一种气瓶抽真空装置的制作方法

本技术涉及电子特气存储，尤其涉及一种气瓶抽真空装置。

背景技术：

1、电子特气广泛应用于半导体、微电子和相关的太阳能电池等高科技产业，或用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗，或用作载气、保护气氛等等。电子特气的存储一般是采用气瓶存储。为了保证电子特气在气瓶内腔的纯度和可靠性，因此需要先对气瓶内腔进行抽真空，以减少气瓶内腔的空气含量与水分含量。然而目前对于气瓶抽真空的装置并不具有防倒流的措施，若操作人员操作顺序不当或者真空泵突然断电，则容易出现真空泵内的油液顺着管路倒流进入气瓶中。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种气瓶抽真空装置，能够避免真空泵内的油液进入到气瓶内腔。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：一种气瓶抽真空装置，包括真空泵机组、油液截留箱和吸气管路；所述油液截留箱上设置有出气端口和进气端口，所述出气端口管路连接真空泵机组的进气端，所述进气端口位于油液截留箱的顶部，所述进气端口与吸气管路的出气端连接。

3、进一步地，所述吸气管路上设置有第一阀门。

4、进一步地，所述吸气管路包括主气管和多根与主气管连通的分支气管，所述主气管的出气端与油液截留箱的进气端口连通，每个所述分支气管上设置有第二阀门，所述第一阀门设置在主气管上。

5、进一步地，所述油液截留箱上设置有液位计。

6、进一步地，所述油液截留箱设置有排油管，所述排油管上设置有第三阀门。

7、进一步地，所述真空泵机组为至少两台串联的真空泵。

8、进一步地，上述一种气瓶抽真空装置还包括气瓶稳定组件，所述气瓶稳定组件包括固定部，所述固定部上设置有多个第一凹槽。

9、进一步地，所述气瓶稳定组件还包括与固定部铰接的活动部，所述活动部上设置多个第二凹槽，且所述第二凹槽与第一凹槽形成气瓶限位空间。

10、本实用新型的有益效果在于：在真空泵机组的进气端管路连接有油液截留箱的出气端口，然后由油液截留箱的进气端口与吸气管路连接，最后由吸气管路与气瓶连接，并且由于进气端口位于油液截留箱的顶部，因此在真空泵机组的油液发生倒流时，油液会进入到油液截留箱内收集，而不会顺着吸气管路进入到气瓶内腔，进而保证了气瓶内腔的洁净。

技术特征：

1.一种气瓶抽真空装置，其特征在于：包括真空泵机组、油液截留箱和吸气管路；所述油液截留箱上设置有出气端口和进气端口，所述出气端口管路连接真空泵机组的进气端，所述进气端口位于油液截留箱的顶部，所述进气端口与吸气管路的出气端连接。

2.根据权利要求1所述气瓶抽真空装置，其特征在于：所述吸气管路上设置有第一阀门。

3.根据权利要求2所述气瓶抽真空装置，其特征在于：所述吸气管路包括主气管和多根与主气管连通的分支气管，所述主气管的出气端与油液截留箱的进气端口连通，每个所述分支气管上设置有第二阀门，所述第一阀门设置在主气管上。

4.根据权利要求1所述气瓶抽真空装置，其特征在于：所述油液截留箱上设置有液位计。

5.根据权利要求1或4所述气瓶抽真空装置，其特征在于：所述油液截留箱上设置有排油管，所述排油管上设置有第三阀门。

6.根据权利要求1所述气瓶抽真空装置，其特征在于：所述真空泵机组为至少两台串联的真空泵。

7.根据权利要求1所述气瓶抽真空装置，其特征在于：还包括气瓶稳定组件，所述气瓶稳定组件包括固定部，所述固定部上设置有多个第一凹槽。

8.根据权利要求7所述气瓶抽真空装置，其特征在于：所述气瓶稳定组件还包括与固定部铰接的活动部，所述活动部上设置多个第二凹槽，且所述第二凹槽与第一凹槽形成气瓶限位空间。

技术总结本技术涉及电子特气存储技术领域，具体涉及一种气瓶抽真空装置，包括真空泵机组、油液截留箱和吸气管路；所述油液截留箱上设置有出气端口和进气端口，所述出气端口管路连接真空泵机组的进气端，所述进气端口位于油液截留箱的顶部，所述进气端口与吸气管路的出气端连接。本技术在真空泵机组的进气端管路连接有油液截留箱的出气端口，然后由油液截留箱的进气端口与吸气管路连接，最后由吸气管路与气瓶连接，并且由于进气端口位于油液截留箱的顶部，因此在真空泵机组的油液发生倒流时，油液会进入到油液截留箱内收集，而不会顺着吸气管路进入到气瓶内腔，进而保证了气瓶内腔的洁净。技术研发人员：杜文东,唐忠福,李智受保护的技术使用者：福建福豆新材料有限公司技术研发日：20231220技术公布日：2024/7/18