效果；且过滤结构在进行长期过滤之后，必然需要进行清洗，在清洗时需要将过滤结构整体取下，操作不便；在目前的技术领域中，蒸凝提纯循环设备均是采用单一的过滤筒进行操作，难免会存在一些过滤死角的问题。所以针对这些问题，我们提出了一种晶圆清洗废液过滤及蒸凝提纯循环设备来解决。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本发明提供了一种晶圆清洗废液过滤及蒸凝提纯循环设备，解决了现有的过滤工序过于简单，往往是通过简单的一组过滤结构对废液实现过滤，这种简单的过滤结构通常无法实现很好的过滤效果；且过滤结构在进行长期过滤之后，必然需要进行清洗，在清洗时需要将过滤结构整体取下，操作不便的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、一种晶圆清洗废液过滤及蒸凝提纯循环设备，包括过滤箱以及与所述过滤箱平行安装的提纯箱，所述过滤箱的内部设置有过滤清洁机构，所述过滤清洁机构包括设置在所述过滤清洁机构底端的过滤辊筒，所述过滤辊筒的外侧搭接有清洁刷毛。

4、所述过滤清洁机构的内部且位于所述驱动电机的下方连接有安装块，所述安装块的下方固定连接有连接轴，所述连接轴的外侧固定连接有连接杆，所述连接杆的一端连接在所述连接轴上，另一端端头固定连接有驱动泵，所述驱动泵的下方活动连接有支撑杆，所述支撑杆的外表面套接有转动套，所述支撑杆的底端连接有过滤辊筒。通过四组过滤辊筒的同步转动，四组过滤辊筒继而同步在过滤箱中进行转动，能拨动过滤箱中的废水，同时，通过四组过滤辊筒的转动，能实现更好的过滤效果，更好的对废液进行过滤。

5、进一步的，所述过滤箱与所述提纯箱之间连接有连通管，所述过滤箱与所述提纯箱之间通过连通管进行废液流通。

6、进一步的，所述过滤箱的顶端设置有驱动电机，所述过滤清洁机构设置在所述驱动电机的下方且位于所述过滤箱的内部。

7、进一步的，所述转动套的外侧固定连接有弧形杆，所述转动套与所述弧形杆的交接处设置有调节螺母，所述弧形杆的内表面设置有清洁刷毛。通过支撑杆带动转动套的往复上下运动，清洁刷毛从而能实现对过滤辊筒的往复刷洗，避免过滤辊筒的表面附着杂质，同时也避免了传统过滤设备在清洗时需要将过滤结构整体取下，操作不便的问题。

8、进一步的，所述过滤辊筒的外表面开设有均匀分布的孔洞，所述过滤辊筒的内部设置有活性炭，能实现更好的过滤效果。

9、本发明技术方案，具有如下有益效果：

10、1、该晶圆清洗废液过滤及蒸凝提纯循环设备，通过四组过滤辊筒的同步转动，四组过滤辊筒继而同步在过滤箱中进行转动，能拨动过滤箱中的废水，同时，通过四组过滤辊筒的转动，能实现更好的过滤效果，更好的对废液进行过滤。

11、2、该晶圆清洗废液过滤及蒸凝提纯循环设备，通过支撑杆带动转动套的往复上下运动，清洁刷毛从而能实现对过滤辊筒的往复刷洗，避免过滤辊筒的表面附着杂质，同时也避免了传统过滤设备在清洗时需要将过滤结构整体取下，操作不便的问题。

技术特征：

1.一种晶圆清洗废液过滤及蒸凝提纯循环设备，包括过滤箱(1)以及与所述过滤箱(1)平行安装的提纯箱(2)，其特征在于：所述过滤箱(1)的内部设置有过滤清洁机构(5)，所述过滤清洁机构(5)包括设置在所述过滤清洁机构(5)底端的过滤辊筒(57)，所述过滤辊筒(57)的外侧搭接有清洁刷毛(510)；

2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗废液过滤及蒸凝提纯循环设备，其特征在于：所述过滤箱(1)与所述提纯箱(2)之间连接有连通管(3)，所述过滤箱(1)与所述提纯箱(2)之间通过连通管(3)进行废液流通。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗废液过滤及蒸凝提纯循环设备，其特征在于：所述过滤箱(1)的顶端设置有驱动电机(4)，所述过滤清洁机构(5)设置在所述驱动电机(4)的下方且位于所述过滤箱(1)的内部。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗废液过滤及蒸凝提纯循环设备，其特征在于：所述转动套(56)的外侧固定连接有弧形杆(58)，所述转动套(56)与所述弧形杆(58)的交接处设置有调节螺母(59)，所述弧形杆(58)的内表面设置有清洁刷毛(510)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗废液过滤及蒸凝提纯循环设备，其特征在于：所述过滤辊筒(57)的外表面开设有均匀分布的孔洞，所述过滤辊筒(57)的内部设置有活性炭。

技术总结本发明涉及废液提纯的技术领域，并公开了一种晶圆清洗废液过滤及蒸凝提纯循环设备，包括过滤箱以及与所述过滤箱平行安装的提纯箱，所述过滤箱的内部设置有过滤清洁机构，所述过滤清洁机构包括设置在所述过滤清洁机构底端的过滤辊筒，所述过滤辊筒的外侧搭接有清洁刷毛。该晶圆清洗废液过滤及蒸凝提纯循环设备，通过支撑杆带动转动套的往复上下运动，清洁刷毛从而能实现对过滤辊筒的往复刷洗，避免过滤辊筒的表面附着杂质，同时也避免了传统过滤设备在清洗时需要将过滤结构整体取下，操作不便的问题。技术研发人员：孙国政,何艳,郑国忠受保护的技术使用者：昆山文正金属科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/23