一种微纳加工系统的制作方法

[0001]本实用新型属于压电促动器技术领域，具体涉及一种微纳加工系统。背景技术：[0002]近年来，随着微电子产业的蓬勃发展，微电子产业的发展已成为衡量一个国家综合实力的重要标志，成为促进国民经济持续发展和国家战略性基础产业安全的重要保障。随着微电子产业的持续发展，其相关行业器件不断向着微型化、高性能和高集成度方向发展，对于装配和操作的质量要求越来越严格，因此对微器件封装的质量和效率提出了更高的要求，目前，微纳加工结构大多采用刚性结构形式，其对装配精度要求很高，且难以微小化，行程小，难以加工复杂表面结构技术实现要素：[0003]本实用新型为了弥补现有技术的缺陷，提供了一种微纳加工系统。[0004]本实用新型是通过如下技术方案实现的：[0005]一种微纳加工系统，包括装配基臂、定位平台、第一传动连接臂和第二传动连接臂，所述装配基臂一侧设有固定基臂，装配基臂上通过第二柔性铰链连接有第一传动连接臂，所述第一传动连接臂上通过第一柔性铰链设有第二传动连接臂，所述固定基臂与第一传动连接臂之间设有第一压电陶瓷驱动器，第二传动连接臂与装配基臂之间设有第二压电陶瓷驱动器，所述第二传动连接臂端部对应定位平台设有刀尖。[0006]进一步，所述第一柔性铰链与第一传动连接臂连接处设有第一压变片，第二柔性铰链与装配基臂连接处设有第二压变片。[0007]进一步，所述固定基臂与第一传动连接臂互相平行。[0008]进一步，所述第一传动连接臂与装配基臂之间互相垂直，第二传动连接臂与第一传动连接臂互相垂直，第二传动连接臂与装配基臂之间互相平行。[0009]本实用新型的有益效果是：结构简单紧凑，运动形成大，固有频率高，用于二维振动辅助切削,可延长刀具的使用寿命、减小切削力，而且提高了工件加工表面质量。附图说明[0010]下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。[0011]附图1为本实用新型的结构示意图。[0012]图中，1装配基臂，2固定基臂，3定位平台,4第一压电陶瓷驱动器,5第一传动连接臂,6第二传动连接臂,7第一压变片，8第二压变片，9第一柔性铰链,10第二柔性铰链，11第二压电陶瓷驱动器， 12刀尖。具体实施方式[0013]附图1为本实用新型的一种具体实施例。该实用新型一种微纳加工系统，包括装配基臂1、定位平台3、第一传动连接臂5和第二传动连接臂6，所述装配基臂1一侧设有固定基臂2，装配基臂1上通过第二柔性铰链10连接有第一传动连接臂5，所述第一传动连接臂5 上通过第一柔性铰链9设有第二传动连接臂6，所述固定基臂2与第一传动连接臂5之间设有第一压电陶瓷驱动器4，第二传动连接臂6 与装配基臂1之间设有第二压电陶瓷驱动器11，所述第二传动连接臂6端部对应定位平台3设有刀尖12。[0014]进一步，所述第一柔性铰链9与第一传动连接臂5连接处设有第一压变片7，第二柔性铰链10与装配基臂1连接处设有第二压变片8。[0015]进一步，所述固定基臂2与第一传动连接臂5互相平行。[0016]进一步，所述第一传动连接臂5与装配基臂1之间互相垂直，第二传动连接臂6与第一传动连接臂5互相垂直，第二传动连接臂6与装配基臂1之间互相平行。[0017]本实用新型不局限于上述实施方式，任何人应得知在本实用新型的启示下作出的与本实用新型具有相同或相近的技术方案，均落入本实用新型的保护范围之内。[0018]本实用新型未详细描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。