一种空心坩埚、炉管腐蚀清洗装置及清洗方法与流程

本发明涉及坩埚/炉管腐蚀清洗，具体为一种空心坩埚、炉管腐蚀清洗装置。

背景技术：

1、目前半导体及微电子行业中大部分坩埚长管、石英长管、球头长管、大小头等玻璃器件清洗起来困难，特别是坩埚炉管狭长的内壁污渍很难清除掉，很多地方还采用原始的手工方式进行高浓度药液浸泡和清洗提取工件，困扰着工作人对高浓度药液腐蚀的危害和环境的影响。

2、为此本发明提供一种坩埚/炉管清洗机结构来解决上述技术问题。

技术实现思路

1、发明目的：解决现有技术中坩埚炉管狭长的内壁污渍很难清除掉，很多地方还采用原始的手工方式进行高浓度药液浸泡和清洗提取工件，困扰着工作人对高浓度药液腐蚀的危害和环境的影响的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、一种空心坩埚、炉管腐蚀清洗装置，包括：

4、腐蚀清洗腔，所述腐蚀清洗腔开设在操作台上，所述腐蚀清洗腔底部呈“凸”形设置，所述腐蚀清洗腔底部设置有排液口；

5、旋转圆盘，所述旋转圆盘设置在腐蚀清洗腔底部，通过电机带动旋转；

6、气液管路，所述气液管路呈网格矩阵式设置在旋转圆盘底部，所述气液管路与药液装置、纯水装置以及氮气装置连通，所述气液管路之间互通，所述气液管路上还设置有总管，所述总管穿过腐蚀清洗腔延伸至外部，所述总管上设置有泵；

7、高压喷淋柱，所述高压喷淋柱内部中空并呈矩阵式贯穿设置数个在旋转圆盘上，表面均匀设置有喷射孔；所述高压喷淋柱底部与气液管路通过连接件实现管路密封并连通；

8、环形喷淋管，所述环形喷淋管设置在旋转圆盘的上端，所述环形喷淋管与药液装置、纯水装置以及氮气装置连通。

9、进一步地，所述腐蚀清洗装置还包括辅助夹具，所述辅助夹具采用躬弧形夹具设置在高压喷淋柱底部。

10、进一步地，所述腐蚀清洗腔的表面设置有盖板。

11、进一步地，所述总管通过四通管连接药液装置、纯水装置以及氮气装置。

12、进一步地，所述药液装置包括：

13、药液存储箱，所述药液存储箱上设置有药液管道，所述药液管道与气液管路上的总管连通；

14、药液控制阀，所述药液控制阀设置在药液管道与气液管路的连接处。

15、进一步地，所述纯水装置包括：

16、纯水存储箱，所述纯水存储箱上设置有纯水管道，所述纯水管道与气液管路上的总管连通；纯水阀，所述纯水阀设置在药液管道与气液管路的连接处。

17、进一步地，所述氮气装置包括：氮气加热器，所述氮气加热器连接氮气瓶，加热氮气后通过氮气管将热氮输送至高压喷淋柱和环形喷淋管；

18、氮气阀，所述氮气阀设置在氮气管与气液管路上的连接处；

19、氮气过滤器，所述氮气过滤器设置在氮气管上。

20、一种空心坩埚、炉管腐蚀清洗方法，包括以下步骤：

21、s1、将坩埚管件倒插在旋转圆盘的高压喷淋柱上，并将旋转圆盘与电机转动轴转接口锁紧连接，通过连接件将高压喷淋柱与气液管路连通并密封后关闭盖板；

22、s2、开启电机带动旋转圆盘旋转；

23、s3、腐蚀，打开药液控制阀，控制系统操控泵将药液存储箱中的药液抽吸至高压喷淋柱以及环形喷淋柱，对坩埚管件进行药液腐蚀，腐蚀结束后关闭纯水阀，将高压喷淋柱以及环形喷淋柱内药液重新抽回药液存储箱中并关闭药液控制阀，腐蚀后产生的废液从排液口排出；

24、s4、清洗，打开纯水阀，控制系统操控泵将纯水存储箱中的纯水抽吸至高压喷淋柱以及环形喷淋柱，对坩埚管件进行清洗，清洗结束后将高压喷淋柱以及环形喷淋柱内纯水排空，并将清洗后产生的废液从排液口排出；

25、s5、烘干，打开氮气阀，控制系统操控泵将氮气瓶中的氮气抽吸至氮气加热器进行加热，并通过氮气过滤器过滤清洁，加热后的氮气输送至高压喷淋柱以及环形喷淋柱，对坩埚管件进行热氮干燥，干燥结束后将氮气阀关闭；

26、s6、将盖板打开即可取件取用。

27、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

28、本申请的腐蚀清洗装置，通过设置高压喷淋柱和环形喷淋管，采用动态及内、外壁腐蚀综合清洗技术，清洗效果佳，改变了过去陈旧的炉管静态浸泡污渍残留并洗不净的弊端，大大提高清洗效率和质量，减少人员被腐蚀的危害。

技术特征：

1.一种空心坩埚、炉管腐蚀清洗装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种空心坩埚、炉管腐蚀清洗装置，其特征在于，所述腐蚀清洗装置还包括辅助夹具，所述辅助夹具采用躬弧形夹具设置在高压喷淋柱底部。

3.根据权利要求1所述的一种空心坩埚、炉管腐蚀清洗装置，其特征在于，所述腐蚀清洗腔的表面设置有盖板。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的一种空心坩埚、炉管腐蚀清洗装置，其特征在于，所述总管通过四通管连接药液装置、纯水装置以及氮气装置。

5.根据权利要求4所述的一种空心坩埚、炉管腐蚀清洗装置，其特征在于，所述药液装置包括：

6.根据权利要求4所述的一种空心坩埚、炉管腐蚀清洗装置，其特征在于，所述纯水装置包括：

7.根据权利要求4所述的一种空心坩埚、炉管腐蚀清洗装置，其特征在于，所述氮气装置包括：

8.一种空心坩埚、炉管清洗方法，用于权利要求1-7任意一项所述的一种空心坩埚、炉管腐蚀清洗装置，其特征在于，包括以下步骤：

技术总结本发明公开了一种空心坩埚、炉管腐蚀清洗装置及清洗方法，包括，腐蚀清洗腔，腐蚀清洗腔开设在操作台上，底部设置有排液口；旋转圆盘，旋转圆盘设置在腐蚀清洗腔底部，通过电机带动旋转；气液管路，气液管路呈网格矩阵式设置在旋转圆盘底部，与药液装置、纯水装置以及氮气装置连通；高压喷淋柱，高压喷淋柱内部中空并呈矩阵式贯穿设置数个在旋转圆盘上；环形喷淋管，环形喷淋管设置在旋转圆盘的上端。通过设置腐蚀清洗装置，采用动态及内、外壁腐蚀综合清洗技术，清洗效果佳，改变了过去陈旧的炉管静态浸泡污渍残留并洗不净的弊端。大大提高清洗效率和质量，减少人员被腐蚀的危害。技术研发人员：蒋孝波,王松爱受保护的技术使用者：无锡子索生化科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/18