一种用于延长Susceptor加热基座使用寿命的连接机构的制作方法

本发明涉及susceptor加热基座，具体为一种用于延长susceptor加热基座使用寿命的连接机构。

背景技术：

1、susceptor(加热基座，简称susc)是cvd相关设备中最重要的设备之一，其基准面是直接与液晶玻璃基板接触，对其进行加热，由于工艺要求精度很高，所以对基准面的加工精度要求也很高。基准面相对的背面与cvd腔室底部接触贴合，且有多处用于安装定位的pin孔位置。在强压、恒定温度条件下输入高频电压将气体源电离，形成等离子体，在基板表面发生化学气相沉积反应，生长出各种功能的薄膜。在频繁的使用中，容易产生离子态和大量的尘埃粒子，污染cvd腔室环境，造成产品成膜众多不良，若出现类似不良必须进行再生处理。因此需要在产品表面做耐高温、耐腐蚀、耐摩擦、绝缘性的阳极氧化膜，通过定期的更新膜层，提供优良的成膜环境和增加腔体的使用寿命。

2、susceptor加热基座使用过一段时间后需要下机保养，清洗再生。过程中会伴随着随着susceptor加热基座背面的roller-bushing孔径数据的不断增加，由于susceptor加热基座背面的配套陶瓷的尺寸是固定的，会引起适配陶瓷发生左右晃动现象，susceptor加热基座使用过程中发生破碎现象，需要更换新的susceptor，产生昂贵的价值损失。且当susceptor加热基座背面的roller-bushing孔径数据的不断增加后，susceptor加热基座将不能再复机使用，susceptor加热基座的使用寿命受到限制。为此，我们推出一种用于延长susceptor加热基座使用寿命的连接机构。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种用于延长susceptor加热基座使用寿命的连接机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于延长susceptor加热基座使用寿命的连接机构，包括加热基座、固定柱以及加热基座背面安装的陶瓷板，所述加热基座背面设有若干组开孔，所述陶瓷板上设有若干组与开孔对应的通孔，所述固定柱的上端中部依次设有直径逐渐减小的第一插接柱和第二插接柱，所述第一插接柱和第二插接柱分别插入至通孔和开孔内；

3、所述固定柱和第一插接柱的连接处外侧设有法兰座，第一插接柱外侧套接有上下分布且互相连通的第一气囊圈和第二气囊圈；

4、所述第二插接柱上套接有上下分布的支撑环座和转动环座，且支撑环座内侧对称的两组定位凸起滑接在第二插接柱外侧壁对应的竖直槽内，所述第二插接柱上部对称连接的两组抵靠板伸入至转动环座下端对应的开槽内；

5、所述支撑环座坐落在第一气囊圈上端，所述转动环座坐落在支撑环座上端的四组支撑弹簧上，使得转动环座下端对称连接的两组支柱抵靠在支撑环座上端对应的斜块上，所述转动环座外侧套接有张紧气囊圈；

6、在法兰座通过螺栓固定在陶瓷板下端时，第二气囊圈受到压力用于给第一气囊圈充气，使得第一气囊圈膨胀张紧在开孔下部，且第一气囊圈膨胀后推动支撑环座顺着第二插接柱上移，从而使得支柱顺着斜块下滑，实现转动环座的转动；

7、在转动环座转动时，抵靠板推动开槽内的气缸机构对张紧气囊圈充气，从而使得张紧气囊圈膨胀张紧在开孔上部。

8、优选的，所述法兰座上端设有用于放置第二气囊圈的环状放置槽，所述第一插接柱的两侧设有竖直容纳槽，所述第一气囊圈和第二气囊圈之间通过第一管道连通，且第一管道设置于竖直容纳槽内部。

9、优选的，所述固定柱、第一插接柱、第二插接柱和法兰座为一体成型设置。

10、优选的，所述转动环座外侧设有用于套接张紧气囊圈的环状卡槽，所述气缸机构的出气口通过内置于转动环座内部的第二管道连接于张紧气囊圈。

11、优选的，所述气缸机构包括固定在开槽侧壁上的气缸体、气缸体内部设置的活塞以及活塞中部连接的活塞杆，活塞杆伸出气缸体后抵靠着对应的抵靠板侧边，所述第二管道连接于气缸体的出气口。

12、优选的，所述活塞杆包括固定在活塞中部的连接筒以及连接筒内部螺接的螺杆，螺杆另一端伸出连接筒后抵靠着对应的抵靠板侧边。

13、与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明在法兰座通过螺栓固定在陶瓷板下端时，第二气囊圈受到压力用于给第一气囊圈充气，使得第一气囊圈膨胀张紧在开孔下部，且第一气囊圈膨胀后推动支撑环座顺着第二插接柱上移，从而使得支柱顺着斜块下滑，实现转动环座的转动；在转动环座转动时，抵靠板推动开槽内的气缸机构对张紧气囊圈充气，从而使得张紧气囊圈膨胀张紧在开孔上部。这样在第一气囊圈膨胀张紧在开孔下部以及张紧气囊圈膨胀后张紧在开孔内部后，实现固定柱上的第二插接柱和加热基座上的开孔连接的牢固性，陶瓷板紧固在加热基座背面，固定柱和陶瓷板不会出现晃动，加热基座使用过程不会出现玻璃破碎异常现象；

14、由于在开孔孔径变大后，仍可使得张紧气囊圈膨胀后张紧在开孔内部，不需要改变陶瓷板的尺寸就能实现陶瓷板和加热基座的连接固定，加热基座使用寿命可延长，再生次数增加一倍。

技术特征：

1.一种用于延长susceptor加热基座使用寿命的连接机构，包括加热基座、固定柱以及加热基座背面安装的陶瓷板，其特征在于：所述加热基座背面设有若干组开孔，所述陶瓷板上设有若干组与开孔对应的通孔，所述固定柱的上端中部依次设有直径逐渐减小的第一插接柱和第二插接柱，所述第一插接柱和第二插接柱分别插入至通孔和开孔内；

2.根据权利要求1所述的一种用于延长susceptor加热基座使用寿命的连接机构，其特征在于：所述法兰座上端设有用于放置第二气囊圈的环状放置槽，所述第一插接柱的两侧设有竖直容纳槽，所述第一气囊圈和第二气囊圈之间通过第一管道连通，且第一管道设置于竖直容纳槽内部。

3.根据权利要求1所述的一种用于延长susceptor加热基座使用寿命的连接机构，其特征在于：所述固定柱、第一插接柱、第二插接柱和法兰座为一体成型设置。

4.根据权利要求1所述的一种用于延长susceptor加热基座使用寿命的连接机构，其特征在于：所述转动环座外侧设有用于套接张紧气囊圈的环状卡槽，所述气缸机构的出气口通过内置于转动环座内部的第二管道连接于张紧气囊圈。

5.根据权利要求4所述的一种用于延长susceptor加热基座使用寿命的连接机构，其特征在于：所述气缸机构包括固定在开槽侧壁上的气缸体、气缸体内部设置的活塞以及活塞中部连接的活塞杆，活塞杆伸出气缸体后抵靠着对应的抵靠板侧边，所述第二管道连接于气缸体的出气口。

6.根据权利要求5所述的一种用于延长susceptor加热基座使用寿命的连接机构，其特征在于：所述活塞杆包括固定在活塞中部的连接筒以及连接筒内部螺接的螺杆，螺杆另一端伸出连接筒后抵靠着对应的抵靠板侧边。

技术总结本发明涉及Susceptor加热基座技术领域，且公开了一种用于延长Susceptor加热基座使用寿命的连接机构，包括加热基座、固定柱以及加热基座背面安装的陶瓷板，在法兰座通过螺栓固定在陶瓷板下端时，第二气囊圈受到压力用于给第一气囊圈充气，使得第一气囊圈膨胀张紧在开孔下部，第一气囊圈膨胀后推动支撑环座顺着第二插接柱上移，使得支柱顺着斜块下滑，实现转动环座的转动；在转动环座转动时，抵靠板推动开槽内的气缸机构对张紧气囊圈充气，从而使得张紧气囊圈膨胀张紧在开孔上部。本发明螺栓锁紧后，即可实现固定柱上的第二插接柱和加热基座上的开孔连接的牢固性，陶瓷板紧固在加热基座背面，固定柱和陶瓷板不会出现晃动，加热基座使用过程不会出现玻璃破碎异常现象。技术研发人员：杨洲,吴镐武受保护的技术使用者：苏州外延世电子材料有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/23