一种高刚性坩埚传动结构的制作方法

本技术涉及晶体材料制备，具体涉及一种高刚性坩埚传动结构。

背景技术：

1、单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。坩埚传动结构是单晶炉必不可少的组成部分，起着支撑坩埚并实现坩埚旋转的作用。现有坩埚传动结构，其支撑部分多采用斜撑的方式，结构的刚性难以保证，且磁流体位置设置较高，会使得坩埚的运动不平稳，造成生产过程中液面抖动等问题。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种高刚性坩埚传动结构，整体结构紧凑，磁流体下沉到支撑座内部，使得承载面上移，从而使得坩埚轴的稳定性提高，同时坩埚支座采用方管整体焊接的方式，加大了方管尺寸，缩短了传动中心距离，无需依靠斜撑等结构，使得整体刚性更强。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高刚性坩埚传动结构，包括坩埚支座、坩埚轴、焊接波纹管、磁流体、坩埚旋转组件和坩埚升降组件，所述坩埚轴通过支撑座固定，所述磁流体设置于支撑座下方，磁流体上端面与支撑座固定；所述坩埚支座包括方管和底座，所述方管和底座呈l型设置。

3、作为一种优选，所述坩埚旋转组件包括电机减速机ⅰ、同步带和带轮，通过电机减速机ⅰ带动带轮从而实现坩埚旋转。

4、作为一种优选，所述坩埚升降组件包括电机减速机ⅱ、丝杆和导轨，丝杆上部通过轴承座与坩埚支座固定，丝杆上设有丝杆螺母，所述丝杆螺母与支撑座连接，通过电机减速机ⅱ驱动丝杆旋转，带动丝杆螺母与支撑座上下升降运动。

5、作为进一步的改进，还设有冷却组件。

6、作为进一步的改进，所述磁流体外设有密封件。

7、作为一种优选，所述坩埚支座一体式焊接而成。

8、本实用新型的有益效果：

9、1、磁流体下沉到支撑座内部，磁流体上端面与支撑座固定，承载中心上移，坩埚轴稳定性提高；

10、2、坩埚支座采用方管整体焊接的方式，整体刚性更强；

11、3、采用高刚性坩埚升降装置，通过大扭矩伺服电机驱动，其传动链非常短，系统的刚性高，可以确保系统的传动精度；

12、4、可以降低坩埚部件5％-10％的制造成本；

13、5、提高了坩埚升降的运动精度。

技术特征：

1.一种高刚性坩埚传动结构，包括坩埚支座(4)、坩埚轴(5)、焊接波纹管(6)、磁流体(7)、坩埚旋转组件(9)和坩埚升降组件(10)，其特征在于：所述坩埚轴(5)通过支撑座(8)固定，所述磁流体(7)设置于支撑座(8)下方，磁流体(7)上端面与支撑座(8)固定；所述坩埚支座(4)包括方管(14)和底座(15)，所述方管(14)和底座(15)呈l型设置。

2.如权利要求1所述的一种高刚性坩埚传动结构，其特征在于：所述坩埚旋转组件(9)包括电机减速机ⅰ(12)、同步带(13)和带轮，通过电机减速机ⅰ(12)带动带轮从而实现坩埚旋转。

3.如权利要求1所述的一种高刚性坩埚传动结构，其特征在于：所述坩埚升降组件(10)包括电机减速机ⅱ、丝杆(2)和导轨(3)，所述丝杆(2)上部通过轴承座(1)与坩埚支座(4)固定，丝杆(2)上设有丝杆螺母，所述丝杆螺母与支撑座(8)连接，通过电机减速机ⅱ驱动丝杆(2)旋转，带动丝杆螺母与支撑座(8)上下升降运动。

4.如权利要求1至3任一所述的一种高刚性坩埚传动结构，其特征在于：还设有冷却组件(11)。

5.如权利要求1所述的一种高刚性坩埚传动结构，其特征在于：所述磁流体(7)外设有密封件。

6.如权利要求1所述的一种高刚性坩埚传动结构，其特征在于：所述坩埚支座(4)一体式焊接而成。

技术总结本技术公开了一种高刚性坩埚传动结构，包括坩埚支座、坩埚轴、焊接波纹管、磁流体、坩埚旋转组件和坩埚升降组件，所述坩埚轴通过支撑座固定，所述磁流体设置于支撑座下方，磁流体上端面与支撑座固定；所述坩埚支座包括方管和底座，所述方管和底座呈L型设置。本技术整体结构紧凑，磁流体下沉到支撑座内部，使得承载面上移，从而使得坩埚轴的稳定性提高，同时坩埚支座采用方管整体焊接的方式，加大了方管尺寸，缩短了传动中心距离，无需依靠斜撑等结构，使得整体刚性更强。技术研发人员：周波受保护的技术使用者：浙江晶阳机电股份有限公司技术研发日：20231221技术公布日：2024/7/25