用于传感器和/或麦克风装置的微机械构件的制作方法

本发明涉及一种用于传感器和/或麦克风装置的微机械构件。本发明还涉及一种用于传感器和/或麦克风装置的微机械构件的制造方法。

背景技术：

1、de 10 2018 222 712 a1描述了一种用于电容压力传感器装置的微机械构件，其具有悬挂在膜上的促动器电极和固定在微机械构件的壳体中的定子电极，其中，促动器电极和定子电极能够如此电接触，使得能够量取关于在促动器电极和定子电极之间施加的电压或电容的测量信号。此外，de 10 2018 222 712a1的微机械构件构造有至少一个对应电极和至少一个配属的参考对应电极，它们能够如此电接触，使得也能够量取关于在至少一个对应电极和至少一个配属的参考对应电极之间施加的电压或电容的参考信号。

技术实现思路

1、本发明实现一种用于传感器和/或麦克风装置的微机械构件，以及一种用于传感器和/或麦克风装置的微机械构件的制造方法。

2、本发明提出一种用于传感器和/或麦克风装置的微机械构件，具有壳体结构；相对于所述壳体结构可调节的第一促动器电极，所述第一促动器电极通过至少一个第一悬挂结构悬挂在至少区域地可变形的第一层上；固定在所述壳体结构上和/或所述壳体结构中的第一定子电极，所述第一定子电极能够与第一促动器电极电接触，使得能够量取关于在所述第一促动器电极和所述第一定子电极之间施加的第一电压或电容的第一测量信号；和第二促动器电极，所述第二促动器电极能够与所述第一定子电极和/或固定在所述壳体结构上和/或所述壳体结构中的第二定子电极电接触，使得能够量取关于在所述第二促动器电极和所述第一定子电极之间或在所述第二促动器电极和所述第二定子电极之间施加的第二电压或电容的第二测量信号；其中，所述第二促动器电极相对于所述壳体结构可调节地布置在所述第一促动器电极的远离所述第一层指向的一侧上，其方式是，所述第二促动器电极通过至少一个第二悬挂结构悬挂在所述第一促动器电极上和/或在至少区域地可变形的第二层上，所述第二层位于所述第二促动器电极的远离所述第一促动器电极指向的一侧上。

3、本发明还提出一种用于传感器和/或麦克风装置的微机械构件的制造方法，具有以下步骤：将第一促动器电极通过至少一个第一悬挂结构悬挂在至少区域地可变形的第一层上，使得所述第一促动器电极相对于所述壳体结构能够调节；将第一定子电极固定在所述壳体结构上和/或所述壳体结构中；构造用于所述第一促动器电极和所述第一定子电极的第一电接触部，使得能够量取关于在所述第一促动器电极和所述第一定子电极之间施加的第一电压或电容的第一测量信号；和构造用于第二促动器电极和所述第一定子电极或固定在所述壳体结构上和/或所述壳体结构中的第二定子电极的第二电接触部，使得能够量取关于在所述第二促动器电极和所述第一定子电极之间或在所述第二促动器电极和所述第二定子电极之间施加的第二电压或电容的第二测量信号；其中，所述方法具有以下步骤：将所述第二促动器电极布置在所述第一促动器电极的远离所述第一层指向的一侧上，其方式是，将所述第二促动器电极通过至少一个第二悬挂结构悬挂在所述第一促动器电极上和/或在至少区域地可变形的第二层上，使得所述第二促动器电极相对于所述壳体结构能够调节，所述第二层位于所述第二促动器电极的远离所述第一促动器电极指向的一侧上。

4、本发明实现一种微机械构件，该微机械构件由于其构型分别不但能够使用悬挂在至少区域地可变形的第一层上的第一促动器电极，而且可以使用悬挂在第一促动器电极和/或至少区域地可变形的第二层上的第二促动器电极，用于多个不同的压力传感器变型。在此，本发明尤其实现一种功能层设计或者说相应的制造过程，在该制造过程中，近似相同的层结构能够用于不同的压力传感器变型。因此，本发明不但可以用于开发新的传感器和/或麦克风装置，而且也有助于简化和降低在制造广泛的传感器和/或麦克风装置时的成本。

5、借助本发明实现的传感器和/或麦克风装置例如可以是麦克风、多功能传感器、压力和/或加速度传感器、压差传感器、多重压力传感器、差分电容传感器(具有两个可变电容)和全差分电容传感器(具有四个可变电容)。因此，本发明能够在多方面使用。

6、在微机械构件的一个有利的实施方式中，第一层具有第一抗弯刚度，该抗弯刚度与第二层的第二抗弯刚度不同。因此，包括第一层、第一促动器电极和第一定子电极的第一探测单元的第一特性曲线和包括第二层、第二促动器电极和第一/第二定子电极的第二探测单元的第二特性曲线也可以彼此不同。微机械构件的在此所描述的实施方式例如可以用于借助第一探测单元和第二探测单元的不同特性曲线来测量不同的压力范围。

7、在微机械构件的另一有利的实施方式中，至少一个第一悬挂结构机械地附接在至少一个第二悬挂结构上，使得第一层与第二层导电或电绝缘地耦合或连接。选择式地，至少一个第一悬挂结构可以(机械地)接触/碰触对应配属的第二悬挂结构，或至少一个第一悬挂结构可以通过各一个绝缘区域固定在对应配属的第二悬挂结构上。这提高了微机械构件的在此所描述的实施方式的可使用性。

8、例如，第一定子电极可以位于第一促动器电极和第一层之间，并且至少一个第一悬挂结构可以通过构造在第一定子电极中的至少一个第一开口延伸，其中，第二促动器电极能够与第二定子电极如此电接触，使得能够量取关于在第二促动器电极和第二定子电极之间施加的第二电压或电容的第二测量信号。因此，微机械构件的在此所描述的实施方式具有如下设计，在该设计中，第一定子电极的布置不损害包括第二层、第二促动器电极和第二定子电极的第二探测单元的功能性。

9、有利地，第二定子电极可以位于第二促动器电极和第二层之间，并且至少一个第二悬挂结构可以通过构造在第二定子电极中的至少一个第二开口延伸。因此，第二定子电极的在此所描述的布置也不损害包括第一层、第一促动器电极和第一定子电极的第一探测单元的功能性。

10、作为另外的优点，微机械构件可以附加地具有固定在壳体结构上和/或在壳体结构中的第三定子电极，该第三定子电极位于第一促动器电极和第二促动器电极之间，其中，第一促动器电极能够与第三定子电极如此电接触，使得能够量取关于在第一促动器电极和第三定子电极之间施加的第三电压或电容的第三测量信号，并且第二促动器电极能够与第三定子电极如此电接触，使得能够量取关于在第二促动器电极和第三定子电极之间施加的第四电压或电容的第四测量信号。因此，微机械构件的在此所描述的有利扩展方案具有如下电极设计，在该电极设计中，第三定子电极不但可以与第一促动器电极而且可以与第二促动器电极共同作用。

11、替代地，第二定子电极可以位于第一促动器电极和第二促动器电极之间。如果不希望在第二促动器电极和第二层之间布置第二定子电极，则这是有利的。

12、在微机械构件的另一有利的实施方式中，第一定子电极位于第一促动器电极和第二促动器电极之间，其中，第二促动器电极能够与第一定子电极如此电接触，使得能够量取关于在第二促动器电极和第一定子电极之间施加的第二电压或电容的第二测量信号。因此，在此所描述的微机械构件具有如下电极设计，在该电极设计中，第一定子电极不但可以与第一促动器电极而且可以与第二促动器电极共同作用。

13、在实施用于传感器和/或麦克风装置的微机械构件的对应制造方法时，也确保上面所描述的优点。对此明确指出的是，该制造方法可以根据上面阐述的微机械构件的实施方式被扩展。