一种清理三氯氢硅废渣罐的系统的制作方法

本技术涉及清理三氯氢硅，具体为一种清理三氯氢硅废渣罐的系统。

背景技术：

1、随着太阳能光伏及半导体产业的不断发展，国内涌现出了许多家多晶硅生产厂家，在多晶硅的制造工艺中有许多的生产方法，其中最普遍的生产方法就是改良西门子法(闭环式三氯氢硅还原法)，采用这种方法生产多晶硅时要用到硅粉、氯气等原料，生产过程包含了精馏、尾气吸收、还原等工艺，在这些工艺中往往有不纯的三氯氢硅产生，这样就需要有储存三氯氢硅废液的罐体，随着三氯氢硅废液储存时间的延长就要对这些罐体进行清理，但三氯氢硅是易燃、易爆的液体，很难处置。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种清理三氯氢硅废渣罐的系统，可实现渣浆废液罐的全面彻底的清洗，通过定期对渣浆废液罐的清洗，可提高渣浆废液罐的使用寿命。

2、为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

3、一种清理三氯氢硅废渣罐的系统，包括用于储存三氯氢硅废液的渣浆废液罐，所述渣浆废液罐的上端分别经氮气管道、尾气回收管道连接有制氮机和尾气回收装置，所述氮气管道上安装有能对氮气管道内氮气进行加热的氮气加热装置；渣浆废液罐的内部设置有喷淋头，喷淋头通过喷淋管道外接有清洗泵；渣浆废液罐的底部经抽吸管道与渣浆抽吸装置相连；渣浆废液罐的下端经第五阀门连接有清洗废液储存罐。

4、进一步地，所述氮气管道上设置有第一阀门，喷淋管道上设置有第二阀门，尾气回收管道上设置有第四阀门，抽吸管道上设置有第三阀门。

5、进一步地，所述喷淋头为360°喷淋头。

6、进一步地，所述尾气回收装置上安装有ph检测单元。

7、进一步地，所述氮气管道上还设置有压力测量仪。

8、与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

9、(1)本实用新型提供的清洗系统包括制氮机、喷淋头、尾气回收装置，制氮机可以持续往渣浆废液罐鼓入氮气，避免三氯氢硅在清理过程中发生爆炸；喷淋头选用360°喷淋，可以更彻底的对渣浆废液罐进行清洗；尾气回收装置与渣浆废液罐相连，当渣浆废液罐内的三氯氢硅废液全部转移至三废处理中心后，其罐壁上还残留有部分三氯氢硅气体，此时通过对氮气进行加热，热氮气进入渣浆废液罐后使罐内温度升高，残留的三氯氢硅液体转变为气体进入尾气回收装置被吸收。本实用新型提供的系统可实现渣浆废液罐的全面彻底的清洗，通过定期对渣浆废液罐的清洗，可提高渣浆废液罐的使用寿命。

10、(2)本实用新型在尾气回收装置上安装有ph检测单元，当进行渣浆废液罐的清理时，尾气回收装置内的吸收液为灰钙溶液，可与三氯氢硅气体进行中和反应，通过ph检测单元对灰钙溶液的ph值进行实时监测，当ph值不变时，即可判断渣浆废液罐中的三氯氢硅驱除完毕。

技术特征：

1.一种清理三氯氢硅废渣罐的系统，包括用于储存三氯氢硅废液的渣浆废液罐(7)，其特征在于，所述渣浆废液罐(7)的上端分别经氮气管道、尾气回收管道连接有制氮机(1)和尾气回收装置(5)，所述氮气管道上安装有能对氮气管道内氮气进行加热的氮气加热装置(2)；渣浆废液罐(7)的内部设置有喷淋头(6)，喷淋头(6)通过喷淋管道外接有清洗泵(3)；渣浆废液罐(7)的底部经抽吸管道与渣浆抽吸装置(4)相连；渣浆废液罐(7)的下端经第五阀门(13)连接有清洗废液储存罐(8)。

2.根据权利要求1所述的一种清理三氯氢硅废渣罐的系统，其特征在于，所述氮气管道上设置有第一阀门(9)，喷淋管道上设置有第二阀门(10)，尾气回收管道上设置有第四阀门(12)，抽吸管道上设置有第三阀门(11)。

3.根据权利要求1所述的一种清理三氯氢硅废渣罐的系统，其特征在于，所述喷淋头(6)为360°喷淋头。

4.根据权利要求1所述的一种清理三氯氢硅废渣罐的系统，其特征在于，所述尾气回收装置(5)上安装有ph检测单元。

5.根据权利要求1所述的一种清理三氯氢硅废渣罐的系统，其特征在于，所述氮气管道上还设置有压力测量仪。

技术总结本技术公开了一种清理三氯氢硅废渣罐的系统，涉及清理三氯氢硅技术领域，包括用于储存三氯氢硅废液的渣浆废液罐，所述渣浆废液罐的上端分别经氮气管道、尾气回收管道连接有制氮机和尾气回收装置，所述氮气管道上安装有能对氮气管道内氮气进行加热的氮气加热装置；渣浆废液罐的内部设置有喷淋头，喷淋头通过喷淋管道外接有清洗泵；渣浆废液罐的底部经抽吸管道与渣浆抽吸装置相连；渣浆废液罐的下端经第五阀门连接有清洗废液储存罐。本技术提供的清理系统可持续往渣浆废液罐鼓入氮气，并对氮气进行加热，使残留的三氯氢硅液体转变为气体进入尾气回收装置被吸收，通过定期对渣浆废液罐的清洗，可提高渣浆废液罐的使用寿命。技术研发人员：李开红,刘亚政受保护的技术使用者：陕西凯利环境工程有限公司技术研发日：20230831技术公布日：2024/7/15