一种光伏电池载板的在线处理装置的制作方法

本技术涉及pvd，具体涉及一种光伏电池载板的在线处理装置。

背景技术：

1、pvd是英文physical vapor deposition的缩写，它的pvd镀膜材料中文意思是“物理气相沉积”，它是指在真空条件下，通过物理的方法使材料沉积在被镀工件上的薄膜制备技术。pvd(物理气相沉积)技术又为三大类，分别是真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜。相对于pvd技术的三个分类，相应的真空镀膜设备也就有真空蒸发镀膜机、真空溅射镀膜机和真空离子镀膜机。无论采用何种技术的pvd镀膜都需要用载板承载需要镀膜的基板材料进行镀膜，载板在承载基板镀膜的同时也会被同样镀膜，在载板使用一段时间后为了不影响载板的使用需要把载板表面被镀的膜去除掉，现在常用的方法有钢丝刷去除膜层法、酸洗去除膜层法等。钢丝刷去除载板表面被镀的膜层，由于是机械式物理去除法，会对载板表面造成一定的损伤，去除载板表面膜层的同时会有粉尘颗粒产生，对洁净环境带来不利影响。酸洗去除载板表面被镀的膜层，由于是化学反应去除法，同样会对载板表面造成一定的损伤，因为用到酸液后期处理成本也高。

2、激光清洗是一种”绿色”的清洗方法，不需使用任何化学药剂和清洗液，清洗下来的废料基本上都是固体粉末，体积小，易于存放，可回收，可以轻易解决化学清洗带来的环境污染问题。cn108807129a的专利文献就公开了一种镀膜腔室清洗装置及镀膜腔室清洗方法，包括：转动驱动装置、水平驱动装置、旋转平台、反射镜和激光发射器。通过激光发射器向反射镜发射激光，利用反射镜将激光反射到有机镀膜腔室的内壁上，对有机镀膜腔室内壁进行清洗，并且通过转动驱动装置带动旋转平台上的反射镜转动，通过水平驱动装置带动反射镜相对于旋转平台移动，改变激光发射方向，对有机镀膜腔室的内壁进行全方位进行清洗。但是，上述现有技术并不适用于pvd流程

技术实现思路

1、本实用新型提出了一种光伏电池载板的在线处理装置，解决上述现有技术存在的技术问题。

2、根据本实用新型的一个方面，提供了一种光伏电池载板的在线处理装置，其特征在于，包括：pvd镀膜产线，所述pvd镀膜产线包括载板与载板传输组件，在所述载板传输组件上方直接安装激光发射器支架；在所述激光发射器支架上安装多个激光发射器，所述激光发射器支架横跨所述载板前进方向的左右两端，所述激光发射器支架包括：两个竖直的支撑部和一个主悬部，所述主悬部的两端与所述支撑部的顶端进行连接，在所述多个激光发射器中，相邻激光发射器发射激光的光斑彼此之间相交或相切。

3、进一步地，所述激光发射器上设置有激光调制器。

4、进一步地，所述主悬部具有至少一个竖直的安装面，在所述安装面上安装多个激光发射器。

5、进一步地，所述安装面分别在所述激光发射器支架的前后面均进行设置。

6、进一步地，所述的激光发射器还设置发射角度调节部件。

7、由上述本实用新型提供的技术方案可以看出，采用本实用新型，结构简单，能够在线对pvd镀膜产线的载板进行清洗，具有极高的适用性，因为激光与被清洁表面无接触，对作用基体没有机械作用力，不损伤基体的表面，能够清除各种材料表面的污染物，能够适应大多数装备除锈除碳的需求；同时具有良好的可控性，通过精确控制激光的输 出功率和光路输出配比，光学传输系统与可自动化运载平台设备相配合，易于实现实时监视和高精度控制的自动化操作，可以机动灵活地到达待洗工件表面任意一点，能清洗传统方法不易达到的部位，清洗彻底不留死角；还具有出色的环保性，激光清洗过程中不产生有害气体和噪音，经过激光清洗后，工件表面仅产生微量的固体粉末，体积小，不飞扬易于存放，易于收集，可有效改善作业环境且不会对环境产生污染；同时具有也还具有突出的经济性，激光清洗不存在刀具磨损问题，节省了昂贵的费用，可以长期稳定可靠使用，一般只需要少量的电费和设备日常维护费用，维护简便，使用成本低廉。

8、上述说明仅是本实用新型技术的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本实用新型的具体实施方式。

技术特征：

1.一种光伏电池载板的在线处理装置，其特征在于，包括：pvd镀膜产线，所述pvd镀膜产线包括载板与载板传输组件，在所述载板传输组件上方直接安装激光发射器支架；在所述激光发射器支架上安装多个激光发射器，所述激光发射器支架横跨所述载板前进方向的左右两端，所述激光发射器支架包括：两个竖直的支撑部和一个主悬部，所述主悬部的两端与所述支撑部的顶端进行连接，在所述多个激光发射器中，相邻激光发射器发射激光的光斑彼此之间相交或相切。

2.根据权利要求1所述的光伏电池载板的在线处理装置，其特征在于，所述激光发射器上设置有激光调制器。

3.根据权利要求1所述的光伏电池载板的在线处理装置，其特征在于，所述主悬部具有至少一个竖直的安装面，在所述安装面上安装多个激光发射器。

4.根据权利要求3所述的光伏电池载板的在线处理装置，其特征在于，所述安装面分别在所述激光发射器支架的前后面均进行设置。

5.根据权利要求1所述的光伏电池载板的在线处理装置，其特征在于，所述的激光发射器还设置发射角度调节部件。

技术总结本技术公开了一种光伏电池载板的在线处理装置，包括：PVD镀膜产线，所述PVD镀膜产线包括载板与载板传输组件，在所述载板传输组件上方直接安装激光发射器支架；在所述激光发射器支架上安装多个激光发射器，所述激光发射器支架横跨所述载板前进方向的左右两端，所述激光发射器支架包括：两个竖直的支撑部和一个主悬部，所述主悬部的两端与所述支撑部的顶端进行连接，在所述多个激光发射器中，相邻激光发射器发射激光的光斑彼此之间相交或相切。本技术的优点是：结构简单，能够在线对PVD镀膜产线的载板进行清洗，具有极高的适用性。技术研发人员：张迎春,赵志强受保护的技术使用者：捷造科技（宁波）有限公司技术研发日：20231101技术公布日：2024/7/15