一种单片式晶圆清洗装置的清洗机构的制作方法

本技术涉及晶圆清洗，具体为一种单片式晶圆清洗装置的清洗机构。

背景技术：

1、单片式晶圆清洗装置在实际的使用过程中，可以对单张晶圆进行清洗，清洗的过程主要通过单片式晶圆清洗装置的清洗机构实现，清洗机构一般通过喷水头、防护外壳、晶圆固定台组成，通过清洗可以提高晶圆表面平整度，进而提高后续形成的半导体器件的性能，由于晶圆表面往往会残留研磨液和异物等，因此晶圆的清洗成为了一道非常重要且要求较高的工艺；

2、单片式晶圆清洗装置的清洗机构在清洗的过程中，会有水滴溅射，溅射的水滴会依附在清洗外壳上设置的观察窗口内部，在清洁的过程中，影响工作人员对内部的清洁情况进行观察，因此，针对上述问题提出一种单片式晶圆清洗装置的清洗机构。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种单片式晶圆清洗装置的清洗机构，以解决单片式晶圆清洗装置的清洗机构在清洗的过程中，会有水滴溅射，溅射的水滴会依附在清洗外壳上设置的观察窗口内部，在清洁的过程中，影响工作人员对内部的清洁情况进行观察的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种单片式晶圆清洗装置的清洗机构，包括机箱、清洗外壳和晶圆清洗台，所述机箱上端固定连接有清洗外壳，所述清洗外壳内侧设有晶圆清洗台，所述清洗外壳侧面设有喷水头，所述喷水头与循环泵出水口固定连接，所述清洗外壳前侧转动连接有门板，所述门板内侧固定连接有观察玻璃，所述观察玻璃与橡胶刮板紧贴，所述橡胶刮板一端与导轨连接，所述橡胶刮板另一端与滑块固定连接，所述滑块中间螺旋连接有螺纹杆，所述螺纹杆底端与驱动电机主轴固定连接，所述驱动电机固定连接在电机箱底端内侧，所述门板内侧下端开设有导流槽，所述机箱上端内侧开设有收集口，所述收集口一端内侧固定连接有海绵垫，所述收集口与收集水箱连通，所述收集水箱通过过滤管与循环泵连通。

4、优选的，所述导轨和电机箱均固定连接在门板内侧，所述导轨和电机箱之间平行，所述电机箱一端内侧开设有限位槽，所述橡胶刮板一端滑动连接在限位槽内侧，所述导流槽开设在观察玻璃下端。

5、优选的，所述滑块的横截面为正方形，所述滑块滑动连接在电机箱内侧，所述滑块和螺纹杆之间的夹角为90°，所述螺纹杆远离驱动电机主轴的一端与电机箱转动连接。

6、优选的，所述收集口和海绵垫的上端面设置在同一水平面，所述收集口的深度为10cm，所述海绵垫的高度为3cm。

7、优选的，所述收集水箱与机箱之间通过螺栓固定连接，所述循环泵一端与清洗外壳固定连接，所述循环泵设置在收集水箱上端。

8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

9、本实用新型中，通过设置的橡胶刮板、收集口以及海绵垫，橡胶刮板在上下移动的过程中，可以对观察玻璃内表面进行清洁，这样便于工作人员通过观察玻璃对清洗外壳内部的清洗情况进行观察，同时在清洁完成后，在打开门板时，海绵垫可以将门板底端凝聚成水滴的水分刮落，进而可以避免门板打开口，门板底部有水滴滴落的问题出现。

技术特征：

1.一种单片式晶圆清洗装置的清洗机构，包括机箱(1)、清洗外壳(2)和晶圆清洗台(5)，其特征在于：所述机箱(1)上端固定连接有清洗外壳(2)，所述清洗外壳(2)内侧设有晶圆清洗台(5)，所述清洗外壳(2)侧面设有喷水头(4)，所述喷水头(4)与循环泵(3)出水口固定连接，所述清洗外壳(2)前侧转动连接有门板(6)，所述门板(6)内侧固定连接有观察玻璃(7)，所述观察玻璃(7)与橡胶刮板(9)紧贴，所述橡胶刮板(9)一端与导轨(10)连接，所述橡胶刮板(9)另一端与滑块(15)固定连接，所述滑块(15)中间螺旋连接有螺纹杆(14)，所述螺纹杆(14)底端与驱动电机(13)主轴固定连接，所述驱动电机(13)固定连接在电机箱(11)底端内侧，所述门板(6)内侧下端开设有导流槽(8)，所述机箱(1)上端内侧开设有收集口(16)，所述收集口(16)一端内侧固定连接有海绵垫(17)，所述收集口(16)与收集水箱(18)连通，所述收集水箱(18)通过过滤管(19)与循环泵(3)连通。

2.根据权利要求1所述的一种单片式晶圆清洗装置的清洗机构，其特征在于：所述导轨(10)和电机箱(11)均固定连接在门板(6)内侧，所述导轨(10)和电机箱(11)之间平行，所述电机箱(11)一端内侧开设有限位槽(12)，所述橡胶刮板(9)一端滑动连接在限位槽(12)内侧，所述导流槽(8)开设在观察玻璃(7)下端。

3.根据权利要求1所述的一种单片式晶圆清洗装置的清洗机构，其特征在于：所述滑块(15)的横截面为正方形，所述滑块(15)滑动连接在电机箱(11)内侧，所述滑块(15)和螺纹杆(14)之间的夹角为90°，所述螺纹杆(14)远离驱动电机(13)主轴的一端与电机箱(11)转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种单片式晶圆清洗装置的清洗机构，其特征在于：所述收集口(16)和海绵垫(17)的上端面设置在同一水平面，所述收集口(16)的深度为10cm，所述海绵垫(17)的高度为3cm。

5.根据权利要求1所述的一种单片式晶圆清洗装置的清洗机构，其特征在于：所述收集水箱(18)与机箱(1)之间通过螺栓固定连接，所述循环泵(3)一端与清洗外壳(2)固定连接，所述循环泵(3)设置在收集水箱(18)上端。

技术总结本技术涉及晶圆清洗技术领域，尤其为一种单片式晶圆清洗装置的清洗机构，包括机箱、清洗外壳和晶圆清洗台，机箱上端固定连接有清洗外壳，清洗外壳内侧设有晶圆清洗台，清洗外壳侧面设有喷水头，喷水头与循环泵出水口固定连接，清洗外壳前侧转动连接有门板，门板内侧固定连接有观察玻璃，观察玻璃与橡胶刮板紧贴，橡胶刮板一端与导轨连接，本技术中，橡胶刮板在上下移动的过程中，可以对观察玻璃内表面进行清洁，这样便于工作人员通过观察玻璃对清洗外壳内部的清洗情况进行观察，同时在清洁完成后，在打开门板时，海绵垫可以将门板底端凝聚成水滴的水分刮落，进而可以避免门板打开口，门板底部有水滴滴落的问题出现。技术研发人员：仇建明,仲明飞受保护的技术使用者：湖北省嘉创半导体有限公司技术研发日：20231011技术公布日：2024/7/23