支撑结构以及热炉的制作方法

本技术涉及半导体制造，尤其涉及一种支撑结构以及热炉。

背景技术：

1、现有的热炉中，炉体的内胆往往采用石墨柱支撑，在石墨柱上放置有石墨面板，该石墨面板与内胆共同对炉体内的载具进行承载。现有的热炉对其内胆以及放置于内胆内的石墨箱的安装位置精度要求较高。但是由于石墨是一种导热率高的材料，在热炉的工作过程中石墨柱会将载具的热量向外传导，从而容易引起炉体的内胆恒温区的热量不均匀，进而导致该热炉内部结构发生热变形，造成内胆以及石墨箱的位置发生偏移。

2、因此，亟需设计一种支撑结构以及热炉，以解决上述技术问题。

技术实现思路

1、本实用新型的一个目的在于提供一种支撑结构，能够调节内胆和支撑平台的高度和水平度，避免因热变形导致内胆和载具的安装位置出现偏移，提高了内胆和载具的安装精度。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、支撑结构，用于对热炉的内胆和载具进行支撑，支撑结构包括支撑平台和多个支撑调节组件，支撑调节组件的一端连接于热炉的炉体，另一端穿设于内胆并连接于支撑平台；支撑调节组件能够支撑内胆和支撑平台并对两者的高度进行调节；支撑平台用于承载载具。

4、在一些实施例中，支撑调节组件包括支撑柱和调节柱；支撑柱的一端沿竖直方向位置可调地连接于热炉的炉体，以调节内胆的高度和水平度；调节柱的一端连接于支撑柱的另一端，调节柱的另一端沿竖直方向位置可调地穿设于内胆，并连接于支撑平台，以调节支撑平台的高度和水平度。

5、在一些实施例中，支撑调节组件还包括固定座，固定座设置于炉体，支撑柱和固定座螺纹连接，以调节支撑柱的位置。

6、在一些实施例中，调节柱与内胆之间螺纹连接。

7、在一些实施例中，支撑调节组件还包括防尘盖，防尘盖设于调节柱的端部。

8、在一些实施例中，支撑柱由碳碳复合材料制成。

9、在一些实施例中，支撑平台包括多个间隔设置的支撑块，支撑块与调节柱一一对应设置。

10、在一些实施例中，调节柱和支撑块之间限位连接。

11、在一些实施例中，调节柱和支撑块中的一个设有定位件，另一个设有定位槽，定位件连接于定位槽。

12、在一些实施例中，所有的支撑块上的定位槽位于同一侧。

13、本实用新型的另一个目的在于提供一种热炉，能够避免出现因热变形导致内胆和载具的安装位置偏移问题，提高了内胆和载具的安装精度。

14、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

15、热炉，包括支撑结构，以及由外到内依次设置的炉体、外胆和内胆。

16、本实用新型的有益效果：

17、本实用新型提供了一种支撑结构以及热炉，采用支撑调节组件以对内胆和载具进行支撑，通过设置支撑调节组件，可以调节内胆和支撑平台的高度和水平度，避免出现因热变形导致内胆和载具的安装位置偏移问题，提高了内胆和载具的安装精度。

技术特征：

1.支撑结构，用于对热炉的内胆(200)和载具(300)进行支撑，其特征在于，所述支撑结构包括支撑平台(10)和多个支撑调节组件(20)，所述支撑调节组件(20)的一端连接于所述热炉的炉体(400)，另一端穿设于所述内胆(200)并连接于所述支撑平台(10)；所述支撑调节组件(20)能够支撑所述内胆(200)和所述支撑平台(10)并对两者的高度进行调节；所述支撑平台(10)用于承载所述载具(300)。

2.根据权利要求1所述的支撑结构，其特征在于，所述支撑调节组件(20)包括：

3.根据权利要求2所述的支撑结构，其特征在于，所述支撑调节组件(20)还包括固定座(23)，所述固定座(23)设置于所述炉体(400)，所述支撑柱(21)和所述固定座(23)螺纹连接，以调节所述支撑柱(21)的位置。

4.根据权利要求2所述的支撑结构，其特征在于，所述调节柱(22)与所述内胆(200)之间螺纹连接。

5.根据权利要求2所述的支撑结构，其特征在于，所述支撑调节组件(20)还包括防尘盖(24)，所述防尘盖(24)设于所述调节柱(22)的端部。

6.根据权利要求2所述的支撑结构，其特征在于，所述支撑柱(21)由碳碳复合材料制成。

7.根据权利要求1-6任一项所述的支撑结构，其特征在于，所述支撑平台(10)包括多个间隔设置的支撑块(11)，所述支撑块(11)与所述支撑调节组件(20)一一对应设置。

8.根据权利要求7所述的支撑结构，其特征在于，所述支撑调节组件(20)和所述支撑块(11)之间限位连接。

9.根据权利要求8所述的支撑结构，其特征在于，所述支撑调节组件(20)和所述支撑块(11)中的一个设有定位件(26)，另一个设有定位槽(111)，所述定位件(26)连接于所述定位槽(111)。

10.根据权利要求9所述的支撑结构，其特征在于，所有的所述支撑块(11)上的所述定位槽(111)位于同一侧。

11.热炉，其特征在于，包括如权利要求1-10任一项所述的支撑结构，以及由外到内依次设置的炉体(400)、外胆(500)和内胆(200)。

技术总结本技术属于半导体制造技术领域，公开了一种支撑结构以及热炉，该支撑结构用于对热炉的内胆和载具进行支撑，支撑结构包括支撑平台和多个支撑调节组件，支撑调节组件的一端连接于热炉的炉体，另一端穿设于内胆并连接于支撑平台；支撑调节组件能够支撑内胆和支撑平台并对两者的高度进行调节；支撑平台用于承载载具。该支撑结构能够调节内胆和支撑平台的高度和水平度，避免出现因热变形导致内胆和载具的安装位置出现偏移，提高了内胆和载具的安装精度。技术研发人员：韩雪岭,李洪,龙占勇,陈梓展,林佳继受保护的技术使用者：拉普拉斯（广州）半导体科技有限公司技术研发日：20231023技术公布日：2024/7/23