红外探测器用多工位真空排气装置的制作方法

专利名称：红外探测器用多工位真空排气装置的制作方法技术领域：本专利涉及一种真空装置，具体指一种红外探测器用多工位真空排气装置。背景技术：航天应用红外探测器的可靠性要求高，在探测器的生产研制过程中，需要对产品进行测试、试验等一些了的操作，在这些过程中，均需要给红外探测器提供真空环境，一般的，红外探测器置于杜瓦中来获得真空环境，而杜瓦真空的获得则是由排气装置来实现。在目前应用于红外探测器排气的装置中，主要是采用单个或几个工位的排气台手动进行排气，排气效率低，各工位间的排气进程相互影响，设备自适应能力差。本专利提供了一种新型的用于红外探测器的多工位排气装置，解决了目前存在的问题，可以多达20个工位同时排气，各工位间互不干涉，且可以实现自动化智能排气。发明内容基于上述研究红外探测器寿命试验的困难，本专利公开了一种红外探测器用多工位真空排气装置，其包括主腔体、主腔体密封阀、杜瓦密封阀、分子泵、插板阀、旁抽阀、机械泵、前级阀，其特征在于红外探测器用真空排气装置结构简单、易于拆装、工位数目多、真空度能达到一个较高的水平、主腔体与工位的压强差小、装置选用的所有阀门和泵组均可进行自动化控制。其中:所述的主腔体是一个圆饼状的腔体，其上表面的圆周上均匀分布多个法兰外接接头，同时主腔体下底面有多个外接接头；所述的主腔体密封阀(2)、插板阀(4)、旁抽阀(5)及前级阀(7)为超高真空气动阀；所述的装置的密封形式均为金属密封，其中，仅VCR拆卸处采用镍圈密封，其余的接口处均采用无氧铜圈密封；主腔体作为整个真空排气装置的公共真空室，其上表面的圆周上均匀分布多个外接法兰接头G将公共室分为多个分支。其中I个分支为测量工位，法兰接头后安装真空计。其余为排气工位，每一个法兰接头后一个主腔体密封阀ZX、一个柔性转接头CX，其中CX带有VCR快速拆装接头，可与待排杜瓦进行对接。主腔体的排气采用分子泵为主泵，机械泵为前级泵的方式实现，主腔体公共真空室与泵组间有两个排气通道:1、旁抽通道:旁抽阀连通主腔体至机械泵，旁通阀的一端与主腔体下底面法兰A对接，旁通阀的另一端与机械泵进气口处的三通的C法兰对接；构成真空装置的旁抽通道；2、主抽通道:插板阀连通主腔体至分子泵进气口，插板阀的一端与主腔体的B法兰接头对接，插板阀的另一端与分子泵进气口 D法兰接头对接；然后前级阀连通分子泵排气口至机械泵，前级阀的一端与分子泵出气口 E法兰对接，前级阀的另一端与机械泵进气口处的三通的F法兰对接；本专利 的最大优点是:红外探测器用真空排气装置结构简单、易于拆装，工位数目多，真空度能达到一个较高的水平、主腔体与工位的压强差小、装置选用的所有阀门和泵组均可进行自动化控制。图1为本专利的俯视图。图2本专利的前视图。图中标号说明:1、柔性转接头CX ;2、主腔体密封阀ZX ;3、主腔体；4、真空计；5、插板阀；6、旁抽阀；7、前级阀；8、分子泵；9、机械泵；具体实施方式以下结合附图1、2，对本专利的具体实施方式作进一步的详细说明:其中，主腔体密封阀、前级阀、旁抽阀为VAT的高真空气动阀门GE11，分子泵采用的是美国Agilent的润轮分子泵泵TV551,插板阀采用沈阳科仪超高真空插板阀CCQ-J,机械泵采用美国Agilent的干泵TRISCR0LL300，真空计采用美国Agilent的一体式全量程规FRG700。柔性转接头CX为CF35转VCR3/8柔性接头，A、C、G法兰为CF35法兰，B、D法兰为CF100，法兰为CF35法兰，E、F法兰为KF25法兰。排气装置中主腔体作为整个真空排气装置的公共真空室，其圆周上均匀分布21个G法兰外接接头将公共室分为21个分支。其中I个分支为测量工位，接头后安装真空计FRG700。其余20个分支为排气工位，每一个接头后一个主腔体密封阀ZX、一个柔性转接头CX，其中CX的VCR3/8为快速拆装接头，可与待排杜瓦进行对接。以主腔体为参照物，自内而外分布的有:1、圆形主腔体，腔体圆周上均匀分布21个G法兰外接接头；2、主腔体密封阀ZX和真空计，前者数目20个，后者数目为I个，一端与G法兰外接接头，另一端与柔性转接头CX的CF35法兰端对 接 ，-密封圈为无氧铜片；3、柔性转接头CX，数目20个，其为CF35-VCR3/8柔性波纹管，它的一端与主腔体G外接接头，密封圈为无氧铜片，另一端带有VCR快速拆装接头，可与待排杜瓦进行对接；以主腔体为参照物，自上而下分布的分别有两个排气通道:1、旁抽通道:旁抽阀连通主腔体至机械泵，旁通阀的一端与主腔体下底面法兰A对接，旁通阀的另一端与机械泵进气口处的三通的C法兰对接；构成真空装置的旁抽通道；2、主抽通道:插板阀连通主腔体至分子泵进气口，插板阀的一端与主腔体的B法兰接头对接，插板阀的另一端与分子泵进气口 D法兰接头对接；然后前级阀连通分子泵排气口至机械泵，前级阀的一端与分子泵出气口 E法兰对接，前级阀的另一端与机械泵进气口处的三通的F法兰对接。权利要求1.一种红外探测器用多工位真空排气装置，其包括主腔体(I)、主腔体密封阀(2)、分子泵(3)、插板阀(4)、旁抽阀(5)、机械泵(6)和前级阀(7)，其特征在于: 所述的主腔体(I)是一个圆饼状的腔体，其圆周上均匀分布多个个法兰外接接头，同时主腔体下底面有多个法兰外接接头； 所述的主腔体密封阀(2)、插板阀(4)、旁抽阀(5)及前级阀(7)为超高真空气动阀；所述的装置的密封形式均为金属密封，其中，仅VCR拆卸处采用镍圈密封，其余的接口处均采用无氧铜圈密封； 主腔体(I)作为整个真空排气装置的公共真空室，其圆周上均匀分布多个外接接头将公共室分为多个分支，其中I个分支为测量工位，其余分支为排气工位；每个分支排气工位后均有一个主腔体密封阀ZX (2)和一个柔性转接头CX，其中CX带有为VCR快速拆装接头，可与待排杜瓦进行对接；主腔体公共真空室与泵组间有两个排气通道:其一为旁抽通道，旁抽阀(5)连通主腔体至机械泵(6) ;其一为主抽通道，插板阀(4)连通主腔体至分子泵(3 )，然后前级阀(7 )连通分子泵至机械泵。专利摘要本专利公开了一种红外探测器用多工位真空排气装置，其包括主腔体、主腔体密封阀、分子泵、插板阀、旁抽阀、机械泵及前级阀。主腔体为整个真空排气装置的公共真空室，其圆周上分布多个外接接头，将公共室分为多个排气支路。主腔体公共真空室与泵组间有两个排气通道。所有阀门均为超高真空气动阀。装置的密封形式均为金属密封。该红外探测器用真空排气装置结构简单、易于拆装、工位数目多、真空度能达到较高水平、主腔体与工位的压强差小、选用的所有阀门和泵组均可自动化控制。文档编号F04B41/00GK203130430SQ20132005794公开日2013年8月14日 申请日期2013年1月31日 优先权日2013年1月31日发明者曹岚, 张海燕, 朱宪亮, 庄馥隆, 陆华杰, 龚海梅 申请人:中国科学院上海技术物理研究所