一种浮动恒压装置及超声波探头的制作方法
- 国知局
- 2024-07-29 12:28:39
本技术属于ito圆筒靶材加工设备,涉及一种浮动恒压装置及超声波探头。
背景技术:
1、由于氧化铟锡薄膜具有透明、导电、可蚀刻加工、与基片的贴合性好、平面性等优点。被广泛用于显示装置用透明电极、太阳能电池的视窗材料及防静电导电膜。
2、现有技术中,可采用板上增稠膜成膜的方式制作氧化铟锡薄膜。此方法制作过程中,需要将圆筒靶材与金属背管组合。在使用圆筒靶材与金属背管组合绑定的过程中,传统工艺通过人工使用金属毛刷对液态铟进行粉刷,实现均匀涂布均匀。为了提高生产效率,引入了超声波探头。
3、但是实际使用过程中,由于金属背管的形状尺寸精度及机床的精度问题等原因,导致金属背管在旋转涂布时会发生径向跳动,而超声波探头采用固定的方式安装,由于超声波探头是一种比较脆弱的精密仪器,接触压力过载容易损伤甚至损坏超声波探头。
技术实现思路
1、本实用新型要解决的技术问题在于:针对背景技术中提出的技术问题,提供一种浮动恒压装置及超声波探头,能够在金属背管发生径向跳动时,带动超声波探头沿径向方向浮动,避免超声波探头损伤或者损坏。
2、本实用新型提出的技术方案为:
3、第一方面,本实用新型提供一种浮动恒压装置,包括:
4、安装板;
5、导向件和浮动块,导向件设置在安装板上,浮动块可在导向件的导向下沿竖直方向上下移动;
6、稳压装置,稳压装置为浮动块提供拉力。
7、可选的,所述导向件为直线导轨,所述浮动块为滑块,滑块滑动连接在直线导轨上。
8、可选的,所述稳压装置包括:
9、气缸,气缸固定在安装板上,气缸的输出端与浮动块固定连接,气缸具有第一接口和第二接口;气源接入第一接口后,气缸的输出端向气缸内移动;气源接入第二接口后,气缸的输出端向气缸外移动;
10、第一气管,气源的压缩气体通过第一气管接入第一接口。
11、可选的,所述稳压装置还包括:
12、第一稳压控制器,所述第一稳压控制器设置在第一气管上。
13、可选的,所述稳压装置还包括:
14、第二气管,气源的压缩气体通过第二气管接入第二接口;
15、第二稳压控制器,所述第二稳压控制器设置在第二气管上。
16、可选的,所述稳压装置还包括:
17、至少一个第三气管,第三气管连接在第一接口和/或第二接口上;
18、第三稳压控制器,所述第三稳压控制器设置在第三气管上。
19、可选的,所述第一稳压控制器为气动比例阀,浮动块的一侧固定设有压力传感器。
20、第二方面,本实用新型还提供一种超声波探头,包括:
21、第一方面所述的浮动恒压装置;
22、安装支架,安装支架相对浮动块固定;
23、超声波发生器,超声波发生器固定在安装支架上;
24、涂布探头,涂布探头固定在超声波发生器的输出端上。
25、可选的,还包括:
26、工作台,所述安装板滑动安装在工作台上。
27、可选的,所述工作台为气动滑台。
28、与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
29、本实用新型能够在金属背管发生径向跳动时,通过浮动块在导向件上滑动,带动超声波探头移动,避免超声波探头损伤或者损坏。
技术特征:1.一种浮动恒压装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的浮动恒压装置,其特征在于,所述导向件(2)为直线导轨,所述浮动块(3)为滑块,滑块滑动连接在直线导轨上。
3.根据权利要求1所述的浮动恒压装置,其特征在于,所述稳压装置包括:
4.根据权利要求3所述的浮动恒压装置,其特征在于,所述稳压装置还包括:
5.根据权利要求4所述的浮动恒压装置,其特征在于,所述稳压装置还包括:
6.根据权利要求3-5中任意一项所述的浮动恒压装置,其特征在于,所述稳压装置还包括:
7.根据权利要求4所述的浮动恒压装置,其特征在于,所述第一稳压控制器(9)为气动比例阀,浮动块(3)的一侧固定设有压力传感器(4)。
8.一种超声波探头,其特征在于,包括:
9.根据权利要求8所述的超声波探头,其特征在于,还包括:
10.根据权利要求9所述的超声波探头,其特征在于,所述工作台(17)为气动滑台。
技术总结本技术属于ITO圆筒靶材加工设备技术领域,涉及一种浮动恒压装置及超声波探头。浮动恒压装置包括:安装板;导向件和浮动块,导向件设置在安装板上,浮动块可在导向件的导向下沿竖直方向上下移动;稳压装置,稳压装置为浮动块提供拉力。本技术能够在金属背管发生径向跳动时,通过浮动块在导向件上滑动,带动超声波探头移动,避免超声波探头损伤或者损坏。技术研发人员:林宇鹏,赖家俊,潘建坤,郭庆生,裴炜炀,李远清,陈志杰受保护的技术使用者:先导薄膜材料(广东)有限公司技术研发日:20231110技术公布日:2024/7/23本文地址:https://www.jishuxx.com/zhuanli/20240725/140675.html
版权声明:本文内容由互联网用户自发贡献,该文观点仅代表作者本人。本站仅提供信息存储空间服务,不拥有所有权,不承担相关法律责任。如发现本站有涉嫌抄袭侵权/违法违规的内容, 请发送邮件至 YYfuon@163.com 举报,一经查实,本站将立刻删除。
下一篇
返回列表