致动器装置的制作方法

1.本发明涉及致动器装置。背景技术：2.已知一种致动器装置，其具有：支撑体；由支撑体支撑的金属基板；将支撑体与金属基板粘接的粘接构件；和配置于金属基板所具有的主体部的振动元件。在这样的致动器装置中，有时金属基板还具有：可动部；以可动部位于其间的方式从主体部延伸的一对延伸部；将一对延伸部与可动部连结的一对连结部；和与一对延伸部连接的一对连接部，各连接部中的与支撑体的一部分相对的相对区域利用粘接构件粘接于该支撑体的一部分(例如，参照日本特开2020-187292号公报)。技术实现要素：3.在上述那样的致动器装置中，由于粘接构件到达各连接部中的与各延伸部连接的连接区域，作为致动器装置的驱动特性有可能偏离设计值。另一方面，如果为了防止粘接构件到达各连接部的连接区域而减少粘接构件的量，则粘接构件无法充分地遍及支撑体的一部分与各连接部的相对区域之间，支撑体与金属基板的粘接强度有可能降低。4.本发明的目的在于提供一种能够获得期望的驱动特性且能够确保支撑体与金属基板的粘接强度的致动器装置。5.本发明的一个方面的致动器装置包括：支撑体；由支撑体支撑的金属基板；将支撑体与金属基板粘接的粘接构件；和配置于金属基板所具有的主体部的振动元件，金属基板还具有：可动部；以可动部位于彼此之间的方式从主体部延伸的第1延伸部和第2延伸部；将第1延伸部与可动部连结的第1连结部；将第2延伸部与可动部连结的第2连结部；和与第1延伸部和第2延伸部中的至少一个连接的连接部，连接部包括：在金属基板的厚度方向上与支撑体的一部分相对的第1区域；从第1区域连续的第2区域；和第3区域，其从第2区域连续，与第1延伸部和第2延伸部中的至少一个连接，在从金属基板的厚度方向观察的情况下，垂直于第3区域与第2区域连接的连接方向的方向上的第2区域的宽度，比垂直于连接方向的方向上的第3区域的宽度大，粘接构件具有：配置在支撑体的一部分与第1区域之间的第1部分；和第2部分，其从第1部分连续，到达第2区域而没有到达第3区域。附图说明6.图1是一个实施方式的致动器装置的立体图。7.图2是图1所示的致动器装置的俯视图。8.图3是图1所示的配线基板和金属基板的一部分的俯视图。9.图4是图3所示的配线基板和金属基板的一部分的截面图。10.图5是图1所示的配线基板和金属基板的一部分的俯视图。11.图6是图5所示的配线基板和金属基板的一部分的截面图。12.图7是第1变形例的配线基板和金属基板的一部分的俯视图。13.图8是第2变形例的配线基板和金属基板的一部分的俯视图。14.图9是第3变形例的配线基板和金属基板的一部分的俯视图。15.图10是第4变形例的金属基板的一部分的俯视图。16.图11是第5变形例的金属基板的一部分的俯视图。17.图12是第6变形例的配线基板和金属基板的一部分的截面图。具体实施方式18.以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。另外，在各图中，对相同或相当的部分标注相同的附图标记，并省略重复的说明。19.[致动器装置的结构][0020]如图1和图2所示，致动器装置1包括配线基板(支撑体)2、金属基板3、第1粘接构件(粘接构件)4、具有光学面51的光学功能部5、驱动用压电元件(振动元件)6、检测用压电元件7和第2粘接构件8。光学功能部5设置于金属基板3。致动器装置1例如容纳于封装(未图示)。作为一例，封装具有侧壁、底壁和由使光透过的材料构成的顶壁，呈箱状。例如，在致动器装置1中，当激光经由顶壁入射到封装内时，激光被通过驱动用压电元件6经由金属基板3周期性地摆动的光学功能部5的光学面51反射，并经由顶壁向外部出射。来自封装的激光的出射方向与光学面51的摆动相应地周期性且连续地变化。即，在本实施方式中，致动器装置1是光扫描装置。[0021]配线基板2具有载置面2a。在配线基板2形成有载置面2a和在与载置面2a为相反侧的面开口的开口2b。配线基板2例如呈矩形框状。作为配线基板2的材料的例子，可举出硅、陶瓷、石英、玻璃和塑料。配线基板2的厚度只要是能够确保充分的刚性的厚度即可，例如为0.8mm以上。在本实施方式中，配线基板2的厚度为1.6mm。在以下的说明中，将配线基板2的厚度方向称为z轴方向(金属基板的厚度方向)，将与z轴方向垂直的一个方向称为x轴方向，将与z轴方向和x轴方向这两个方向垂直的方向称为y轴方向。[0022]在配线基板2的载置面2a配置有多个(在本实施方式中为3个)电极焊盘21、22、23。多个电极焊盘21、22、23相对于配线基板2的开口2b位于y轴方向上的一侧，沿着x轴方向排列。在载置面2a安装有连接器24。连接器24是用于对驱动用压电元件6和检测用压电元件7分别输入输出电压信号等的端口。连接器24例如相对于多个电极焊盘21、22、23位于y轴方向上的一侧。连接器24具有多个端子25。连接器24经由多个端子25和配线基板2的配线等与多个电极焊盘21、22、23电连接。[0023]金属基板3由配线基板2支撑。金属基板3例如由铁类、不锈钢类、铜类、坡莫合金(permalloy)类、钛类、钨类、钼类等金属构成，呈板状。金属基板3的厚度例如为50～500μm。第1粘接构件4将配线基板2与金属基板3粘接。第1粘接构件4具有导电性。作为第1粘接构件4的材料的例子，可举出含有ag颗粒的环氧树脂。[0024]金属基板3具有主体部31、可动部32、第1延伸部33、第2延伸部34、第1连结部35、第2连结部36、第1连接部(连接部)37、第2连接部(连接部)38和第3连接部(不同的连接部)39。可动部32、第1延伸部33、第2延伸部34、第1连结部35、第2连结部36、第1连接部37、第2连接部38和第3连接部39一体地形成。[0025]主体部31是固定(配置)有驱动用压电元件6的部分。在从z轴方向观察的情况下，主体部31位于配线基板2的开口2b内。可动部32是配置有光学功能部5的部分。可动部32相对于主体部31位于y轴方向上的另一侧。[0026]第1延伸部33和第2延伸部34以可动部32位于其间的方式从主体部31延伸。在本实施方式中，可动部32位于第1延伸部33和第2延伸部34的中间。第1延伸部33和第2延伸部34例如沿着y轴方向相互平行地延伸。在本实施方式中，第1延伸部33具有与第2延伸部34相同的形状。[0027]第1连结部35在第1延伸部33与可动部32之间沿着x轴方向延伸。第1连结部35的一端部与第1延伸部33连接，第1连结部35的另一端部与可动部32连接。即，第1连结部35将第1延伸部33与可动部32连结。[0028]第2连结部36在第2延伸部34与可动部32之间沿着x轴方向延伸。第2连结部36的一端部与第2延伸部34连接，第2连结部36的另一端部与可动部32连接。即，第2连结部36将第2延伸部34与可动部32连结。[0029]在本实施方式中，第1连结部35和第2连结部36位于沿着x轴方向的单一的直线上。根据上述的第1延伸部33和第2延伸部34与可动部32的位置关系，x轴方向上的第1连结部35的长度与x轴方向上的第2连结部36的长度相同。在本实施方式中，第1连结部35具有与第2连结部36的形状相同的形状。[0030]在从z轴方向观察的情况下，可动部32、第1延伸部33、第2延伸部34、第1连结部35和第2连结部36位于配线基板2的开口2b内。第1连结部35和第2连结部36作为扭力杆发挥功能，该扭力杆以与第1延伸部33和第2延伸部34的变形(位移)相应地扭转的方式弹性变形。可动部32与第1连结部35和第2连结部36的弹性变形相应地，绕沿着x轴方向的轴摆动。即，可动部32经由第1连结部35和第2连结部36以能够摆动的方式支撑于第1延伸部33和第2延伸部34。[0031]光学功能部5配置于可动部32的与开口2b为相反侧的面。光学功能部5例如呈圆板状。光学功能部5以光学面51朝向可动部32的相反侧的方式安装于可动部32。光学面51在x轴方向上位于第1延伸部33与第2延伸部34的中间。在本实施方式中，金属基板3和光学面51分别具有相对于沿着y轴方向通过光学面51的中心的直线线对称的形状。作为一例，光学功能部5由硅等半导体材料或玻璃构成，光学面51由在光学功能部5中形成于与可动部32为相反侧的面的反射膜构成。即，光学面51是反射镜面(反射面)。另外，可以省略光学功能部5的反射膜。在该情况下，也可以将上述相反侧的面自身作为光学面51。[0032]第1连接部37与第1延伸部33连接。第1连接部37相对于第1延伸部33位于y轴方向上的另一侧。在第1连接部37中，y轴方向上的另一侧的部分与配线基板2的一部分相对。在第1连接部37的该另一侧的部分与配线基板2的该一部分之间配置有第1粘接构件4。此外，在配线基板2的该一部分，也可以以与电极焊盘23成为相同电位的方式配置有与电极焊盘23电连接的电极焊盘(未图示)。[0033]第2连接部38与第2延伸部34连接。第2连接部38相对于第2延伸部34位于y轴方向上的另一侧。在第2连接部38中，y轴方向上的另一侧的部分与配线基板2的一部分相对。在第2连接部38的该另一侧的部分与配线基板2的该一部分之间配置有第1粘接构件4。此外，在配线基板2的该一部分，也可以以与电极焊盘23成为相同电位的方式配置有与电极焊盘23电连接的电极焊盘(未图示)。在本实施方式中，第1连接部37和第2连接部38相对于沿着y轴方向通过光学面51的中心的直线处于线对称的关系。[0034]第3连接部39与主体部31连接。第3连接部39相对于主体部31位于y轴方向上的一侧。在第3连接部39中，y轴方向上的一侧的部分与配线基板2的一部分(配置有电极焊盘23的部分)相对。在第3连接部39的该一侧的部分与配线基板2的该一部分之间配置有第1粘接构件4。[0035]驱动用压电元件6是用于使金属基板3产生板波来驱动致动器装置1的元件。驱动用压电元件6配置于主体部31的与开口2b为相反侧的载置面31a。x轴方向上的驱动用压电元件6的中心与x轴方向上的可动部32的中心(即，x轴方向上的光学面51的中心)一致。驱动用压电元件6包括驱动用压电体61、第1电极62和第2电极(未图示)。[0036]驱动用压电体61包括第1主面61a和第2主面(未图示)。第1主面61a是驱动用压电体61的与载置面31a为相反侧的主面。在第1主面61a配置有第1电极62。第2主面是驱动用压电体61的载置面31a侧的主面。在第2主面上配置有第2电极。第1电极62和第2电极分别例如是ni/au层。在ni/au层中，ni层配置于第1主面61a，au层配置于ni层上，ni层的厚度比au层的厚度大。驱动用压电体61、第1电极62和第2电极分别例如呈矩形板状。驱动用压电体61通过与第1电极62接合而与第1电极62电连接。驱动用压电体61通过与第2电极接合而与第2电极电连接。在第2电极与主体部31之间配置有第2粘接构件8。第2粘接构件8将驱动用压电体61与金属基板3粘接。第2粘接构件8具有导电性。作为第2粘接构件8的材料的例子，可举出含有ag颗粒的环氧树脂。[0037]检测用压电元件7是用于检测光学面51的摆动角度的元件。检测用压电元件7配置于表面62a。表面62a是第1电极62的与驱动用压电体61为相反侧的主面。x轴方向上的检测用压电元件7的中心与x轴方向上的驱动用压电元件6的中心一致。检测用压电元件7包括检测用压电体71、第3电极72和第4电极(未图示)。检测用压电体71包括第3主面71a和第4主面(未图示)。第3主面71a是检测用压电体71的与第1电极62为相反侧的主面。在第3主面71a配置有第3电极72。第4主面是检测用压电体71的第1电极62侧的主面。在第4主面上配置有第4电极。第3电极72和第4电极分别例如是ni/au层。检测用压电体71、第3电极72和第4电极分别例如呈矩形板状。检测用压电体71通过与第3电极72接合而与第3电极72电连接。检测用压电体71通过与第4电极接合而与第4电极电连接。在第4电极与第1电极62之间配置有第2粘接构件8。第2粘接构件8粘接检测用压电体71和驱动用压电体61。[0038]在此，对配线基板2、金属基板3、驱动用压电元件6和检测用压电元件7的电连接关系进行说明。如图2所示，驱动用压电元件6的第1电极62经由导线11与电极焊盘21电连接。电极焊盘21经由配线基板2的配线与连接器24的端子25电连接。即，驱动用压电元件6的第1电极62经由导线11、电极焊盘21和配线基板2的配线与连接器24电连接。[0039]驱动用压电元件6的第2电极经由配置在第2电极与主体部31之间的第2粘接构件8与金属基板3电连接。金属基板3的第3连接部39经由配置在第3连接部39与电极焊盘23之间的第1粘接构件4与电极焊盘23电连接。电极焊盘23经由配线基板2的配线与连接器24的端子25电连接。即，驱动用压电元件6的第2电极经由第2粘接构件8、金属基板3、第1粘接构件4、电极焊盘23和配线基板2的配线与连接器24电连接。[0040]检测用压电体71的第3电极72经由导线12与电极焊盘22电连接。电极焊盘22经由配线基板2的配线与连接器24的端子25电连接。即，检测用压电体71的第3电极72经由导线12、电极焊盘22和配线基板2的配线与连接器24电连接。[0041]检测用压电元件7的第4电极经由配置在第4电极与驱动用压电元件6的第1电极62之间的第2粘接构件8与驱动用压电元件6的第1电极62电连接。即，检测用压电元件7的第4电极经由第2粘接构件8、驱动用压电元件6的第1电极62、导线11、电极焊盘21和配线基板2的配线与连接器24电连接。[0042]通过以上那样的电连接关系，致动器装置1例如如以下那样被驱动。具体而言，在驱动用压电元件6的第1电极62和检测用压电元件7的第4电极经由导线11、电极焊盘21、配线基板2的配线和连接器24与基准电位(例如接地电位)连接的状态下，从致动器装置1的外部经由连接器24、配线基板2的配线、电极焊盘23、第1粘接构件4和金属基板3向驱动用压电元件6的第2电极输入驱动用的电压信号。由此，驱动用压电元件6变形和/或振动，在主体部31产生周期性的板波。通过该周期性的板波的产生，在第1连结部35和第2连结部36引起扭转振动(扭转共振)，可动部32和光学面51摆动。即，在致动器装置1中，第1连结部35、第2连结部36、可动部32和光学面51的扭转共振系统与驱动用压电元件6配置在分离的位置，并且采用兰姆波共振结构，从而以高的驱动效率产生扭转共振。另一方面，与由可动部32和光学面51的摆动引起的角度的变化相应的电压信号从检测用压电体71的第3电极72经由导线12、电极焊盘22、配线基板2的配线和连接器24输出到致动器装置1的外部，检测光学面51的摆动角度。另外，致动器装置1包括压电单元10。压电单元10由上述的金属基板3、驱动用压电元件6、检测用压电元件7和第2粘接构件8构成。[0043][配线基板、金属基板和第1粘接构件的结构][0044]如图3所示，第1连接部37包括第1区域r1、第2区域r2和第3区域r3。第1区域r1是在z轴方向上与部分26相对的区域。部分26是配线基板2的一部分。第2区域r2是从第1区域r1连续的区域。第3区域r3是从第2区域r2连续且与第1延伸部33连接的区域。“与第1延伸部33连接的区域”包括第3区域r3与第1延伸部33直接(即，不经由其他部分)连接的区域、和第3区域r3与第1延伸部33间接(即，经由其他部分)连接的区域中的任一个。即，第3区域r3不限于第1连接部37中的第1延伸部33与第2区域r2之间的部分的整体，是与第2区域r2连续地连接的区域。在本实施方式中，第2区域r2和第3区域r3在z轴方向上不与配线基板2相对。[0045]在以下的说明中，在从z轴方向观察的情况下，将第3区域r3与第2区域r2连接的方向设为连接方向a，将与连接方向a垂直的方向设为方向b。在本实施方式中，在从z轴方向观察的情况下，连接方向a分别与x轴方向和y轴方向交叉。在本实施方式中，在从z轴方向观察的情况下，由第1区域r1和第2区域r2构成的区域呈多边形状，第2区域r2构成多边形状的一个角部k。作为一个例子，在从z轴方向观察的情况下，由第1区域r1和第2区域r2构成的区域呈大致矩形状，第1区域r1与第2区域r2的边界线以向与角部k的顶点为相反侧凸出的方式弯曲。在从z轴方向观察的情况下，第2区域r2例如呈扇状。作为一例，在从z轴方向观察的情况下，第3区域r3呈以连接方向a为长边方向的长方形状，在第2区域r2中与x轴方向上的最靠一侧且y轴方向上的最靠一侧的部分连接。[0046]在从z轴方向观察的情况下，方向b上的第2区域r2的宽度w2比方向b上的第3区域r3的宽度w3大。“在从z轴方向观察的情况下，方向b上的第2区域r2的宽度w2比方向b上的第3区域r3的宽度w3大”是指，在从z轴方向观察的情况下，除了第2区域r2与第3区域r3的边界部分之外，方向b上的第2区域r2的宽度w2的最小值比方向b上的第3区域r3的宽度w3的最大值大。[0047]另外，相对于在z轴方向上与配线基板2的部分26相对的第1区域r1，第2区域r2包括i)在z轴方向上不与配线基板2相对的区域、或者ii)z轴方向上的距配线基板2的距离比z轴方向上的第1区域r1与配线基板2的距离大的区域。在本实施方式中，第2区域r2是i)在z轴方向上不与配线基板2相对的区域。[0048]另外，第2区域r2与第3区域r3的边界包括i)方向b上的第1连接部37的宽度以“沿着方向b的线”为边界不连续地变化的情况下的该“沿着方向b的线”、ii)方向b上的第1连接部37的宽度的变化率以“沿着方向b的线”为边界不连续地变化的情况下的该“沿着方向b的线”、或者iii)方向b上的第1连接部37的宽度以“沿着方向b的线”为边界超过方向b上的第1连接部37的宽度的最小值的1.1倍的情况下的该“沿着方向b的线”。在本实施方式中，第2区域r2与第3区域r3的边界是iii)以方向b上的第1连接部37的宽度“沿着方向b的线”为边界超过方向b上的第1连接部37的宽度的最小值的1.1倍的情况下的该“沿着方向b的线”。另外，第3区域r3是至少包含第1连接部37中的具有方向b上的第1连接部37的最小宽度的部分的区域，第1粘接构件4的第2部分42至少不超过成为方向b上的第1连接部37的最小宽度的线。[0049]在从z轴方向观察的情况下，方向b上的第1区域r1的宽度w1比方向b上的第2区域r2的宽度w2大。“在从z轴方向观察的情况下，方向b上的第1区域r1的宽度w1比方向b上的第2区域r2的宽度w2大”是指，在从z轴方向观察的情况下，方向b上的第1区域r1的宽度w1的最大值比方向b上的第2区域r2的宽度w2的最大值大。像这样，在从z轴方向观察的情况下，方向b上的第1连接部37的宽度随着从第3区域r3朝向第1区域r1而阶段性地变大。[0050]在本实施方式中，在从z轴方向观察的情况下，第1区域r1的面积比第2区域r2的面积大，第2区域r2的面积比第3区域r3的面积大。而且，在从z轴方向观察的情况下，第1区域r1的面积比第2区域r2的面积和第3区域r3的面积的总和大。第2区域r2的刚性比第3区域r3的刚性大。第1区域r1的刚性比第2区域r2的刚性大。[0051]如图4所示，第1粘接构件4将配线基板2的部分26与第1连接部37粘接。第1粘接构件4具有第1部分41和第2部分42。第1部分41是第1粘接构件4中的配置于部分26与第1区域r1之间的部分。第2部分42是第1粘接构件4中的从第1部分41连续并到达第2区域r2而没有到达第3区域r3的部分。即，第2部分42与第2区域r2接触，不与第3区域r3接触。作为一个例子，第2部分42与第2区域r2和部分26的侧面接触，第2部分42的与所述第2区域r2为相反侧的表面露出于空间。即，第1粘接构件4分别与第1区域r1和第2区域r2接触，不与第3区域r3接触。像这样，在第1连接部37中，通过在第1区域r1与第3区域r3之间设置第2区域r2，在金属基板3中，从第1区域r1伸出的第1粘接构件4停留在第2区域r2，第1粘接构件4不与连接于第1延伸部33的第3区域r3接触。[0052]第2连接部38也与第1连接部37同样地包含第1区域r1、第2区域r2和第3区域r3。第2连接部38的第1区域r1是在z轴方向上与配线基板2的一部分相对的区域。第2连接部38的第2区域r2是从第1区域r1连续的区域。第2连接部38的第3区域r3是从第2区域r2连续且与第2延伸部34连接的区域。第1粘接构件4将配线基板2的上述部分与第2连接部38粘接。粘接配线基板2的上述部分和第2连接部38的第1粘接构件4也与粘接部分26和第1连接部37的第1粘接构件4同样，具有第1部分41和第2部分42。第2连接部38和第1粘接构件4的结构与第1连接部37和第1粘接构件4的结构相同(相对于沿着y轴方向通过光学面51的中心的直线呈线对称的关系)。[0053]如图5所示，第3连接部39包括第4区域r4、第5区域r5和第6区域r6。第4区域r4是在z轴方向上与部分28相对的区域。部分28是与配线基板2的部分26不同的一部分。第5区域r5是从第4区域r4连续的区域。第6区域r6是从第5区域r5连续且与主体部31连接的区域。“与主体部31连接的区域”包括第6区域r6与主体部31直接(即，不经由其他部分)连接的区域、和第6区域r6与主体部31间接(即，经由其他部分)连接的区域中的任一个。即，第6区域r6不限于第3连接部39中主体部31与第5区域r5之间的部分的整体，是与第5区域r5连续地连接的区域。[0054]在以下的说明中，在从z轴方向观察的情况下，将第6区域r6与第5区域r5连接的方向(不同的连接方向)设为连接方向c，将与连接方向c垂直的方向设为方向d。在本实施方式中，在从z轴方向观察的情况下，由第4区域r4和第5区域r5构成的区域呈多边形状，第5区域r5构成多边形状的一个边部的一部分。作为一个例子，在从z轴方向观察的情况下，由第4区域r4和第5区域r5构成的区域呈矩形状，第4区域r4与第5区域r5的边界线以向与上述边部为相反侧凸出的方式弯曲。在从z轴方向观察的情况下，第5区域r5例如呈半椭圆状。在从z轴方向观察的情况下，第6区域r6例如呈大致矩形状，在第5区域r5中与x轴方向上的中央且y轴方向上的最靠另一侧的部分连接。[0055]在从z轴方向观察的情况下，方向d上的第5区域r5的宽度w5比方向d上的第6区域r6的宽度w6大。“在从z轴方向观察的情况下，方向d上的第5区域r5的宽度w5比方向d上的第6区域r6的宽度w6大”是指，在从z轴方向观察的情况下，除了第5区域r5与第6区域r6的边界部分之外，方向d上的第5区域r5的宽度w5的最小值比方向d上的第6区域r6的宽度w6的最大值大。[0056]另外，相对于在z轴方向上与配线基板2的部分28相对的第4区域r4，第5区域r5包括i)在z轴方向上不与配线基板2相对的区域、或者ii)z轴方向上的距配线基板2的距离比z轴方向上的第4区域r4与配线基板2的距离大的区域。在本实施方式中，第5区域r5是i)在z轴方向上不与配线基板2相对的区域。[0057]另外，第5区域r5与第6区域r6的边界包括i)方向d上的第3连接部39的宽度以“沿着方向d的线”为边界不连续地变化的情况下的该“沿着方向d的线”、ii)方向d上的第3连接部39的宽度的变化率以“沿着方向d的线”为边界不连续地变化的情况下的该“沿着方向d的线”、或者iii)方向d上的第3连接部39的宽度以“沿着方向d的线”为边界超过方向d上的第3连接部39的宽度的最小值的1.1倍的情况下的该“沿着方向d的线”。在本实施方式中，第5区域r5与第6区域r6的边界是iii)方向d上的第3连接部39的宽度以“沿着方向d的线”为边界超过方向d上的第3连接部39的宽度的最小值的1.1倍的情况下的该“沿着方向d的线”。另外，第6区域r6是至少包含第3连接部39中的具有方向d上的第3连接部39的最小宽度的部分的区域，第1粘接构件4的第4部分44至少不超过成为方向d上的第3连接部39的最小宽度的线。[0058]在从z轴方向观察的情况下，在方向d上的第4区域r4中位于比第5区域r5靠y轴方向上的一侧的部分的宽度w4比方向d上的第5区域r5的宽度w5大。“在从z轴方向观察的情况下，在方向d上的第4区域r4中位于比第5区域r5靠y轴方向上的一侧的部分的宽度w4比方向d上的第5区域r5的宽度w5大”是指，在从z轴方向观察的情况下，方向d上的宽度w4的最大值比方向d上的第5区域r5的宽度w5的最大值大。像这样，在从z轴方向观察的情况下，方向d上的第3连接部39的宽度随着从第6区域r6朝向第4区域r4而阶段性地变大。[0059]在本实施方式中，在从z轴方向观察的情况下，第4区域r4的面积比第5区域r5的面积大。而且，在从z轴方向观察的情况下，第4区域r4的面积比第5区域r5的面积和第6区域r6的面积的总和大。第5区域r5的刚性比第6区域r6的刚性大。第4区域r4的刚性比第5区域r5的刚性大。[0060]如图6所示，在本实施方式中，第5区域r5和第6区域r6在z轴方向上不与配线基板2相对。第1粘接构件4将配线基板2的部分(不同的一部分)28与第3连接部39粘接。第1粘接构件4具有第3部分43和第4部分44。第3部分43是第1粘接构件4中的配置于部分28与第4区域r4之间的部分。第4部分44是第1粘接构件4中的从第3部分43连续并到达第5区域r5而没有到达第6区域r6的部分。即，第4部分44与第5区域r5接触，不与第6区域r6接触。作为一个例子，第4部分44与第5区域r5和部分28的侧面接触，第4部分44的与第5区域r5为相反侧的表面露出于空间。即，第1粘接构件4分别与第4区域r4和第5区域r5接触，不与第6区域r6接触。像这样，在第3连接部39中，通过在第4区域r4与第6区域r6之间设置第5区域r5，在金属基板3中，从第4区域r4伸出的第1粘接构件4停留在第5区域r5，第1粘接构件4不与连接于主体部31的第6区域r6接触。[0061][作用和效果][0062]在致动器装置1中，在第1连接部37中，第1粘接构件4的第1部分41配置在配线基板2的部分26与第1区域r1之间，从第1部分41连续的第1粘接构件4的第2部分42到达从第1区域r1连续的第2区域r2。由此，能够使第1粘接构件4充分地遍及配线基板2的部分26与第1区域r1之间，能够确保配线基板2与金属基板3的粘接强度。对于第2连接部38也同样，能够使第1粘接构件4充分地遍及配线基板2的一部分与第1区域r1之间，能够确保配线基板2与金属基板3的粘接强度。另一方面，在第1连接部37中，第1粘接构件4的第2部分42到达具有比第3区域r3的宽度w3大的宽度w2的第2区域r2，但第1粘接构件4的第2部分42没有到达具有比第2区域r2的宽度w2小的宽度w3的第3区域r3。由此，能够抑制第1连接部37的振动特性劣化，能够得到期望的驱动特性。对于第2连接部38也同样，能够抑制第2连接部38的振动特性劣化，能够得到期望的驱动特性。因此，根据致动器装置1，能够获得期望的驱动特性，并且能够确保配线基板2与金属基板3的粘接强度。[0063]例如，在各连接部包括与配线基板的一部分相对的相对区域和与相对区域连续且与延伸部连接的振动区域的现有的致动器装置的结构中，存在以下的问题。即，在现有的致动器装置中，存在如下问题：粘接构件到达容易对金属基板的共振模式造成影响的(即，刚性比较低且容易振动的)振动区域，根据粘接构件向振动区域伸出的量和部位，金属基板的共振模式下的共振频率从设计值大幅变化。例如，即使主体部的谐振模式下的谐振频率根据粘接构件溢出到振动区域的量和场所而变化，可动部的谐振模式下的谐振频率也不变化。然而，用于在光学面上获得期望的偏转角的驱动电压受到主体部的谐振模式下的谐振频率与可动部的谐振模式下的谐振频率之比的影响。因此，由于粘接构件到达刚性相对较低的振动区域，从而有可能无法获得期望的驱动特性。与此相对，根据致动器装置1，在第1连接部37和第2连接部38各自中，第2区域r2的宽度w2比第3区域r3的宽度w3大，所以第3区域r3的刚性相对下降，能够使第3区域r3选择性地振动。因此，无论第1粘接构件4向第2区域r2伸出的量和部位如何，都能够稳定地得到致动器装置1的驱动特性。[0064]在第1连接部37和第2连接部38的每一个中，在从z轴方向观察的情况下，第1区域r1的面积比第2区域r2的面积大。由此，能够可靠地确保配线基板2与金属基板3的粘接强度。[0065]在第1连接部37和第2连接部38各自中，在从z轴方向观察的情况下，第1区域r1的面积比第2区域r2的面积和第3区域r3的面积的总和大。由此，能够更可靠地确保配线基板2与金属基板3的粘接强度。[0066]在第1连接部37和第2连接部38的各自中，在从z轴方向观察的情况下，与连接方向a垂直的方向b上的第1区域r1的宽度w1比方向b上的第2区域r2的宽度w2大。由此，通过随着从第3区域r3向第1区域r1去阶段性地增大第1连接部37的宽度，能够兼顾确保配线基板2与金属基板3的粘接强度和确保期望的驱动特性。[0067]在第1连接部37和第2连接部38各自中，在从z轴方向观察的情况下，由第1区域r1和第2区域r2构成的区域呈多边形状，在从z轴方向观察的情况下，第2区域r2构成多边形状的一个角部k。由此，例如，与第2区域r2构成由第1区域r1和第2区域r2构成的区域的边部的一部分的情况相比，能够简单地设置第2区域r2。[0068]在第1连接部37和第2连接部38的各个中，在从z轴方向观察的情况下，第1区域r1与第2区域r2的边界线以向与角部k的顶点为相反侧凸出的方式弯曲。由此，能够使从第2区域r2的角部k的顶点到第1区域r1与第2区域r2的边界的距离均匀，所以能够可靠地防止第1粘接构件4到达第3区域r3。[0069]在第1连接部37和第2连接部38中，第1连接部37分别与第1延伸部33连接，第2连接部38分别与第2延伸部34连接。由此，与在第1延伸部33和第2延伸部34两者连接有1个连接部的情况相比，能够稳定地得到期望的驱动特性。[0070]在第1连接部37和第2连接部38各自中，第2区域r2和第3区域r3在z轴方向上不与配线基板2相对。由此，能够可靠地避免第1粘接构件4遍及配线基板2与第2区域r2之间到达第3区域r3这样的风险。[0071]第3连接部39包括：与主体部31连接且在z轴方向上与配线基板2的部分28相对的第4区域r4；从第4区域r4连续的第5区域r5；从第5区域r5连续且与主体部31连接的第6区域r6，在从z轴方向观察的情况下，与连接方向c垂直的方向d上的第5区域r5的宽度w5比方向d上的第6区域r6的宽度w6大，第1粘接构件4还具有：配置在部分28与第4区域r4之间的第3部分43；从第3部分43连续，到达第5区域r5而没有到达第6区域r6的第4部分44。由此，在第3连接部39中，也能够使第1粘接构件4充分地遍及部分28与第3连接部39的第4区域r4之间，并且能够抑制第3连接部39的振动特性劣化，所以能够可靠地得到期望的驱动特性，并且能够可靠地确保配线基板2与金属基板3的粘接强度。[0072][变形例][0073]本发明并不限定于上述实施方式。例如，在第1连接部37和第2连接部38各自中，第1区域r1、第2区域r2和第3区域r3的结构不限于上述实施方式。例如，在从z轴方向观察的情况下，第1区域r1的面积可以与第2区域r2的面积相等或者比该面积小，第2区域r2的面积可以与第3区域r3的面积相等或者比该面积小。并且，在从z轴方向观察的情况下，第1区域r1的面积也可以与第2区域r2的面积和第3区域r3的面积的总和相等或者比该面积的总和小。[0074]另外，例如，在第1连接部37和第2连接部38各自中，第1区域r1、第2区域r2和第3区域r3也可以是与上述实施方式不同的形状。例如，第3区域r3也可以弯曲。在该情况下，在从z轴方向观察的情况下，连接方向a是第3区域r3的轴的各位置处的切线方向中的最靠第2区域r2侧的位置处的切线方向。另外，在图7所示的例子中，在从z轴方向观察的情况下，第1连接部37的第2区域r2呈矩形状，这一点与上述实施方式不同。在从z轴方向观察的情况下，第2区域r2呈以x轴方向为长边方向的大致长方形状。在图7所示的例子中，第2区域r2是i)在z轴方向上不与配线基板2相对的区域。在图7所示的例子中，第2区域r2与第3区域r3的边界是iii)方向b上的第1连接部37的宽度以“沿着方向b的线”为边界超过方向b上的第1连接部37的宽度的最小值的1.1倍的情况下的该“沿着方向b的线”。[0075]另外，在第1连接部37中，第3区域r3也可以与第1延伸部33间接地连接，在第2连接部38中，第3区域r3也可以与第2延伸部34间接地连接。另外，在第1连接部37和第2连接部38各自中，第3区域r3与第2区域r2连接的方向和位置也可以与上述实施方式的方向和位置不同。在图8和图9所示的例子中，第1连接部37的第3区域r3与第1延伸部33间接地连接。在图8和图9所示的例子中，第1连接部37还包括将第1连接部37的第3区域r3与第1延伸部33连结的连结部371。连结部371例如沿着x轴方向延伸。在图8和图9所示的例子中，连接方向a例如在从z轴方向观察的情况下是与y轴方向平行的方向。在图8所示的例子中，第3区域r3在第2区域r2中与x轴方向上的最靠另一侧且y轴方向上的最靠一侧的部分连接。在图9所示的例子中，第3区域r3在第2区域r2中与x轴方向上的中央且y轴方向上的最靠一侧的部分连接。在图8和图9所示的例子中，第2区域r2是i)在z轴方向上不与配线基板2相对的区域。在图8和图9所示的例子中，第2区域r2与第3区域r3的边界是i)方向b上的第1连接部37的宽度以“沿着方向b的线”为边界不连续地变化的情况下的该“沿着方向b的线”。此外，在图10所示的例子中，在从z轴方向观察的情况下，第3区域r3沿着与x轴方向平行的连接方向a而与第2区域r2中的x轴方向上的最靠一侧且y轴方向上的最靠一侧的部分连接。在图10所示的例子中，第2区域r2与第3区域r3的边界是ii)方向b上的第1连接部37的宽度的变化率以“沿着方向b的线”为边界不连续地变化的情况下的该“沿着方向b的线”。此外，在图10所示的例子中，省略了配线基板2的图示。[0076]另外，在上述实施方式中，第1连接部37和第2连接部38构成与第1延伸部33和第2延伸部34的至少一个连接的连接部，但连接部的结构并不限定于上述实施方式的结构。例如，在图11所示的例子中，第1连接部37经由连结部371与第1延伸部33和第2延伸部34两者连接。即，在图11所示的例子中，仅第1连接部37构成连接部，金属基板3不具有第2连接部38。在图11所示的例子中，第2区域r2与第3区域r3的边界是i)方向b上的第1连接部37的宽度以“沿着方向b的线”为边界不连续地变化的情况下的该“沿着方向b的线”。此外，在图11所示的例子中，省略了配线基板2的图示。[0077]在第1连接部37和第2连接部38中，第2区域r2和第3区域r3也可以分别与配线基板2的一部分相对。在第2区域r2与配线基板2的一部分相对的情况下，例如，第1粘接构件4的第2部分42也可以到达配线基板2。在图12所示的例子中，第2区域r2与作为配线基板2的一部分的部分261相对，第2部分42到达部分261。部分261在配线基板2中与部分26连续。部分261具有金属基板3侧的表面261a。表面261a在z轴方向上相对于载置面2a位于与金属基板3为相反侧。第2区域r2与部分261相对，第3区域r3不与部分261相对。作为一例，第2部分42与第2区域r2、部分26的侧面和部分261的表面261a接触。另外，优选第2部分42没有到达第2区域r2与部分261之间的整体。在图12所示的例子中，第2区域r2是ii)z轴方向上的至配线基板2的距离比z轴方向上的第1区域r1与配线基板2的距离大的区域。另外，第2部分42只要不到达第3区域r3即可，例如，也可以在x轴方向和y轴方向上从部分261到达第3区域r3侧，并隔着空间而与第3区域r3相对。[0078]配线基板2并不限定于上述实施方式的形状，例如，配线基板2也可以代替开口而具有中央部分相对于载置面2a向与金属基板3为相反侧凹陷的凹部。在该情况下，第2区域r2和第3区域r3也可以分别与配线基板2的凹部相对。另外，例如，配线基板2也可以具有多个柱部来代替开口。在该情况下，第2区域r2和第3区域r3也可以分别与配线基板2相对。另外，在上述实施方式中，例示了支撑金属基板3的配线基板2，但金属基板3例如也可以支撑于由多个构件构成的支撑体。[0079]第3连接部39也可以不包含第4区域r4、第5区域r5和第6区域r6。例如，第3区域r3也可以代替第4区域r4、第5区域r5和第6区域r6而包含与配线基板2的一部分相对的相对区域、和与相对区域连续并与主体部连接的连接区域。[0080]在上述实施方式中，光学功能部5具有作为反射镜面的光学面51，但光学功能部5例如也可以是反射型衍射光栅、透射型衍射光栅、光学滤波器等。另外，在上述实施方式中，致动器装置1包括驱动用压电元件6作为振动元件，但振动元件只要具有通过驱动信号进行振动的振动源即可，不限于压电驱动式。例如，振动元件也可以是在金属基板3的主体部31具有磁铁、在与金属基板3不同的部位具有线圈(或者，在金属基板3的主体部31具有线圈、在与金属基板3不同的部位具有磁铁)的电磁驱动式的振动元件。致动器装置1只要包括配线基板2、金属基板3、第1粘接构件4和驱动用压电元件6即可。在致动器装置1中，例如也可以不安装连接器24、导线11和导线12。另外，致动器装置1也可以不包括检测用压电元件7。[0081]本发明的一个方面的致动器装置包括：支撑体；由支撑体支撑的金属基板；将支撑体与金属基板粘接的粘接构件；和配置于金属基板所具有的主体部的振动元件，金属基板还具有：可动部；以可动部位于彼此之间的方式从主体部延伸的第1延伸部和第2延伸部；将第1延伸部与可动部连结的第1连结部；将第2延伸部与可动部连结的第2连结部；和与第1延伸部和第2延伸部中的至少一个连接的连接部，连接部包括：在金属基板的厚度方向上与支撑体的一部分相对的第1区域；从第1区域连续的第2区域；和第3区域，其从第2区域连续，与第1延伸部和第2延伸部中的至少一个连接，在从金属基板的厚度方向观察的情况下，垂直于第3区域与第2区域连接的连接方向的方向上的第2区域的宽度，比垂直于连接方向的方向上的第3区域的宽度大，粘接构件具有：配置在支撑体的一部分与第1区域之间的第1部分；和第2部分，其从第1部分连续，到达第2区域而没有到达第3区域。[0082]在该致动器装置中，粘接构件的第1部分配置在支撑体的一部分与连接部的第1区域之间，从第1部分连续的粘接构件的第2部分到达从第1区域连续的连接部的第2区域。由此，能够使粘接构件充分地遍及支撑体的一部分与连接部的第1区域之间，能够确保支撑体与金属基板的粘接强度。另一方面，粘接构件的第2部分到达具有比连接部的第3区域的宽度大的宽度的连接部的第2区域，但粘接构件的第2部分没有到达具有比连接部的第2区域的宽度小的宽度的连接部的第3区域。由此，能够抑制连接部的振动特性劣化，能够得到期望的驱动特性。因此，根据该致动器装置，能够得到期望的驱动特性，并且能够确保支撑体与金属基板的粘接强度。[0083]在本发明的一个方面的致动器装置中，也可以是，在从金属基板的厚度方向观察的情况下，第1区域的面积比第2区域的面积大。由此，能够可靠地确保支撑体与金属基板的粘接强度。[0084]在本发明的一个方面的致动器装置中，也可以是，在从金属基板的厚度方向观察的情况下，第1区域的面积比第2区域的面积和第3区域的面积的总和大。由此，能够更可靠地确保支撑体与金属基板的粘接强度。[0085]在本发明的一个方面的致动器装置中，也可以是，在从金属基板的厚度方向观察的情况下，垂直于连接方向的方向上的第1区域的宽度比垂直于连接方向的方向上的第2区域的宽度大。由此，通过随着从第3区域朝向第1区域而阶段性地增大连接部的宽度，从而能够兼顾确保支撑体与金属基板的粘接强度和确保期望的驱动特性。[0086]在本发明的一个方面的致动器装置中，也可以是，在从金属基板的厚度方向观察的情况下，由第1区域和第2区域构成的区域呈多边形状，在从金属基板的厚度方向观察的情况下，第2区域构成多边形状的一个角部。由此，例如，与第2区域构成由第1区域和第2区域构成的区域的边部的一部分的情况相比，能够简单地设置第2区域。[0087]在本发明的一个方面的致动器装置中，也可以是，在从金属基板的厚度方向观察的情况下，第1区域与第2区域的边界线以向与角部的顶点为相反侧凸出的方式弯曲。由此，能够使从第2区域的角部的顶点到第1区域与第2区域的边界的距离均匀，所以能够可靠地防止粘接构件到达第3区域。[0088]在本发明的一个方面的致动器装置中，也可以是，金属基板具有分别作为连接部的第1连接部和第2连接部，第1连接部与第1延伸部连接，第2连接部与第2延伸部连接。由此，与在第1延伸部和第2延伸部两者连接有1个连接部的情况相比，能够稳定地得到期望的驱动特性。[0089]在本发明的一个方面的致动器装置中，也可以是，第2区域和第3区域在金属基板的厚度方向上不与支撑体相对。由此，能够可靠地避免粘接构件遍及支撑体与第2区域之间到达第3区域这样的风险。[0090]在本发明的一个方面的致动器装置中，也可以是，金属基板还具有与连接部不同的连接部，不同的连接部与主体部连接，并且包括：第4区域，其在金属基板的厚度方向上与支撑体的与一部分不同的一部分相对；从第4区域连续的第5区域；和第6区域，其从第5区域连续，且与主体部连接，在从金属基板的厚度方向观察的情况下，第6区域与第5区域连接的方向且垂直于与连接方向不同的连接方向的方向上的第5区域的宽度，比垂直于该不同的连接方向的方向上的第6区域的宽度大，粘接构件还具有：配置在支撑体的不同的一部分与第4区域之间的第3部分；和第4部分，其从第3部分连续，到达第5区域而没有到达第6区域。由此，在与上述连接部不同的连接部中，也能够使粘接构件充分地遍及支撑体的不同的一部分与不同的连接部的第4区域之间，并且能够抑制不同的连接部的振动特性劣化，所以能够可靠地得到期望的驱动特性，并且能够可靠地确保支撑体与金属基板的粘接强度。[0091]根据本发明的一个方面，能够提供一种能够获得期望的驱动特性并且能够确保支撑体与金属基板的粘接强度的致动器装置。