一种晶圆清洗震荡机构的制作方法

本技术涉及晶圆加工，尤其涉及一种晶圆清洗震荡机构。

背景技术：

1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品，晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅，二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅。

2、现有技术中，一般是将晶圆放置在挂篮组件内，并利用螺杆带动挂篮组件进行左右摇摆震荡清洗，这种情况下会导致在大批量生产过程中，电机需要频繁正反转，导致电机与螺杆的磨损更换与成本增加。

技术实现思路

1、本实用新型要解决的技术问题是提供一种晶圆清洗震荡机构，解决现有技术中存在的电机需要频繁正反转，导致电机与螺杆的磨损更换与成本增加的问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为：一种晶圆清洗震荡机构，其创新点在于：包括主板、电机、转盘、主杆与挂篮组件，所述主板竖直设置，且所述电机、转盘、主杆与挂篮组件均设置在所述主板的正面位置处；

3、所述电机水平安装在所述主板的中上部宽度一侧处，其输出端连接有所述转盘，所述主杆竖直设置，其底部安装有所述挂篮组件，其顶部与所述转盘之间为偏心连接，且在所述转盘上开设有多个偏心固定孔，且每个所述偏心固定孔与所述转盘的圆心之间的间距均不相同。

4、进一步的，所述主板上宽度另一侧处安装有一竖直设置的滑轨，所述滑轨上安装有一滑块，滑块上安装有固定块，所述主杆的顶部固定安装有所述固定块。

5、进一步的，所述固定块包括第一固定板与第二固定板，且第一固定板固定在所述滑块上，第一固定板上远离滑块的一侧开设有竖直设置的第一弧形槽，第二固定板上靠近滑块的一侧开设有竖直设置的第二弧形槽，第二固定板与第一固定板螺纹连接，则第一、二弧形槽组成一刚好组成容纳所述主杆的安装槽，当需要更换主杆与挂篮组件时仅需要拆下第二固定板，并将装有适当尺寸的挂篮组件的主杆顶部置于第一弧形槽内，再安装第二固定板实现主杆的锁紧。

6、进一步的，所述固定块上位于第一固定板靠近转盘的一侧中部水平安装有第二连杆，第一连杆的一侧通过所述偏心固定孔转动连接在所述转盘上，第一连杆的另一侧与所述第二连杆远离主板的一侧转动连接。

7、进一步的，所述固定块的第二固定板上还开设有通槽，利用通槽避免第二固定板在拆装过程中对第一连杆与第二连杆的转动连接处产生干涉。

8、进一步的，所述电机通过一电机座安装在所述主板上；

9、所述电机座包括一安装板、两侧板以及一基板，该安装板竖直安装在所述主板上，两侧板水平安装在该安装板的上下两侧，基板竖直安装在两个侧板靠近连杆的一侧处，且在基板上开设有容纳所述电机的输出轴穿过的通孔。

10、进一步的，所述安装板的上下两侧均开设有水平设置的腰型孔，从而能快速调整电机与主杆之间的水平距离。

11、本实用新型的优点在于：

12、1）本实用新型中利用电机驱动转盘单向旋转，从而带动主杆与挂篮组件进行升降，从而实现震荡清洗，较现有技术而言，省去了螺杆结构，避免了大批量生产过程中电机需要频繁正反转，导致电机与螺杆的磨损更换与成本增加的问题，同时电机的使用寿命得以提升，降低了维护成本；

13、2）本实用新型中，转盘上开设有多个偏心固定孔，且每个偏心固定孔与转盘的圆心之间的间距均不相同，则可以根据晶圆的尺寸选择将第一连杆的一侧与相适配的偏心固定孔处转动连接，从而实现不同高度的震荡幅度的调整，适用于不同尺寸晶圆的震荡清洗，无需替换转盘，通用性强；

14、3）本实用新型中，第一、二弧形槽组成一刚好组成容纳主杆的安装槽，当需要更换主杆与挂篮组件时仅需要拆下第二固定板，并将装有适当尺寸的挂篮组件的主杆顶部置于第一弧形槽内，再安装第二固定板实现主杆的锁紧，方便快捷；

15、4）固定块的第二固定板上还开设有通槽，利用通槽避免第二固定板在拆装过程中对第一连杆与第二连杆的转动连接处产生干涉；

16、5）安装板的上下两侧均开设有水平设置的腰型孔，从而能快速调整电机与主杆之间的水平距离，方便快捷。

技术特征：

1.一种晶圆清洗震荡机构，其特征在于：包括主板、电机、转盘、主杆与挂篮组件，所述主板竖直设置，且所述电机、转盘、主杆与挂篮组件均设置在所述主板的正面位置处；

2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗震荡机构，其特征在于：所述主板上宽度另一侧处安装有一竖直设置的滑轨，所述滑轨上安装有一滑块，滑块上安装有固定块，所述主杆的顶部固定安装有所述固定块。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗震荡机构，其特征在于：所述固定块包括第一固定板与第二固定板，且第一固定板固定在所述滑块上，第一固定板上远离滑块的一侧开设有竖直设置的第一弧形槽，第二固定板上靠近滑块的一侧开设有竖直设置的第二弧形槽，第二固定板与第一固定板螺纹连接，则第一、二弧形槽组成一刚好组成容纳所述主杆的安装槽。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆清洗震荡机构，其特征在于：所述固定块上位于第一固定板靠近转盘的一侧中部水平安装有第二连杆，第一连杆的一侧通过所述偏心固定孔转动连接在所述转盘上，第一连杆的另一侧与所述第二连杆远离主板的一侧转动连接。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆清洗震荡机构，其特征在于：所述固定块的第二固定板上还开设有通槽。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗震荡机构，其特征在于：所述电机通过一电机座安装在所述主板上；

7.根据权利要求6所述的一种晶圆清洗震荡机构，其特征在于：所述安装板的上下两侧均开设有水平设置的腰型孔。

技术总结本技术涉及晶圆加工技术领域，尤其涉及一种晶圆清洗震荡机构，包括主板、电机、转盘、主杆与挂篮组件，本技术中利用电机驱动转盘单向旋转，从而带动主杆与挂篮组件进行升降，从而实现震荡清洗，较现有技术而言，省去了螺杆结构，同时电机的使用寿命得以提升，降低了维护成本，避免了电机需要频繁正反转，导致电机与螺杆的磨损更换与成本增加的问题；转盘上开设有多个偏心固定孔，且每个偏心固定孔与转盘的圆心之间的间距均不相同，则可以根据晶圆的尺寸选择将第一连杆的一侧与相适配的偏心固定孔处转动连接，适用于不同尺寸晶圆的震荡清洗，无需替换转盘，通用性强。技术研发人员：黎弈夆受保护的技术使用者：力集泓光电科技(南通)有限公司技术研发日：20231127技术公布日：2024/7/23