使用了导电性高分子的流体运送装置的制作方法

专利名称：使用了导电性高分子的流体运送装置的制作方法技术领域：本发明特别涉及在燃料电池中的甲醇等燃料的供给装置、或用于对包括CPU的 电子设备进行冷却的水冷循环装置等中使用的、进行流体的吸入和喷出的使用了导电性 高分子的流体运送装置。背景技术：对作为运送水等流体的装置的泵的开发在不断进展，其开发目的在于，向用于 将以CPU为代表的发热元件的冷却用液体的运送、血液向血液检查用芯片的运送、对人 体的微量用药、化学实验或化学操作小型化集成化而进行的Lab on achip (芯片实验室)、 或燃料电池中进行甲醇等燃料的供给等。在这些用途中，要求小型化、轻量化、低电压 化、及静音化等。为了响应该要求，例如提出了使用导电性高分子膜的泵(例如专利文 献1)。使用了导电性高分子膜的致动器，通常其特征在于，量轻且可以在低电压下进行 静音动作。图48A 图48C示出专利文献1中提出的隔膜(diaphragm)式泵的结构。图48A的泵在框体402的内侧分别具有由导电性高分子膜形成的隔膜403、 404。将隔膜403定义为第一隔膜，同时将隔膜404定义为第二隔膜。框体402为圆筒 形状，且具有内部空间。第一及第二隔膜403和404分别是圆板状的导电高分子膜，各 自的周边部在固定部分430和431处被框体402分别固定。另外，第一及第二隔膜403、 404在各自的中央部分通过连接构件406相互连接。如此，第一及第二隔膜403、404分 别被设置成在膜面方向上施加张力的状态，分别成为圆锥状的形状。现在，由第一及第 二隔膜403、404及框体402围成的环状空间部409被定义为电解液室。电解液室中充满 电解液。第一及第二隔膜403、404分别借助导线410a、410b与电源410c连接。分别 向第一及第二隔膜403、404施加相互反相的电压，由此第一及第二隔膜403、404各自的 导电性高分子膜进行伸缩运动。现在，将由框体402和第一隔膜403围成的第一空间部 分407称为第一泵室，将由框体402和第二隔膜404围成的第二空间部分408称为第二泵 室。对于图48A所示的状态，是第一隔膜403伸展而第二隔膜404收缩的状态。在该状 态下，将第一泵室407的外部的液体从具备第一吸入阀412的第一吸入口 411a吸入到第一 泵室407的内部，将第二泵室408的内部的液体从具备第二喷出阀424的第二喷出口 413b 喷到外部。另外，相反，在第一隔膜403收缩而第二隔膜404伸展的状态下，将第二泵 室408的外部的液体从具备第二吸入阀423的第二吸入口 411b吸入到第二泵室408的内 部，将第一泵室407的内部的液体从具备第一喷出阀422的第一喷出口 413a喷到第一泵室 407的外部。通过连续进行这些状态的切换，反复进行第一泵室407及第二泵室408的体 积的增减，与此相对应反复进行各泵室的液体的吸入和喷出。由此，实现泵的功能。在 第一及第二隔膜403、404已松弛的状态下，导电性高分子膜的电解伸缩的力不会传到泵 室内部的流体而消去，所以泵的动作效率降低。因此，有必要使第一隔膜403及第二隔 膜404分别为不松弛而是紧张的状态，在图48A的泵中，通过使电解液室409的内部的电解液的压力小于第一泵室内部的流体及第二泵室内部的流体的压力，可以使第一隔膜403 及第二隔膜404分别为不松弛而是紧张的状态。另外，图48B的泵是与图48A的泵大致相同的构成，但在没有连接构件406方面 是不同的。在本构成中，借助在空间部409充满的电解液，第一及第二隔膜403和404受 到力的作用。由此，进行与图48A相同的动作。在图48B的泵中，通过使电解液室409 的内部的电解液的压力大于或小于第一泵室内部的流体及第二泵室内部的流体的压力， 可以使第一隔膜403及第二隔膜404为不松弛而是紧张的状态。另外，图48C的泵在框体402的内侧仅具备1个由导电性高分子膜形成的隔膜 403。框体402为圆筒形状，且具有内部空间。隔膜403是圆板状的导电性高分子膜， 其周边部在固定部分430被固定在框体402上。另外，隔膜403和框体402由弹簧构件 451连接。隔膜403被设置成在膜面方向上施加张力的状态，是圆锥状的形状。在图48C 中，将位于隔膜403的下方且由隔膜403和框体402包围的空间部409定义为电解液室。 电解液室409中充满电解液。隔膜403和电极450分别借助导线410a、410b与电源410c 连接。将由隔膜403和框体402围成的空间部分407定义为泵室。通过向隔膜403和电 极450施加相互反相的电压，隔膜403的导电性高分子膜进行伸缩运动。就图48C所示 的状态而言，是在隔膜403伸展后的状态。在该状态下，将泵室407的外部的液体从具 备吸入阀412的吸入口 411吸入到泵室407的内部。另外，相反，在隔膜403已收缩的 状态下，将泵室407的内部的液体从具备喷出阀422的喷出口 413喷到泵室407的外部。 通过连续进行这些状态的切换，泵室407的体积反复增减，与此相对应反复进行液体的 吸入和喷出。由此，发挥泵的功能。专利文献1 特开2005-207406号公报以前述专利文献1的泵为代表的使用了导电性高分子膜的泵，通过在泵的动作 时隔膜的张力发生很大变化，由此存在泵的动作效率降低的问题。在这里，隔膜的张力 的变化有以下的两个变化。首先，第一个变化是在泵动作时通过导电性高分子膜的周期 性电解伸缩而产生的隔膜的张力变化。第二个变化是因为周期性电解伸缩以外的原因在 导电性高分子膜产生了伸缩时产生的张力变化。以下依次对其进行说明。首先，对在泵动作时因导电性高分子膜的周期性电解伸缩而产生的隔膜的张力 变化、和该变化所致的泵动作效率的降低进行说明。通常，导电性高分子膜的伸缩量与出入导电性高分子膜的电荷的量大致成比 例。现在，其关系在于，在某些量的电荷流入第一隔膜403的情况下，相同量的电荷从 第二隔膜404流出。此时，第一隔膜403伸展而第二隔膜404收缩，但根据前述的内容， 可知成为第一隔膜403的伸展量和第二隔膜404的收缩量大致相等的关系。即，第一隔 膜403的面积的变化量和第二隔膜404的面积的变化量成为符号相反且绝对值大致相等的 关系。由此，第一隔膜403和第二隔膜404的总面积大致保持恒定。相反，在某些量的 电荷从第一隔膜403流出，电荷流入第二隔膜404的情况下，同样的关系成立。综上， 在图48B的泵动作时，第一隔膜403和第二隔膜404的总面积大致保持恒定。在图48B的泵的动作时，在假定为第一隔膜403不松弛而是紧张的状态的基础 上，第一隔膜403的面积和第一泵室的体积的关系通常为非线形的关系。即，关于表示 第一隔膜403的面积和第一泵室407的体积的关系的曲线图，通常成为上凸的形状或下凸的形状。图51A示出关于第一隔膜403的面积和第一泵室407的体积的关系的曲线图， 其形状为上凸的情况的例子。另外，相反，图51B示出关于第一隔膜403的面积和第一 泵室407的体积的关系的曲线图，其形状为下凸的情况的例子。在这里，第一隔膜403 的面积为S1,将此时的第一泵室407的体积设为W1,第二隔膜404的面积为S2,将此时 的第二泵室408的体积设为W2,将第一隔膜403的面积和第二隔膜404的面积相等时各 自的面积设为Stl，将此时的第一泵室407的体积和第二泵室408的体积分别设为W。。在图51A的关系成立时，如果假定在泵的动作时为第一隔膜403及第二隔膜404 不松弛而是紧张的状态，第一隔膜403的面积和第一泵室407及第二泵室408及它们的总 计部分的体积(WfW2)的关系被示于图51C中。另外，在图51B的关系成立时，如果 假定在泵的动作时为第一隔膜403及第二隔膜404不松弛而是紧张的状态，第一隔膜403 的面积和第一泵室407及第二泵室408及它们的总计部分的体积(WJW2)的关系示于图 51D中。其中，将第一隔膜403的面积和第二隔膜404的面积相等时它们的值设为S。。 另外，在如前所述泵动作时，第一隔膜403的面积的变化量和第二隔膜404的面积的变化 量为符号相反且绝对值大致相等的关系，所以第一隔膜403的面积和第二隔膜404的面积 的总量保持大致恒定。此时，在存在S2-Stl = Stl-S1的关系的情况下，当第一隔膜403的 面积为S1时，第二隔膜404的面积成为S2,相反，当第二隔膜404的面积SS1时，第一 隔膜403的面积成为S2。如图51D所示，第一隔膜403的面积、和第一泵室407及第二 泵室408的总体积的关系的曲线图，成为以“表示(第一隔膜的面积)=Stl的关系的直 线”为对称轴的左右对称的形状。另外，第一泵室407及第二泵室408的总体积(WfW2) 在第一隔膜403的面积=Stl时采用极大值或极小值。在图51C中，在第一隔膜403的面 积=Stl时采用极大值，在图51D中，在第一隔膜403的面积=Stl时采用极小值。在任 何情况下，随着第一隔膜403及第二隔膜404的面积变化，第一泵室407的体积及第二泵 室408的体积的总和不成为恒定值，而是发生变化。现在，作为在某状态下第一隔膜403及第二隔膜404未松弛而是紧张的泵，如 果考虑以第一隔膜403及第二隔膜404不松弛而是紧张的状态由此进行了变形的情况， 第一泵室407的体积和第二泵室408的体积的总和(WJW2)减少或增加。如果将框体 402的内部的体积设为Wt，电解液室409的体积成为从Wt减去第一泵室407及第二泵室 408的总体积(WJW2)得到的值{Wt_ (WJW2) }。由此，对应于第一泵室407及第二泵 室408的总体积(WfW2)的减少/增加，电解液室409的体积增加或减少。在电解液室 409的体积增加的情况下，在电解液室409内充满的电解液是非压缩性流体，电解液的压 力急剧减少。通过该压力变化，第一泵室内部的流体的压力和电解液的压力的平衡急剧 变化，第一隔膜403在从第一泵室407向电解液室408的方向上被强力按压。另外，第 二隔膜404在从第二泵室408向电解液室409的方向上被强力按压。所以，第一隔膜403 及第二隔膜404的张力变得非常大，第一隔膜403及第二隔膜404的动作遭到妨碍。作 为结果，泵的喷出量及吸入量成为非常小的值，泵的动作效率降低。相反，在电解液室409的体积减少的情况下，电解液的压力急剧增加。如前所 述，在图48B的泵中，为了保持隔膜不松弛而是紧张的状态，有必要保持所谓电解液的 压力小于泵室内部的流体的压力的关系。但是，在随着电解液室409的体积的减少而电 解液的压力急剧增加的情况下，无法保持该关系，隔膜松弛。图50B示出图48B所示的泵中导电性高分子膜已松弛(弛缓)的状态。如果关注隔膜403、404的张力，隔膜403、 404已松弛的状态的张力小于隔膜403、404不松弛而是紧张的状态的张力。S卩，在图48B 的泵中，对应于电解液室409的体积变化而电解液的压力急剧变化。其结果，发生隔膜 403、404已松弛的状态、或张力变得非常大而动作遭到妨碍的状态。即便是图48A的泵 也是一样，在其动作中电解液室409的体积发生变化，与此相对应，电解液的压力急剧 变化。其结果，发生隔膜403、404已松弛的状态、或张力变得非常大而动作遭到妨碍的 状态。需要说明的是，在图51C及图51D中，当第一隔膜403的面积为Stl时，第一泵 室407和第二泵室408的总体积的变化小，只要限于该范围，始终可以使其以隔膜403、 404不松弛而是紧张的状态进行动作，这样的范围小，泵的喷出量及吸入量被限制成较小 的值。其结果，泵的动作效率降低。另外，在图48C所示的泵中，为了产生空间407的体积的增加及减少，需要空间 部409的体积减少及增加。现在，空间部409中充满电解液，但由于电解液是非压缩性 流体，所以空间部409的体积大致保持恒定。为此，空间407的体积的变化也被限制在 非常小的范围，所以该泵中的液体的喷出和吸入的量成为非常小的值。现在，假定在图 48C所示的泵动作时，保持隔膜403不松弛的状态。此时，在隔膜403伸展、泵室407 的体积增加、液体被泵室407吸入的动作状态下，电解液室409的体积减少。但是，在 电解液室409的内部充满的电解液是非压缩性流体，所以电解液的压力急剧增加。其结 果，隔膜403在从电解液室409向泵室407的方向上被强力按压，隔膜403的张力成为非 常大的值。由此隔膜403的动作遭到妨碍。另外，相反，在隔膜403收缩、泵室407的 体积减少、液体从泵室407被喷出的动作状态下，电解液室409的体积增加。但是，在 电解液室409的内部充满的电解液是非压缩性流体，所以电解液的压力急剧减少。其结 果，隔膜403在从泵室407向电解液室409的方向上被强力按压，隔膜403的张力成为非 常大的值。由此隔膜403的动作遭到妨碍。如果对上述情况进行汇总，则在以往的泵中，在泵动作时发生隔膜的张力减 小而隔膜已松弛的状态、或隔膜的张力变得非常大而隔膜的动作遭到妨碍的状态。图 50A 图50C示出在图48A 图48C所示的泵中导电性高分子膜的隔膜已松弛(弛缓) 的状态。在该状态下，即便导电性高分子膜的隔膜伸缩，力也会消去，力不会高效地向 泵室的液体传递，液体的吸入和喷出的效率显著降低。另外，即便在隔膜的张力变得非 常大而隔膜的动作遭到妨碍的状态下，流体的喷出量和吸入量成为非常小的值，泵的效 率显著降低。接着，对由于周期性电解伸缩以外的原因而使导电性高分子膜的隔膜发生了伸 缩时发生的张力变化、和该变化所致的泵动作效率的降低进行说明。图49是表示在电解液中设定长方形状的导电性高分子膜、以沿着长边方向施加 了某恒定的张力的状态施加交流电压而使其电解伸缩时的、膜的形变的变化的示意图。 其中，Ltl表示进行电压施加之前的长边的长度，AL表示从各时刻的长边的长度减去Ltl 得到的值。图49的纵轴示出用百分率(％)表示ΔIVLtl得到的值。在这样的实验中，例 如，在书籍《软致动器开发的最前线 旨在实现人工肌肉 (株式会社NTS 2004年10月 发行)》的第二章等中有详细记载。如图49所示，在向导电性高分子膜施加周期性电压 而进行动作时，在电压恢复至原始电压时，膜的形变未完全恢复，形变在恒定方向上蓄积。另外，即便在不施加电压的情况下，会因为导电性高分子膜吸收电解液而产生膨胀 等变形。另外，导电性高分子膜中会发生以蠕变为代表的非可逆或可逆的形状变化。另 外，在隔膜的固定部分中，会发生变形或错位等。需要说明的是，隔膜的固定部分由图 48A 图48C中的430和431表示。另外，会随着温度的变化而导电性高分子膜伸展。 例如，会在温度已上升时因热膨胀而导电性高分子膜伸展。另外，在导电性高分子膜具 有热收缩的性质的情况下，当温度降低时，导电性高分子膜伸展。如果考虑导电性高分 子膜因这些原因而发生了伸展的情况，导电性高分子膜的弹性模量大，这些原因所致的 导电性高分子膜的伸展不能被弹性吸收，所以发生导电性高分子膜已经弛缓的状态。从 以上的理由可知，即便在制造时以对导电性高分子膜施加了合适的张力的状态构成了泵 的情况下，随后也会发生导电性高分子膜弛缓而未向导电性高分子膜施加所希望的张力 的状况。图50A 图50C示出在图48A 图48C所示的泵中导电性高分子膜已松弛(弛 缓)的状态。在该状态下，即使导电性高分子膜伸缩，力也会消去，力不会高效地向泵 室的液体传递，所以液体的吸入和喷出的效率显著降低。另外，相反，会随着温度的变化等而导电性高分子膜收缩。例如，会在温度已 上升时导电性高分子膜发生热收缩。另外，在导电性高分子膜具有热膨胀的性质的情况 下，当温度降低时，导电性高分子膜收缩。另外，导电性高分子膜通过吸收电解液而厚 度增加，产生在厚度方向上伸展的力，通过该力所致的变形，导电性高分子膜会在隔膜 面的面方向上收缩。如果考虑导电性高分子膜由于这些原因发生了收缩的情况，导电性 高分子膜的弹性模量大，这些原因所致的导电性高分子膜的收缩无法被弹性吸收，所以 导电性高分子膜的张力变得非常大，泵的动作遭到妨碍。如果对上述情况进行汇总，则在以往的泵中，在导电性高分子膜由于周期性电 解伸缩以外的原因发生了伸缩的情况下，发生张力变化，泵动作的效率降低。特别是在 导电性高分子膜伸展而张力小于规定的值的情况下，发生隔膜已松弛的状态。图50A 图50C示出在图48A 图48C所示的泵中导电性高分子膜已松弛(弛缓)的状态。在该 状态下，即便导电性高分子膜伸缩，力也会消去，力不会高效地向泵室的流体传递，所 以流体的吸入和喷出的效率显著降低。另外，在导电性高分子膜已收缩的情况下，导电 性高分子膜的弹性模量大，这些原因所致的导电性高分子膜的收缩无法被弹性吸收，所 以导电性高分子膜的张力变得非常大，泵的动作遭到妨碍。为此，液体的吸入和喷出的 效率显著降低。发明内容对于此，本发明的目的在于，提供一种具有使用导电性高分子膜进行流体的吸 入和喷出的泵的功能，并且，可以通过将由导电性高分子膜构成的隔膜的张力保持成合 适的值来提高流体的吸入和喷出效率的使用了导电性高分子的流体运送装置。为了实现前述目的，本发明如下构成。根据本发明的第一方式，提供一种吸入及喷出流体的使用了导电性高分子的流 体运送装置，其特征在于，具备内部充满所述流体的泵室；在内部形成所述泵室且构成所述泵室的壁面的一部分的框体部；隔膜，其被支承在所述框体部内且由一部分或全体部分进行电解伸缩的导电性 高分子膜形成，与所述框体部一起构成所述泵室的壁面；配置在所述框体部且用于在所述泵室进行所述流体的喷出及吸入的开口部；由所述框体部和所述隔膜包围且内部含有电解液、且该电解液的一部分与所述 隔膜相接的电解液室；用于向所述导电性高分子膜施加电压的电源；将所述导电性高分子膜和所述电源电连接的布线部；和通过使所述电解液室的壁面的一部分移动或变形而使作用于所述隔膜的压力维 持在规定范围内的压力维持部。发明效果在本发明的使用了导电性高分子的流体运送装置中，在隔膜发生了变形时，具 有通过将电解液的压力维持在规定范围内而在合适的范围内调节作用于隔膜的压力的功 能(压力维持功能)。该状态在流体运送装置动作时始终被保持，所以隔膜的导电性高分 子膜进行伸展和收缩时的工作被高效用于泵室的流体的喷出和吸入。即，从电源施加的 电能中被用于泵室的流体的喷出和吸入的工作的比例被称作工作效率时，通过所述的压 力维持功能使得流体运送装置的工作效率相对于以往的泵提高。关于本发明的这些和其他目的和特征，由附图的优选实施方式相关的下述记述 得以明确。在附图中，图1是本发明的第一实施方式涉及的流体运送装置的立体图；图2是本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置的构成图；图3是本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置的截面图；图4是表示本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置的构成的截面图；图5A是本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置的动作图；图5B是本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置的动作图；图5C是本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置的动作图；图5D是本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置的动作图；图6是表示本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置的各部分的大小的 例子的图；图7是本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置的构成图；图8是表示本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置中施加给隔膜的张 力发生了变化时施加给隔膜的压力的调节的情形的例子的图；图9是表示在本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置中施加给隔膜的 张力发生了变化时施加给隔膜的压力的调节的情形的例子的图；图10是表示本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置的构成的图；图IlA是表示本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置中、使用了导电 性高分子膜的泵中的向隔膜间施加的电压的时间变化的例子的图；图IlB是表示本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置中、使用了导电性高分子膜的泵中隔膜的变位量的时间变化的例子的图；图12A是表示使用了导电性高分子膜的泵中向隔膜印加的电压的例子的图；图12B是表示使用了导电性高分子膜的泵中向隔膜印加的电压的例子的图，图13是表示使用了导电性高分子膜的泵中隔膜较大伸展的情况的例子的图；图14是表示本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置中在隔膜较大伸展 的情况下保持使隔膜弛缓而施加了合适的张力的状态的情形的图；图15是表示使用了导电性高分子膜的泵中隔膜较大收缩的情况的例子的图；图16是表示在本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置中、在隔膜较大 收缩的情况下保持向隔膜施加了合适的张力的状态的情形的图；图17是表示本发明的前述第一实施方式的变形例涉及的流体运送装置的构成 图；图18是表示以往方法的泵的动作例的图；图19是表示本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置的动作例的图；图20是表示本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置的控制方法的例子 的流程图；图21是表示本发明的前述第一实施方式的变形例涉及的流体运送装置的构成 图；图22是表示本发明的前述第一实施方式的变形例涉及的流体运送装置的构成 图；图23A是本发明的前述第二实施方式涉及的流体运送装置的构成图；图23B是表示在本发明的第一实施方式或第二实施方式的变形例中弹簧部已经 伸展的状态下的流体运送装置的截面图；图23C是表示在本发明的第一实施方式或第二实施方式的变形例中弹簧部已经 收缩的状态下的流体运送装置的截面图；图23D是表示本发明的第一实施方式或第二实施方式的变形例中弹簧部不是由 螺旋弹簧构成而是由气体构成时的流体运送装置的截面图；图24是表示本发明的前述第二实施方式涉及的流体运送装置的动作例的图；图25是表示本发明的前述第二实施方式涉及的流体运送装置的控制方法的例子 的流程图；图26是本发明的第三实施方式涉及的流体运送装置的构成图；图27是表示本发明的前述第三实施方式涉及的流体运送装置中针对隔膜的压力 调节的情形的图；图28是表示本发明的前述第三实施方式涉及的流体运送装置的构成的图；图29是本发明的第四实施方式涉及的流体运送装置的构成图；图30是表示本发明的前述第四实施方式涉及的流体运送装置中针对隔膜的压力 调节的情形的图；图31是表示本发明的前述第三实施方式或前述第四实施方式的变形例涉及的流 体运送装置的构成图；图32是本发明的第五实施方式涉及的流体运送装置的构成图33是表示本发明的前述第五实施方式涉及的流体运送装置中针对隔膜的压力 调节的情形的图；图34是本发明的第六实施方式涉及的流体运送装置的构成图；图35是表示本发明的前述第六实施方式涉及的流体运送装置中针对隔膜的压力 调节的情形的图；图36是表示本发明的前述第六实施方式的变形例涉及的流体运送装置的图；图37是本发明的第七实施方式涉及的流体运送装置的构成图；图38是本发明的第八实施方式涉及的流体运送装置的构成图；图39是表示本发明的前述第八实施方式涉及的流体运送装置中针对隔膜的压力 调节的情形的图；图40是本发明的第九实施方式涉及的流体运送装置的构成图；图41是表示本发明的前述第九实施方式的变形例涉及的流体运送装置的图；图42是本发明的第十实施方式涉及的流体运送装置的构成图；图43是表示本发明的前述第十实施方式涉及的流体运送装置的动作的情形的 图；图44是表示本发明的前述第十实施方式涉及的流体运送装置中针对隔膜的压力 调节的情形的图；图45是表示本发明的前述第十实施方式的变形例涉及的流体运送装置的图；图46是表示本发明的第十一实施方式涉及的流体运送装置的构成图；图47A是表示本发明的前述第十一实施方式涉及的流体运送装置中针对隔膜的 压力调节的情形的图；图47B是表示本发明的前述实施方式的变形例涉及的流体运送装置的构成图；图48A是表示以往例的泵的结构的图；图48B是表示以往例的泵的结构的图；图48C是表示以往例的泵的结构的图；图49是表示导电性高分子膜的电解伸缩中膜的形变的变化的图；图50A是表示泵中导电性高分子膜弛缓后的状态的图；图50B是表示泵中导电性高分子膜弛缓后的状态的图；图50C是表示泵中导电性高分子膜弛缓后的状态的图；图51A是表示泵的各部分的面积和体积的关系的图；图51B是表示泵的各部分的面积和体积的关系的图；图51C是表示泵的各部分的面积和体积的关系的图；图51D是表示泵的各部分的面积和体积的关系的图；图52是用于说明使注射器形状的弹簧可动部进行动作的方法的说明图。具体实施例方式以下根据附图详细说明本发明的实施方式。以下，在参考附图详细说明本发明中的实施方式之前，对本发明的各种方式进 行说明。根据本发明的第一方式，提供一种吸入及喷出流体的使用了导电性高分子的流 体运送装置，其特征在于，具备内部充满所述流体的泵室；在内部形成所述泵室且构成所述泵室的壁面的一部分的框体部；隔膜，其被支承在所述框体部内且由一部分或全体部分进行电解伸缩的导电性 高分子膜形成，与所述框体部一起构成所述泵室的壁面；配置在所述框体部且用于在所述泵室进行所述流体的喷出及吸入的开口部；由所述框体部和所述隔膜包围且内部含有电解液、且该电解液的一部分与所述 隔膜相接的电解液室；用于向所述导电性高分子膜施加电压的电源；将所述导电性高分子膜和所述电源电连接的布线部；和通过使所述电解液室的壁面的一部分移动或变形而使作用于所述隔膜的压力维 持在规定范围内的压力维持部。根据本发明的第二方式，在第一方式中记载的使用了导电性高分子的流体运送 装置中，所述压力维持部具有如下所示的功能，即通过使所述电解液室的壁面的一部分 移动或变形而使所述电解液室的体积发生变化，由此对作用于所述隔膜的压力进行调节 以使其维持在所述规定范围内。根据本发明的第三方式，在第一方式中记载的使用了导电性高分子的流体运送 装置中，所述压力维持部由弹性部构成，所述弹性部作为所述电解液室的壁面的一部分配置成可以伸缩，通过弹性力使 所述电解液室的壁面的一部分发生变形，通过利用所述弹性部的弹性力使所述电解液室的壁面的一部分发生变形而使所 述电解液室的体积发生变化，由此对作用于所述隔膜的压力进行调节以使其维持在所述 规定范围内。根据本发明的第四方式，在第三方式中记载的使用了导电性高分子的流体运送 装置中，当调节对所述隔膜的压力时，作为所述电解液室的壁面的一部分的所述弹性部 发生变形，在除此之外时，作为所述电解液室的壁面的一部分的所述弹性部被固定。根据本发明的第五方式，在第一方式中记载的使用了导电性高分子的流体运送 装置中，所述压力维持部具备导电性高分子膜，通过构成所述压力维持部的所述导电性高分子膜的电解伸缩使所述电解液室的 壁面的一部分发生变形，而使所述电解液室的体积发生变化，由此对作用于所述隔膜的 压力进行调节以使其维持在所述规定范围内。根据本发明的第六方式，在第五方式中记载的使用了导电性高分子的流体运送 装置中，构成所述压力维持部的所述导电性高分子膜，构成所述电解液室的壁面的一部 分，通过电解伸缩发生变形而使所述电解液室的体积发生变化，由此对作用于所述隔膜 的压力进行调节以使其维持在所述规定范围内。根据本发明的第七方式，在第五方式中记载的使用了导电性高分子的流体运送 装置中，所述压力维持部具备作为所述电解液室的壁面的一部分配置且可以弹性变形的弹性膜部、和可以电解伸缩以使所述弹性膜部弹性变形的导电性高分子膜，通过所述导电性高分子膜的电解伸缩及所述弹性膜的弹性变形，所述电解液室 的壁面的一部分发生变形。根据本发明的第八方式，在第一方式中记载的使用了导电性高分子的流体运送 装置中，还具备控制部，其测量从所述电源向所述隔膜的所述导电性高分子膜施加电压 进行泵的动作的驱动时间，判定所测量的所述驱动时间是否为阈值以上，在判定所述驱 动时间为所述阈值以上时，对所述压力维持部进行动作控制以通过使所述电解液室的壁 面的一部分移动或变形而作用于所述隔膜的压力维持在规定范围内。根据本发明的第九方式，在第一方式中记载的使用了导电性高分子的流体运送 装置中，还具备对所述电解液的压力进行检测的压力检测部和控制部，所述控制部判定 由所述压力检测部检测出的压力是否为压力阈值以上的值，在判定由所述压力检测部检 测出的压力为压力阈值以上的值时，对所述压力维持部进行动作控制以通过使所述电解 液室的壁面的一部分移动或变形而作用于所述隔膜的压力维持在规定范围内。根据本发明的第十方式，在第一方式中记载的使用了导电性高分子的流体运送 装置中，还具备对所述电解液的压力进行检测的压力检测部和控制部，所述控制部判定 由所述压力检测部检测出的压力是否为压力阈值以下的值，在判定由所述压力检测部检 测出的压力为压力阈值以下的值时，对所述压力维持部进行动作控制以通过使所述电解 液室的壁面的一部分移动或变形而作用于所述隔膜的压力维持在规定范围内。以下，使用附图进行说明，但本发明并不限于这些实施方式。(第一实施方式)图1是本发明的第一实施方式的使用了导电性高分子的流体运送装置的立体 图。图1的流体运送装置具备框体部102、作为弹性部的一例的弹性膜部130、流 体管部200、201、202、203、和弹簧可动部205各部分。框体部102大致为圆柱形状。在框体部102上下的圆形的平面210分别连接有 2根流体管部。在框体部102的侧壁102s的贯通孔102h的外侧的开口缘部具备弹性膜 部130。现在，为了后面的说明，将框体部102上部的圆形的平面定义为上部圆形平面 210。如图1所示，直线100A-100B是包括上部圆形平面210的一个直径的直线。另 外，直线100C-100D是包括上部圆形平面210的一个直径的直线，与直线100A-100B正 交。将包括直线100A-100B且与上部圆形平面210垂直的平面定义为平面220 (参照图 2)。另外，将包括直线100C-100D且与上部圆形平面210垂直的平面定义为平面221 (参 照图2)。图3是用平面221切断该第一实施方式的前述流体运送装置时的截面图。图4 是用平面220切断该第一实施方式的前述流体运送装置时的截面图。图4的流体运送装置具备框体部102、第一隔膜103、第二隔膜104、第一泵 室107、第二泵室108、电解液室109、布线部IlOa和110b、电源110c、第一及第二吸入 口 Illa和111b、第一及第二喷出口 113a和113b、第一及第二吸入阀121和123、第一及 第二喷出阀122和124、作为弹性部的一例的弹簧部131、弹性膜部130、流体管部200、 201、202、203、和弹簧可动部205。弹簧部131、弹性膜部130和弹簧可动部205如以下的说明的那样作为压力维持部1100起作用。第一隔膜103是圆板状的导电高分子膜，其周边部固定在框体部102的上壁的周 边部。第二隔膜104是圆板状的导电高分子膜，其周边部固定在框体部102的下壁部的周 边部。为了使第一隔膜103和第二隔膜104不会因框体部102导通，框体部102自身由 绝缘体构成，或第一隔膜103或第二隔膜104或其双方和框体部102隔着绝缘体被固定。 另外，关于第一隔膜103和第二隔膜104，以下为了简便起见，简称为隔膜。以下对各部 分的形状或动作进行详细说明。需要说明的是，在由导体构成筐体部102的情况下，在 本说明书的实施方式及变形例中，根据需要由绝缘性构件构成弹簧部等、或在弹簧部等 和筐体部102或导电高分子膜的连接部分有绝缘构件介于其间，可以保持电绝缘状态。图3是用平面221切断该第一实施方式的流体运送装置时的截面图。在图3中， 简单示出弹簧部131的形状，但作为弹簧部131的结构的例子，如后面所说明的那样考虑 以与直线100A-100B平行的直线为轴的螺旋形状的螺旋弹簧结构。在该第一实施方式中，第一泵室107由框体部102的上壁和第一隔膜103包围而 构成，充满作为运送对象的流体。在构成第一泵室107的一部分的框体部102的上壁， 形成有与流体管部200连接且具有第一吸入阀121的第一吸入口 111a、与流体管部201连 接且具有第一喷出阀122的第一喷出口 113a两个开口部。另外，第二泵室108由框体部 102的下壁和第二隔膜104包围而构成，充满作为运送对象的流体。第一泵室107的流体 和第二泵室108的流体可以相同，也可以不同。在构成第二泵室108的一部分的框体部 102的下壁，形成有与流体管部203连接且具有第二吸入阀123的第二吸入口 111b、与流 体管部202连接且具有第二喷出阀124的第二喷出口 113b两个开口部。将由第一及第二 隔膜103、104及框体部102围成的环状空间部109定义为电解液室。在该电解液室109 内配置有前述弹簧部131。弹簧部131的一端与弹性膜部130连接，另一端与弹簧可动部205连接。弹簧 可动部205由具备头部205a、和与头部205a连结且拧入筐体部102的侧壁102s的贯通孔 102t的螺纹部205b的螺栓构成，螺纹部205b的端部与弹簧部131的另一端连结。关于 弹簧可动部205，后面详细说明。如以下的说明所示，通过在第一及第二泵室107、108形成的这些开口部进行流 体的吸入及喷出，由此作为流体运送装置进行泵的动作。关于图5B所示的状态，是第一隔膜103伸展、第二隔膜104收缩的状态。在该 状态下，将第一泵室107的外部的流体例如液体从具备已打开的第一吸入阀121的第一吸 入口 Illa吸入到第一泵室107的内部，将第二泵室108的内部的流体从具备已打开的第 二喷出阀124的第二喷出口 113b喷到第二泵室108的外部。此时，具备第一喷出阀122 的第一喷出口 113a被第一喷出阀122关闭，具备第二吸入阀123的第二吸入口 Illb也被 第二吸入阀123关闭。另外，相反，如图5D所示，在第一隔膜103收缩、第二隔膜104 伸展的状态下，将第二泵室108的外部的流体例如液体从具备已打开的第二吸入阀123的 第二吸入口 Illb吸入到第二泵室108的内部，将第一泵室107的内部的流体从具备已打 开的第一喷出阀122的第一喷出口 113a喷到第一泵室107的外部。此时，具备第二喷 出阀124的第二喷出口 113b被第二喷出阀124关闭，具备第一吸入阀121的第一吸入口 Illa也被第一吸入阀121关闭。通过连续进行这两个状态的切换，第一泵室107及第二泵室108的体积反复增减，与此相对应反复进行液体相对于各泵室107、108的吸入和喷 出。由此，可以实现作为流体运送装置的泵的功能。框体部102在内部具有空间，例如相对于直径Icm 4cm、高Icm 4cm的范 围的圆筒状的形状，具有开口部等特定场所开有贯通孔的形状，在其内部具有直径0.8 3.8cm、高0.8 3.8cm的范围的圆筒状的内部空间。此时，框体部102的厚度优选为 0.2cm左右。就框体部102的上面及底面的形状而言，从所谓第一及第二隔膜103、104 的张力变得均勻的观点出发，分别优选比第一及第二隔膜103、104的圆板的圆形小的圆 形，但也可以为其他形状。框体部102的高度优选被设计成两片第一及第二隔膜103和 104的距离成为以下说明的范围。在当两片隔膜103和104动作时、其相互接触的情况 下，认为相互发生电短路而不会正常动作。另外，第一及第二隔膜103和104的动作受 到限制，泵的吸入及喷出的效率降低。从以上的观点出发，优选两片隔膜103和104的 最接近的部分的距离为某恒定值以上，以便在两片隔膜103和104动作时两片隔膜103和 104不会相互接触。另外，在两片隔膜103和104的最接近的部分的距离过大的情况下， 在两片隔膜103和104之间的电解液室109内存在的电解液中的电压下降的影响增大，消 耗电力增大。另外，在两片隔膜103和104的最接近的部分的距离过大的情况下，难以 得到小型流体运送装置。从以上的理由出发，两片隔膜103和104的最接近的部分的距 离优选为某恒定值以下。优选考虑以上的方面设计两片隔膜103和104的最接近的部分 的距离、及框体部102的高度。图6是表示该第一实施方式的流体运送装置的各部分的大小的具体例子的图。 框体部102的内部空间由两片隔膜103和104分割成3个空间，分别形成第一泵室107、 电解液室109、和第二泵室108。隔膜103及104的一部分或全体部分由聚合物致动器 材料形成，例如厚5 μ m 30 μ m、直径约Icm 4.5cm的圆板形状。在该第一实施方 式中，隔膜103及104如图4所示在挠曲成凸出形状的状态下使用，在该状态下，隔膜 103及104的大小比框体部102的内部空间的底面大。在图8中，第一吸入口 111a、第 二吸入口 111b、第一喷出口 113a和第二喷出口 113b的直径为3mm，框体部102的高度 为10mm，从形成有弹性膜部130的框体部102的侧壁102s的外面到框体部102的与侧 壁102s对置的侧壁102的内面的距离(换言之，沿着框体部102的内部空间的底面的直 径方向的、框体部102的内部空间的距离和框体部102的侧壁102s的厚度的总距离)为 30mm ο构成前述第一及第二隔膜103及104的聚合物致动器材料，是进行电解伸缩的 导电性高分子膜，作为具体例，可以举出聚吡咯及聚吡咯衍生物、聚苯胺及聚苯胺衍生 物、聚噻吩及聚噻吩衍生物、及由选自它们中的1种或多种构成的(共)聚合物。作 为聚合物致动器材料，特别优选聚吡咯、聚噻吩、聚N-甲基吡咯、聚3-甲基噻吩、聚 3-甲氧基噻吩、聚(3，4-亚乙基二氧噻吩)、及由选自它们中的1种或2种构成的(共) 聚合物。另外，由这些材料构成的导电性高分子膜，优选在掺杂了例如六氟化磷酸离子 (PF6-)、ρ-苯酚磺酸离子(PPS)、十二烷基苯磺酸离子(DBS)、聚苯乙烯磺酸离子(PSS) 等负离子(anion)的状态下使用。就如此掺杂的状态而言，前述的导电性高分子膜具有导 电性，发挥作为聚合物致动器的功能。这些导电性高分子膜在利用化学聚合或电解聚合 合成之后，在必要的情况下进行成型处理，由此可以制作。接着，对由聚合物致动器材料构成的前述隔膜103及104的厚度进行说明。在 由聚合物致动器材料构成的前述隔膜较厚的情况下，在基于聚合物致动器的电解伸缩的 工作中，可以得到较大的力。另外，在由聚合物致动器材料构成的前述隔膜较薄的情况 下，离子相对于聚合物致动器材料的出入快速进行，所以可以高速进行泵的动作。优选 考虑这些方面设计由聚合物致动器材料构成的前述隔膜的厚度。从前述观点出发，作 为一例，优选前述隔膜103及104各自的厚度为0.1 1000 μ m的范围，其中特别优选 1 μ m 100 μ m。另外，在增大由聚合物致动器材料构成的前述隔膜的面积的情况下， 有可能增大基于聚合物致动器的电解伸缩的工作量。另外，在减小由聚合物致动器材料 构成的前述隔膜的面积的情况下，可以减小必要的框体的体积，所以可以使流体运送装 置小型化。优选考虑这些方面来设计由聚合物致动器材料构成的前述隔膜的面积。从前 述观点出发，作为一例，前述隔膜103及104各自的面积为0.01cm2 1000cm2，其中特 别优选 0.1cm2 100cm2。电解液室109中充满电解液。在这里，电解液是指液体状的电解质，例如，认 为有使离子性物质溶解于水等极性溶剂中而制备的具有导电性的溶液、或由离子构成的 液体(离子液体)等。作为电解液的例子，可以利用将NaPF6、TBAPF6, HCL或NaCl 等电解质溶解于水、或碳酸丙烯酯等有机溶剂中而得到的液体、或BMIPF6等离子液体。隔膜103和104分别与布线部IlOa和IlOb的一端连接。另外，布线部IlOa和 IlOb的另一端与电源IlOc连接。在第一泵室107和第二泵室108中，有作为流体运送装 置的泵吸入和喷出的流体进入。泵吸入和喷出的流体考虑例如为水。框体部102由相对 于电解液具有耐性的材料形成，例如由含有聚碳酸酯树脂或丙烯酸树脂的材料、或对这 些材料实施了表面固化处理的材料构成。第一吸入口 Illa和第二吸入口 Illb具有第一吸入阀121和第二吸入阀123，成 为流体从泵室107、108的外部朝向泵室107、108分别仅在被吸入的方向上流动的结构。 第一喷出口 113a和第二喷出口 113b具有第一喷出阀122和第二喷出阀124，成为流体从 泵室107、108朝向泵室107、108的外部分别仅在被喷出的方向上流动的结构。各吸入 口和各喷出口的形状是在考虑了吸入及喷出流体时所需的压力或流量、及流体的粘性等 之后设计的。电源IlOc的电压以例如士 1.5V的正弦波或矩形波进行变化。由此，向隔膜103 和104之间施加周期性变化的电压。在向一方的隔膜103或104施加正电压时，构成该 隔膜103或104的导电性高分子膜被氧化。此外，与此相对应，发生正离子(cation)离 开前述一方的隔膜103或104的导电性高分子膜、或负离子(anion)进入前述一方的隔膜 103或104的导电性高分子膜的变化。由此，在前述一方的隔膜103或104的导电性高分 子膜中，发生收缩或伸展(膨胀)等变形。相反，在向前述一方的隔膜103或104施加 负电压时，构成该隔膜103或104的导电性高分子膜被还原。此外，与此相对应，发生 正离子(cation)进入前述一方的隔膜103或104的导电性高分子膜、或负离子(anion)离 开前述一方的隔膜103或104的导电性高分子膜的变化。由此，在前述一方的隔膜103 或104的导电性高分子膜中，发生伸展(膨胀)或收缩等变形。图5A、图5B、图5C、图5D是表示通过电源IlOc施加了周期性正弦波电压时 的泵的动作的图。现在，将正弦波电压的振幅设为V。在这些图5A 图5D中，示出主要通过负离子的出入产生隔膜103、104各自的导电性高分子膜的伸展和收缩的变形的 情况的例子。需要说明的是，在图5A 图5D中，为了使理解容易，放大负离子99相 对于隔膜103、104的尺寸进行图示。在图5A中，第一隔膜103和第二隔膜104的电压均为0。S卩，第一隔膜103和 第二隔膜104为等电位。在图5B中，从电源IlOc向第一隔膜103施加正电压(+V)，同时从电源IlOc向 第二隔膜104施加负电压(-V)。在图5C中，第一隔膜103和第二隔膜104的电压均为0。S卩，第一隔膜103和 第二隔膜104为等电位。在图5D中，从电源IlOc向第一隔膜103施加负电压(-V)，同时从电源IlOc向 第二隔膜104施加正电压(+V)。现在，如图5A —图5B —图5C —图5D —图5A —图5B —图5C —图5D —…所示，考虑状态周期性地发生变化的情况。在图5A中，第一隔膜103和第二隔膜104为等电位，电解液室109内的电解液 中所含的负离子99大致均勻分布。不过，由于第一隔膜103的电位不断增加，所以构成 第一隔膜103的导电性高分子膜发生氧化。S卩，例如，时刻t时的第一隔膜103的电位 V(t)表示为VXsin(Qt)，在时刻0时，如果考虑成为图5Α的状态的情况，则可知在图 5Α的状态下，第一隔膜103的电位为0，V⑴的导数在时刻0时为νω，在图5Α的状 态下电位在增加。与此相对应，电解液中所含的负离子(anion) 99被第一隔膜103吸引， 另外，该负离子(ani0n)99的一部分进入第一隔膜103的内部。其结果，第一隔膜103伸 展。随着第一隔膜103的伸展，第一泵室107的体积增加，所以第一吸入阀121打开， 流体经第一吸入口 Illa从第一泵室107的外部流入到第一泵室107内。另外，在第一隔 膜104的电位减少的同时第二隔膜104的电位减少，构成第二隔膜104的导电性高分子膜 发生还原。与此相对应，负离子(anion)离开构成第二隔膜104的导电性高分子膜进入电 解液。其结果，第二隔膜104收缩。随着第二隔膜104的收缩，第二泵室108的体积减 少，所以第二喷出阀124打开，第二泵室108的内部的流体通过第二喷出口 113b流到第 二泵室108的外部。需要说明的是，关于流体运送装置的结构，从电源IlOc来看作为电 容起作用。在图5A的状态下，第一隔膜103相对于第二隔膜104的电位不断增加，所以 在前述电容中，蓄积正电荷的方向的电流从外部流向第一隔膜103。需要说明的是，关于弹性膜部130、弹簧部131的动作，在后面详细说明。接着，在图5B中，从电源IlOc向第一隔膜103施加正电压(+V)，同时从电源 IlOc向第二隔膜104施加负电压(-V)。在该状态下，构成第一隔膜103的导电性高分子 膜被氧化，与此相对应，电解液中所含的负离子(anion) 99被第一隔膜103吸引。此外， 负离子(anion)99的一部分进入构成第一隔膜103的导电性高分子膜的内部。其结果，第 一隔膜103伸展。在图5B中，为了进行比较，用虚线表示图5A中的第一隔膜103的位 置。现在，作为用于说明的例子，时刻t时的第一隔膜103的电位V(t)表示为 VXsin(ot)，考虑在时刻0时成为图5A的状态、在时刻π /(2 ω)使成为图5B的状态的 情况。此时，在图5Β的状态下，第一隔膜103的电位为最大值V，与此相伴随，第一隔膜103是最大伸展的状态。另外，V(t)的导数在时刻π/(2ω)时为0，在图5Β的状态 下，电位没有变化，与此相伴随，第一隔膜103的速度为0，流体向泵的喷出及吸入的流 量为0。其中，在这里，为了简便起见，考虑忽略离子液体或流体的粘性等，与电压的变 化同步进行隔膜103的伸展和收缩、与隔膜103的变形速度同步进行流体的喷出及吸入的 情况。另外，构成第二隔膜104的导电性高分子膜被还原，与此相对应，负离子 (ani0n)99离开构成第二隔膜104的导电性高分子膜而进入电解液。其结果，第二隔膜 104收缩。在图5B中，为了进行比较，用虚线表示图5A中的第二隔膜104的位置。不 过，在该状态下，电位的变化大致为0，所以第一及第二隔膜103及104的形状或负离子 99的分布的变化也大致为0，第一泵室107及第二泵室108中的流体的出入也大致为0。 此外，第一隔膜103是最大伸展的状态，第二隔膜104是最大收缩的状态。在考虑了自图5A的状态的第一及第二隔膜103及104各自的伸展量的情况下， 在图5B的状态下，第一隔膜103的伸展量取正值，该值成为周期内的最大值，第二隔膜 104的伸展量取负值，该值成为周期内的最小值。另外，从电源IlOc流来的电流大致为 0。在该状态下，流体的流动也大致为0。在图5C中，第一隔膜103和第二隔膜104为等电位，电解液中所含的负离子99 在电解液内大致均勻分布。不过，第二隔膜104的电位不断增加，所以构成第二隔膜104 的导电性高分子膜发生氧化。与此相对应，电解液中所含的负离子(anion)99被第二隔膜 104吸引，另外，其一部分进入第二隔膜104的内部。其结果，第二隔膜104伸展。随 着第二隔膜104的伸展，第二泵室108的体积增加，所以第二吸入阀123打开，流体经第 二吸入口 Illb从第二泵室108的外部向第二泵室108内流入。另外，第一隔膜103的电 位不断减少，所以构成第一隔膜103的导电性高分子膜发生还原。与此相对应，电解液 中所含的负离子(ani0n)99离开构成第一隔膜103的导电性高分子膜进入电解液。其结 果，第一隔膜103收缩。随着第一隔膜103的收缩，第一泵室107的体积减少，所以第 一喷出阀122打开，流体通过第一喷出口 113a从第一泵室107内流到第一泵室107的外 部。需要说明的是，关于流体运送装置的结构，从电源IlOc来看作为电容起作用。在图 5C的状态下，第二隔膜104相对于第一隔膜103的电位不断增加，所以在前述电容中， 蓄积正电荷的方向的电流从外部流向第二隔膜104。另外，图5C的状态下的第一及第二 隔膜103、104的位置，与图5A中的第一及第二隔膜103、104的位置大致相同。在图5D中，从电源IlOc向第二隔膜104施加正电压(+V)，同时从电源IlOc向 第一隔膜103施加负电压(-V)。在该状态下，构成第二隔膜104的导电性高分子膜被氧 化，与此相对应，电解液中所含的负离子(anion) 99被第二隔膜104吸引。此外，负离子 (anion)99的一部分进入构成第二隔膜104的导电性高分子膜的内部。其结果，第二隔膜 104伸展。在图5D中，为了进行比较，用虚线表示图5A中的第一及第二隔膜103、104 的位置。另外，构成第一隔膜103的导电性高分子膜被还原，与此相对应，电解液中所 含的负离子(ani0n)99离开构成第一隔膜103的导电性高分子膜进入电解液。其结果，第 一隔膜103收缩。不过，在该状态下，电位的变化大致为0，所以第一及第二隔膜103、 104的形状或负离子99的分布的变化也大致为0，第一泵室107及第二泵室108中流体的 出入也大致为0。此外，第一隔膜103是最大收缩的状态，第二隔膜104是最大伸展的状态。在考虑了自图5A的状态的第一及第二隔膜103、104的伸展量的情况下，在图5D 的状态下，第一隔膜103的伸展量取负值，该值成为周期内的最小值，第二隔膜104的伸 展量取正值，该值成为周期内的最大值。另外，从电源IlOc流来的电流大致为0。在该 状态下，流体的流动也大致为0。通过反复实施以上的动作，进行流体的吸入和喷出。需要说明的是，关于导电 性高分子膜的变形机理，假设有基于离子插入所致的体积增加、同种离子的静电排斥、 JI电子的非局部化所致的分子的形状变化等理由，但详细内容未被详细阐明。在前述的说明中，为了简单起见，考虑了第一及第二隔膜103、104的电位、与 在流体运送装置的结构中蓄积的电荷量及第一及第二隔膜103、104的伸展量同相变化的 情况，但在实际的动作中，通过流体的粘性、或布线部及电源的电阻、或导电性高分子 膜和布线部的接触部分的电阻、或导电性高分子膜的内部电阻、或电荷移动电阻、或表 示离子向导电性高分子膜内的扩散的阻抗、或溶液电阻等的影响，会有在第一及第二隔 膜103、104的电位和在流体运送装置的结构蓄积的电荷量及第一及第二隔膜103、104的 伸展量之间产生相位差的情况。需要说明的是，在该第一实施方式中，电解液室109充满电解液，通常电解液 为非压缩性流体，所以在泵动作时电解液室109的体积大致保持恒定。为此，在一方的 隔膜103或104收缩、凸出形状的鼓起减小的情况下，为了保持电解液室109的体积大致 恒定，另一方的隔膜104或103受力以使凸出形状的鼓起增大。S卩，两片第一及第二隔 膜103、104借助电解液相互之间以所谓工作的形式进行能量的交换。接着，对弹性膜部130、弹簧部131的构成进行说明。弹性膜部130以从外侧堵塞在框体部102的侧壁102s形成的圆形贯通孔102h且 在初始状态下向筐体部102的外侧凸出的形态，将弹性膜部130的外缘部固定在筐体部 102的侧壁102s，由橡胶或合成树脂(塑料)等具有弹性的材料(弹性材料)构成为圆形 膜状。作为构成弹性膜部130的弹性材料，考虑例如硅酮橡胶等。弹簧部131例如成为将具有弹性的某金属或合成树脂材料卷成螺旋状得到的形 状，具有作为螺旋弹簧的功能。另外，弹簧部131的螺旋形状的轴按照载置于与图1所 示的直线100A-100B平行的直线上的方式进行配置。弹簧部131在已从稳定状态收缩的 状态下，两端以与弹性膜部130和在跟弹性膜部130对置且螺合在框体部102的侧壁102s 上的弹簧可动部205的螺纹部205b相接的形式固定。弹性膜部130从弹簧部131受到向 外侧方向的力，变形为向外侧凸出的形状。即，在图5A等中，弹性膜部130从弹簧部 131受到向右的力，变形为向右凸出的形状。弹性膜部130的形状在图1等中示出近似球 面的一部分的形状，但在弹性膜部130的膜厚小等情况下，也有成为近似圆锥的形状等 其他形状的情况。在流体运送装置的初始状态下，按照电解液室109的内部充满的电解液的压力 为以下的范围的方式构成流体运送装置。即，假定在泵动作时施加给第一泵室107及第 二泵室108的压力，按照使初始状态的电解液的压力小于该压力的方式构成流体运送装 置。由此，在对第一泵室107及第二泵室108施加了假定压力的情况下，第一及第二隔膜 103及104如图5A所示被保持为在电解液室109的方向上为凸出形状的状态。在初始状 态下，作为用于使电解液室109内部充满的电解液的压力为前述范围的方法，例如考虑如下所述的方法，即，当组装流体运送装置的各部分并在内部充满电解液时，在框体部 102的侧壁102s开有小贯通孔102g，使用注射器等器具从该小贯通孔102g抽出一部分电 解液，随后，通过用橡胶栓等密封构件102f密封小贯通孔102g，使电解液的压力为规定 的压力(即，使初始状态的电解液的压力小于施加给泵动作时的第一泵室107及第二泵室 108的压力)的方法。另外，作为其他方法，还考虑如下所述的方法，即，当组装流体运 送装置的各部分并在内部充满电解液时，在框体部102和弹性膜部130之间的一部分留有 间隙，在该状态下，按压弹性膜部130，抽出电解液的一部分，随后密封间隙部分，除去 按下弹性膜部130的力，通过弹性膜部130及弹簧部131借助它们的弹性力要恢复至原来 形状的力，而减少电解液的压力，使电解液的压力为规定的压力(即，使初始状态的电 解液的压力小于施加给泵动作时的第一泵室107及第二泵室108的压力)的方法。需要 说明的是，也可以设置用于在将电解液注入到电解液室109内时赶出内部的空气的空气 孔，在注入结束后密封空气孔。在这样的使用了隔膜103、104的流体运送装置中，成为隔膜103、104已松弛 的状态时，导电性高分子膜伸缩后的力不会高效地向第一及第二泵室107、108的流体传 递，力发生消去。所以，在泵的动作时保持隔膜103、104不松弛而是紧张的状态是很 重要的。在本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置中，当在初始状态下使电解 液的压力小于第一及第二泵室107、108的内部的流体的压力时，通过后面说明的弹性膜 部130和弹簧部131的作用，在泵的动作时也可以保持电解液的压力小于第一及第二泵室 107、108的内部的流体的压力。由此，在泵的动作时，在第一及第二隔膜103、104中从 第一及第二泵室107、108向电解液室109的方向施加力，通过该力可以保持第一及第二 隔膜103、104不松弛而是紧张的状态。由此，导电性高分子膜的电解伸缩的力被高效地 向第一及第二泵室107、108的内部的流体传递，所以可以保持流体的喷出和吸入的高效 率。接着，对弹性膜部130和弹簧部131的动作进行说明。如以下的详细说明那样， 弹性膜部130和弹簧部131具有适当保持第一及第二隔膜103及104的张力的作用。由 此，可以提高泵的动作效率。如先前所说明的那样，在以往技术的泵中，隔膜的张力由于以下的两个机理发 生较大变化，由此，存在泵的动作效率降低的问题点。在以往技术的泵中，隔膜的张力 发生变化的第一个机理在于，由泵动作时导电性高分子膜的周期性电解伸缩所致。在以 往技术的泵中，隔膜的张力发生变化的第二个机理在于，由导电性高分子膜的周期性电 解伸缩以外的原因所致。在本发明的第一实施方式中，在泵动作时进行的导电性高分子 膜的周期性电解伸缩使第一及第二隔膜103、104的张力发生变化的情况下，或在由其以 外的原因使第一及第二隔膜103、104的张力发生变化的情况下，可以适当保持第一及第 二隔膜103、104的张力。首先，对在泵动作时当导电性高分子膜周期性电解伸缩时通过弹性膜部130和 弹簧部131适当保持第一及第二隔膜103及104的张力的作用进行说明。现在，关注框体部102的内部空间。在这里，框体部102的内部空间是指在框体 部102的内部形成的圆筒状的空间。如图7所示，就框体部102的内部空间而言，将除了 第一泵室107的部分和第二泵室108的部分之外的部分定义为电解液室框体内部分190。即，电解液室框体内部分190是在框体部102的内部空间中由第一及第二隔膜103及104 夹着的空间部分。另外，将位于框体部102的孔部分且在图7中用参照符号191表示的 空间部分，定义为开口空间部分191。另外，将位于框体部102的外侧且由弹性膜部130 围住的空间部分192定义为弹性膜内侧空间部分192。此时，电解液室109的体积由电解 液室框体内部分190的体积、开口空间部分191的体积、和弹性膜内侧空间部分192的体 积的和来定义。如以上的说明所示，如果在泵的动作中成为第一及第二隔膜103、104已松弛的 状态，则即便第一及第二隔膜103、104的导电性高分子膜伸缩，力也会消去而不会高效 地向泵室107、108的流体例如液体传递力，所以流体的吸入和喷出的效率显著降低。 即，为了提高泵的动作效率，需要在动作中始终保持第一及第二隔膜103、104不松弛而 是紧张的状态。当在泵的动作中始终保持第一及第二隔膜103、104不松弛而是紧张的状态时， 与使用图51C及图51D进行的说明一样，即便是第一实施方式，关于第一泵室107的体积 和第二泵室108的体积的总和，成为以“示出(第一隔膜103的面积)=S0的关系的直 线”为对称轴的左右对称的形状，在第一隔膜103的面积=Stl中，取极大值或极小值。 其中，将第一隔膜103的面积和第二隔膜104的面积相等时它们的值设为S。。由这些曲 线图可知，只要第一隔膜103的面积发生变化，则第一泵室107的体积和第二泵室108的 体积的总和发生变化。现在，在将框体部102的内部的体积设为Wt的情况下，电解液室 框体内部分190的体积成为从Wt减去第一泵室107及第二泵室108的总体积得到的值。 由此，对应于第一泵室107及第二泵室108的总体积变化，电解液室框体内部分190的体 积也发生变化。与此相对应，弹性膜部130的形状按照保持电解液室109的体积大致恒 定的方式发生变化。现在，在电解液室框体内部分190的体积增加的情况下，与此相对 应电解液的压力减少，所以弹性膜部130中的弹性膜部130的弹性力、弹簧部131的弹性 力、电解液的压力和框体部102的外部气氛的压力之间的平衡发生变化。其结果，弹性 膜部130的凸出形状的鼓起减小，弹性膜内侧空间部分192的体积减少。其结果，电解 液室109的体积保持大致恒定。另外，相反，在电解液室框体内部分190的体积减少的 情况下，与此相对应电解液的压力增加，所以弹性膜部130中的弹性膜部130的弹性力、 弹簧部131的弹性力、电解液的压力和外部气氛的压力之间的平衡发生变化。其结果， 弹性膜部130的凸出形状的鼓起增大，弹性膜内侧空间部分192的体积增加。其结果， 电解液室109的体积保持大致恒定。作为上述的结果，电解液室109的内部充满的电解 液室109的体积也为大致恒定，电解液的压力也保持大致恒定。在本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置中，如果在初始状态下将电 解液的压力设成小于第一及第二泵室107、108的内部的流体的压力的合适的值，可以通 过弹性膜部130及弹簧部131的动作将电解液的压力也保持在某恒定的范围内。在这里， 当前述“初始状态下将电解液的压力设成小于第一及第二泵室107、108的内部的流体的 压力的合适的值”时，在初始状态下的流体的压力为(UOlMPa(Iatm)的情况下，初始 状态下的电解液的压力(电解液的初始压力)优选在约0.091MPa 0.101MPa(0.9atm 0.999atm)的范围内设定。其中特别优选在约0.IOOMPa 0.IOlMPa (0.99atm 0.999atm) 的范围内设定。这是因为，在电解液的初始压力小于前述范围的情况下，会发生所谓流体和电解液的压力差过大而隔膜的活动受到妨碍的问题。另外，还因为在电解液的初始 压力大于前述范围的情况下，在泵的动作中有可能发生所谓隔膜弛缓而泵动作的效率降 低的问题。另外，所谓前述“电解液的压力也保持在某恒定的范围内”，是指将泵的动 作中的电解液的适当压力保持在例如约0.051MPa 0.101MPa(0.5atm 0.999atm)的范围 内。这是因为，在泵的动作中的电解液的压力小于前述范围的情况下，会发生所谓流体 和电解液的压力差过大而隔膜的活动受到妨碍的问题。另外，还因为在电解液的压力大 于前述范围的情况下，有可能发生所谓流体和电解液的压力差变得过小而隔膜弛缓而泵 动作的效率降低的问题。如前所述，通过弹性膜部130及弹簧部131的动作，电解液的 压力也保持在某恒定的范围内，所以始终可以将电解液的压力保持为小于第一及第二泵 室107、108的内部的流体的压力。其结果，从第一及第二泵室107、108沿着电解液室 109的方向向第一及第二隔膜103、104施加某恒定范围的力，所以第一及第二隔膜103、 104通过该力保持成不松弛而是紧张的状态，第一及第二隔膜103、104的张力被保持合 适的值。在这里，隔膜103、104的张力的合适值例如为O.lOlMPa lO.lMPa(约Iatm 约IOOatm)的范围。在第一及第二隔膜103、104的张力大于前述范围的情况下，会产生 所谓第一及第二隔膜103、104的活动受到妨碍的问题。另外，在第一及第二隔膜103、 104的张力小于前述范围的情况下，有可能产生所谓第一及第二隔膜103、104弛缓而泵 动作的效率降低的问题。如此第一及第二隔膜103、104的张力被保持成合适的值，所以 在泵的动作中，始终是第一及第二隔膜103和104成为在电解液室109的方向上看以凸出 形状变形的状态，保持以恒定的范围内的大小向第一及第二隔膜103和104施加了拉伸方 向的应力(牵引力)的状态，通过电解液室109内的电解液和第一及第二泵室107、108 内的流体，将作用于第一及第二隔膜103和104的压力维持在规定的范围(恒定的范围) 内。在这里，作为泵的动作中的、通过电解液室109内的电解液的压力和第一及第二泵 室107、108内流体的压力之差作用于第一及第二隔膜103和104的压力的范围，例如优 选0.0101MPa 0.000101MPa(0.1atm O.OOlatm)的范围。这是因为，在通过电解液的 压力和流体的压力之差施加给第一及第二隔膜103和104的压力大于前述范围的情况下， 会产生所谓第一及第二隔膜103和104的活动受到妨碍的问题。另外，还因为在通过电 解液的压力和流体的压力之差施加给第一及第二隔膜103和104的压力小于前述范围的情 况下，有可能产生所谓第一及第二隔膜103和104弛缓而泵动作的效率降低的问题。因 为如此在泵动作时始终保持作用于第一及第二隔膜103和104的压力被维持在规定的范围 (恒定的范围)内的状态，所以第一及第二隔膜103、104各自的导电性高分子膜进行伸展 和收缩时的工作，被高效用于第一及第二泵室107、108的流体的喷出和吸入。S卩，可以 增大泵的动作中的工作效率。在这里，泵的工作效率被定义成在施加给泵的电能中泵为 了流体的吸入和喷出而进行的工作的比例。接着对下述作用进行说明，S卩，在以第一及第二隔膜103及104的导电性高分子 膜的周期性电解伸缩以外的原因而施加给第一及第二隔膜103及104的张力发生变化的情 况下，通过弹性膜部130和弹簧部131适当保持第一及第二隔膜103及104的张力的作用。通常，就使用了导电性高分子膜的隔膜型泵而言，当对导电性高分子膜周期性 施加电压进行动作时，(i)恒定方向上蓄积形变，或( )通过导电性高分子膜吸收电解液而发生膨胀等变形，或(iii)导电性高分子膜中出现以蠕变为代表的非可逆或可逆的形状变化，或(iv)发生导电性高分子膜的固定部的变形或错位等。为此，隔膜的面积或形状 或配置会有变化。此时，在以往例所示的泵中，如前所述，在制造泵时以施加张力的状 态设置导电性高分子膜，即便如此，也会发生未向隔膜施加所期望的张力(拉伸方向的 应力)的状况。但是，在该第一实施方式中，如此通过弹性膜部130和弹簧部131的变形吸收 所谓未对隔膜施加所需的张力的张力变化，所以施加给隔膜的张力可以保持在恒定范围 内。关于这一点，以下具体说明。图8及图9示出在该第一实施方式中对第一及第二 隔膜103、104施加的张力发生变化时施加给第一及第二隔膜103、104的压力被维持在规 定的范围内的状态。图8示出第一及第二隔膜103和104以前述的理由发生张力变化而 伸展时的、施加给第一及第二隔膜103、104的压力被维持在规定的范围内的情形。在图 8中，虚线表示图4的状态下的第一及第二隔膜103、104的位置。在该图8中，第一及 第二隔膜103和104与图4相比在伸展的方向上变形，由此，暂时地电解液室109的体积 减少、电解液的压力增加。所以，弹性膜部130中的、弹性膜部130的弹性力、弹簧部 131的弹性力、电解液的压力和外部气氛的压力失去平衡。其结果，通过弹性膜部130和 弹簧部131的弹性，按照弹簧部131伸展、弹性膜部130的凸出形状的鼓起向框体部102 外增大的方式发生变形。与此相伴随，框体部102的内部的电解液室109内的电解液的 一部分沿着弹性膜部130的方向被吸出(S卩，通过开口空间部分191被吸出到弹性膜内侧 空间部分192内)，电解液室109的体积大致恢复至初始状态的值。所以，电解液的压力 大致恢复至初始状态的值。另外，相反，图9示出第一及第二隔膜103和104以周期性电解伸缩以外的原因 收缩后的、施加给第一及第二隔膜103和104的压力被维持在规定的范围内的情形。在 图9中，虚线表示图4的状态下的第一及第二隔膜103和104的位置。此时，通过弹性 膜部130和弹簧部131的弹性，按照弹簧部131收缩、弹性膜部130的凸出形状的鼓起减 小的方式发生变形。所以，电解液的压力大致保持为初始状态的值。接着，对在由于导电性高分子膜的周期性电解伸缩以外的原因而施加给第一及 第二隔膜103及104的张力发生较大变化的情况下，由弹簧可动部205适当保持第一及第 二隔膜103及104的张力的作用进行说明。如图4所示，使一端接触弹性膜部130的弹簧部131的另一端与弹簧可动部205 连接。通过弹簧可动部驱动装置1103 (图10参照)的驱动，使弹簧可动部205相对于筐 体部102正反旋转而使其沿着轴方向即图4的左右方向进退移动，由此可以调节弹簧部 131的弹性力。在进行该调节时，通过在弹簧可动部205的左右方向上进退移动，弹性膜 部130借助弹簧部131沿着图4的左右方向移动，作为结果，电解液室109的体积发生变 化而可以调节电解液室109内的电解液的压力。由此，可以将向第一及第二隔膜103及 104施加的压力维持在规定的范围内。在图4中，示出弹簧可动部205作为一例由螺栓构 成，通过弹簧可动部驱动装置1103的驱动使其螺纹部205b相对于筐体部102正反旋转，由此弹簧可动部205可以移动。作为弹簧可动部驱动装置1103的例子，可以使用电磁电机、压电致动器、或超 声波电机等各种驱动装置。或者，作为弹簧可动部驱动装置1103，也可以使用导电性高 分子致动器或形状存储合金等各种软致动器。另外，如后所述，通过控制部1102分别对 弹簧可动部驱动装置1103和电源IlOc进行控制。以下，对弹簧可动部205的动作方法进行详细说明。如上面的说明所述，在由于各第一及第二隔膜103及104的导电性高分子膜的周 期性电解伸缩以外的原因而施加给第一及第二隔膜103及104的张力发生了变化的情况 下，在某个范围内，可以通过弹性膜部130的弹性力和弹簧部131的弹性力适当保持第一 及第二隔膜103及104的张力。但是，如上面的说明所述，在由于第一及第二隔膜103 及104的导电性高分子膜的周期性电解伸缩以外的原因而施加给第一及第二隔膜103及 104的张力发生了较大变化的情况下，无法仅通过弹性膜部130的弹性力和弹簧部131的 弹性力，充分进行第一及第二隔膜103及104的张力(作用于第一及第二隔膜103及104 的压力或应力)的调节。通常如图49所示，使导电性高分子致动器进行伸缩动作时变位 振动的中心位置的变化大小，比变位振动的振幅大。为此，与导电性高分子膜的周期性 电解伸缩所致的电解液室筐体内部分的体积变化相比，由导电性高分子膜的周期性电解 伸缩以外的原因导致的电解液室筐体内部分190的体积变化更大。为此，为了在泵的动 作中将第一及第二隔膜103及104的张力保持在恒定范围，更重要的是与由导电性高分子 膜的周期性电解伸缩以外的原因导致的第一及第二隔膜103及104的形状变化(伸缩)相 对应。需要说明的是，电解液室筐体内部分190的定义遵从于图7中说明的方法。图IlA和图IlB示出在前述泵中向第一及第二隔膜103及104间施加的电压的 时间变化的例子、和第一及第二隔膜103及104中的一个隔膜从某固定位置的变位量的时 间变化的例子。不过，在图IlB中，用虚线示出变位随着时间的经过进行振动时的振动 的中心的大致位置。在该例中，将在以0.5Hz长时间施加了士 1.5V的矩形波的电压的状 态下的、某时刻作为时间轴的0，然后，进行某些次数的伸缩动作。此外，然后切断施 加电压，在该状态下隔开1小时的空隙(interval)。进而，然后再次施加矩形波的电压。 图12A示出此处施加的矩形波的1周期的时间变化。如图12A所示，就矩形波而言，施 加+1.5V的电压的时间和施加-1.5V的电压的时间相等。如图IlA及图IlB所示，在长时间施加矩形波的状态下，以变位稳定的形式进 行振动，在切断施加电压后再次开始施加电压的时间点，变位量向小值变化。另外，在 重新开始伸缩动作之后，在变位在进行振动的同时振动的中心向大值移动。不过，关于 变位的测量，例如通过从某固定点测定第一及第二隔膜103及104的中心部的位置时的位 置变化示出。此外，变位的正向被定义为第一及第二隔膜103及104伸展的方向。通常，关于导电性高分子致动器或导电性高分子隔膜，如果进行长时间伸缩动 作，则向伸缩动作中的一个动作状态变形，然后，如果长时间停止，会有恢复至原始形 状的倾向。例如，在图IlA及图IlB中所说明的例子中，在使泵长时间动作时，与初始 位置相比，第一及第二隔膜103及104逐渐伸展，逐渐接近稳定的位置。即，在使泵长 时间动作的情况下，第一及第二隔膜103及104的变位振动的中心向伸展方向移动，逐渐 接近稳定点。另外，在使第一及第二隔膜103及104从已自初始位置伸展的状态停止泵的动作的情况下，第一及第二隔膜103及104的位置逐渐接近初始状态的形状即初始位 置。导电性高分子致动器(第一及第二隔膜103及104)通过离子的出入进行伸缩，在图 IlA及图IlB的例子的情况下，认为在致动器(第一及第二隔膜103及104)反复进行伸 缩动作期间，离子留在第一及第二隔膜103及104的导电性高分子膜内，致动器(第一及 第二隔膜103及104)缓缓伸展。另外，相反，认为如果使致动器(第一及第二隔膜103 及104)的伸缩动作停止并进行放置，在第一及第二隔膜103及104的导电性高分子膜的 内部残留的离子，通过扩散从导电性高分子膜的内部进入电解液，致动器(第一及第二 隔膜103及104)恢复至原始的形状。另外，在使用其他材料或其他驱动方法的情况下， 在使致动器(第一及第二隔膜103及104)长时间动作的情况下，第一及第二隔膜103及 104的变位振动的中心沿着收缩方向移动，逐渐接近稳定点，另外，在从该状态使泵的动 作停止的情况下，也考虑第一及第二隔膜103及104恢复至原始形状的情况。例如，作为 这样的例子，考虑将如图12B所示的、正电压的施加时间比负电压的施加时间长这样的 矩形波的驱动电压，施加给正离子驱动型的导电性高分子致动器的情况。此时，反复进 行正电压的施加时间比较多的正离子离开导电性高分子膜、负电压的施加时间比较少的 正离子进入导电性高分子膜，所以如果使致动器长时间动作，则致动器会缓缓收缩(变 位振动的中心沿着收缩方向移动)。另外，然后，在使致动器停止的情况下，通过扩散， 正离子从电解液进入导电性高分子膜内部，认为致动器恢复至初始状态的形状即初始位 置。需要说明的是，在此处的说明中，认为导电性高分子隔膜也含于导电性高分子致动 器，通常，对在导电性高分子致动器中成立的内容进行说明。在因导电性高分子膜的周期性电解伸缩以外的原因而第一及第二隔膜103及104 有很大伸缩的情况下，无法仅以弹性膜部130和弹簧部131的形状变化充分吸收第一及第 二隔膜103及104的伸缩。与此相对，在本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置 中，通过使弹簧可动部205沿着左右即轴方向进退移动，对向第一及第二隔膜103及104 施加的压力进行调节。图13示出因导电性高分子膜的周期性电解伸缩以外的原因而第一及第二隔膜 103及104有很大伸展的情况下的例子。此时，无法仅以弹性膜部130和弹簧部131的形 状变化充分吸收第一及第二隔膜的伸展。为此，在图13中，示出第一及第二隔膜103及 104弛缓后的状态。与此相对，在本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置中，当因第一及 第二隔膜103及104的导电性高分子膜的周期性电解伸缩以外的原因而第一及第二隔膜 103及104有很大伸展的情况下，如图14所示，使弹簧可动部205相对于筐体部102旋转 而向右侧(即，弹簧可动部205的轴方向进入筐体部102内)移动，由此借助弹簧部131 使弹性膜部130向筐体部102外膨胀，减小电解液室109的体积，使电解液室109内的电 解液的压力与第一及第二泵室107、108的压力相比下降，从而让第一及第二隔膜103及 104弛缓，可以保持为施加了合适的张力的状态。另外，与此相反，在因第一及第二隔膜103及104的导电性高分子膜的周期性电 解伸缩以外的原因而第一及第二隔膜103及104有很大收缩的情况下，在本发明的前述第 一实施方式涉及的流体运送装置中，如图16所示，使弹簧可动部205相对于筐体部102 旋转而向左侧(即，弹簧可动部205的轴方向从筐体部102出到外部)移动，由此借助弹簧部131使弹性膜部130向筐体部102内收缩，减小电解液室109的体积，使电解液室 109内的电解液的压力与第一及第二泵室107、108的压力相比升高，从而第一及第二隔 膜103及104弛缓，可以保持为施加了合适的张力的状态。以下，对弹簧可动部205的作用进行详细说明。在图4所示的初始状态下，将电解液的压力设成低于第一及第二泵室107、108 的流体的压力，所以向第一及第二隔膜103及104施加与第一及第二泵室107、108的流 体的压力和电解液的压力之差相当的力，通过该力，第一及第二隔膜103及104保持为施 加了合适的张力(拉伸方向的应力)的状态。与此相对，在图13中，与图4的初始状态相比，第一及第二隔膜103及104有很 大伸展。为此，在图13的状态下，与图4的初始状态相比，电解液室109的体积变小。 可是，由于电解液是非压缩流体，所以如果电解液室109的体积发生变化，则电解液的 压力有很大变化。在图13的状态下，与图4的初始状态相比，由于电解液室109的体积 在减少，所以电解液的压力增加，第一及第二泵室107、108的流体的压力和电解液的压 力之差与初始状态相比减小。由此，第一及第二隔膜103及104的张力有很大减少。关 于以上的结果，如图13所示，第一及第二隔膜103及104发生弛缓的状态。与此相对，在本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置中，在第一及第 二隔膜103及104有很大伸展的情况下，如图14所示，弹簧可动部205相对于筐体部102 向右侧移动，借助弹簧部131使弹性膜部130向筐体部102外膨胀，使弹性膜内侧空间部 分192的体积增加，可以保持电解液室109的体积大致恒定。由此，可以将电解液室109 内的电解液的压力保持在恒定范围内。其结果，可以将第一及第二隔膜103及104的张 力保持在合适的范围内，可以防止第一及第二隔膜103及104弛缓。另外，在图15中，与图4的初始状态相比，第一及第二隔膜103及104有很大 收缩。为此，在图15的状态下，与图4的初始状态相比，电解液室筐体内部分190的体 积增大。像已经说明的那样，电解液是非压缩流体，所以如果电解液室109的体积发生 变化，则电解液的压力有很大变化。在图15的状态下，与图4的初始状态相比，电解液 室109的体积在增加，所以电解液的压力减少，第一及第二泵室107、108的流体的压力 和电解液的压力之差与初始状态相比增大。由此，第一及第二隔膜103及104的张力有 很大增加。关于以上的结果，是在图15的状态下，第一及第二隔膜103及104的张力过 大，其伸缩动作遭到妨碍。与此相对，在本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置中，在第一及第 二隔膜103及104有很大收缩的情况下，图16所示，弹簧可动部205相对于筐体部102 向左侧移动，通过弹簧部131使弹性膜部130向筐体部102内收缩，使弹性膜内侧空间部 分192的体积减少，可以将电解液室109的体积保持大致恒定。由此，可以将电解液室 109内的电解液的压力保持在恒定范围内。其结果，可以将第一及第二隔膜103及104的 张力保持在合适的范围，保持第一及第二隔膜103及104的伸缩动作正常。如前所述，弹簧可动部205例如是螺纹形的螺栓，通过转动螺栓，进行左右方 向的移动。作为其他例子，如图17所示，考虑弹簧可动部206为注射器形状的情况。需 要说明的是，在以下的说明中，作为代表，以弹簧可动部205进行说明，但注射器形状 的弹簧可动部206也可以发挥相同作用。作为使注射器形状的弹簧可动部206动作的方法，例如考虑图52的方法。在 注射器形状的弹簧可动部206的内侧，如图52所示形成有螺纹牙206a。另外，在与电 机206m连接的旋转轴206b的外侧也形成有螺纹牙206c，这些螺纹牙206a，206b重叠配 置。通过使旋转轴206b旋转，注射器形状的弹簧可动部206左右移动。在以上的说明中，电解液室筐体内部分190及弹性膜内侧空间部分192的定义遵 从于图7中说明的方法。以下，关于弹簧可动部205的移动定时(时机)，示出前述第一实施方式涉及的 流体运送装置(作为一例的泵)的动作进行说明。为了对本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置(作为一例的泵)的动作 进行说明，作为其比较对象，首先对以往的泵的动作进行简单说明。图18示出例如图48C所示的构成的以往泵的动作例。不过，图18(a)示出向隔 膜施加的电压的时间变化，图18(b)示出第一及第二隔膜403和404中的一个隔膜的变位 量的时间变化，图18(c)示出以往泵的喷出量的时间变化。隔膜的变位量表示例如隔膜 的中心部从某固定点进行了何种程度的变位。另外，隔膜的变位量是将隔膜伸展的方向 定义为正。在该例中，对于隔膜，在时刻k至时刻t2之间的时间、及时刻t3至时刻14之 间的时间、及时刻、至时刻t7之间的时间以0.5Hz施加士 1.5V的矩形波。另外，上述以 外的时间停止电压的施加。时刻t2和时刻t3之间的时间例如为1分钟，时刻t4和时刻t5 之间的时间例如为1小时。在时刻^至时刻^的时间、及时刻t6至时刻t7的时间内，如图18(b)所示隔膜有 很大伸展。认为其原因在于，像使用图IlA及图IlB所说明的那样，在使以往的泵长时 间动作时，在导电性高分子膜反复进行电解伸缩反复期间在导电性高分子膜内有离子残 留，导电性高分子膜缓缓伸展。其结果，像使用图13所说明的那样，隔膜的张力减小而 成为弛缓后的状态，隔膜的电解伸缩的振幅变小。其结果，泵的喷出量减少。与此相对，将本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置的动作例示于图 19。图19示出向2片隔膜之间施加的电压的时间变化、一个隔膜的变位量的时间变化、 泵运送的流量的时间变化。在时刻tl至时亥Ij t2的时间、及时刻t3至时亥Ij t4的时间、及时刻t6至时亥Ij t7的时 间内，成为如图14所示通过弹簧可动部驱动装置1103的驱动而弹簧可动部205向右侧移 动的状态。由此，在这些时间内，第一及第二隔膜103及104弛缓，保持为施加了合适 的张力的状态。作为结果，在流体运送装置(作为一例的泵)的动作中，其喷出量被保 持为较大的值。另外，在前述以外的时间内，如图4所示通过弹簧可动部驱动装置1103的驱 动，弹簧可动部205返回至初始状态的位置。在时刻t5和时刻^之间的时间内，由于在 流体运送装置(作为一例的泵)动作之前有长时间的停止期间，所以第一及第二隔膜103 及104的位置恢复到接近初始状态的位置。为此，在时刻to和时刻^之间的时间、及时 刻t5和时刻t6之间的时间内，在弹簧可动部205处于初始状态的状态下将施加给第一及第 二隔膜103及104的压力(张力)保持为合适的值，所以流体运送装置(作为一例的泵) 的喷出量也被保持为较高的值。在以下的说明中，为了简单起见，将如图14所示弹簧可动部205已向右侧移动的状态表述为“压力维持部1100为压力维持状态(防止应力减少状态)，，。与此相对， 将如图4所示弹簧可动部205位于初始状态的位置表述为“压力维持部1100为初始状 态”。需要说明的是，在时刻t2和时刻t3之间的时间、及时刻t4和时刻t5之间的时间 的一部分期间内，与第一及第二隔膜103及104初始状态相比为伸展，弹簧可动部205位 于初始状态的位置，所以第一及第二隔膜103及104的张力减小，会成为第一及第二隔膜 103及104弛缓后的状态。在该状态下，认为第一及第二隔膜103及104的位置对应于电 解液或流体的动作而变动，变位量不一定为恒定的值，在图19中，在时刻t2和时刻、之 间的时间、及时刻t4和时刻、之间的时间内，用虚线表示隔膜的位置。需要说明的是，在上面的说明中，对弹簧可动部205的位置在图14所示的状态 和图4所示的状态2个状态之间变化的情况进行了说明，但也考虑了弹簧可动部205的位 置在3个以上的状态之间变化的方法。另外，在第一及第二隔膜103及104有很大收缩的情况下，也可以如图16所示 进行如下的动作，即，与图4的初始状态相比，弹簧可动部205向左侧移动，通过弹簧部 131使弹性膜部130向筐体部102内收缩，使弹性膜内侧空间部分192的体积减少，将电 解液室109的体积保持大致恒定。由此，将电解液室109内的电解液的压力保持在恒定 范围内，可以将第一及第二隔膜103及104的张力保持在合适的范围内，可以保持第一及 第二隔膜103及104的动作正常。接着，对有关弹簧可动部的移动的控制方法的例子进行说明。如上面的说明所述，通常在使用了导电性高分子膜的隔膜中，在长时间施加电 压时变位稳定(变位振动的中心的位置变恒定)。另外，在隔膜的变位已稳定的状态之 后，如果在已切断电源的状态下长时间放置，与刚刚切断电源后相比，变位发生变化。 另外，然后如果接通电源110c，则变位振动的中心随时间一起变化，如果经过长时间， 变位再次稳定(变位振动的中心的位置变恒定)。因此，如果考虑到这些关系，利用后述 的控制部1102测量流体运送装置(作为一例的泵)的驱动进行的动作时间、流体运送装 置(作为一例的泵)的驱动停止的空闲(idol)时间，由此可以检测出第一及第二隔膜103 及104的大致的变位量(第一及第二隔膜103及104进行电解伸缩时的振动的中心的大致 位置)。以下，对使用该检测方法、利用控制部1102控制弹簧可动部205的方法进行说明。图10是表示使用前述检测方法来进行弹簧可动部205的控制的本发明的前述第 一实施方式涉及的流体运送装置的构成的图。在该图10中，与图4相比，追加了接口部 1101、控制部1102、和弹簧可动部驱动装置1103。接口部1101从流体运送装置的外部接收流体运送装置的驱动动作和停止的命 令。在接收到接口部1101流体运送装置的驱动动作命令时，接口部1101对控制部1102 输出驱动开始信号。另外，在接口部1101接收到流体运送装置的驱动停止命令时，接口 部1101对控制部1102输出驱动停止信号。控制部1102对驱动开始信号及驱动停止信号的接收作出反应，进行流体运送装 置的动作控制。控制部1102存储称为“压力维持标志”的变量的值，用以下说明的方法对该值进行设定。另外，控制部1102用以下所示的方法测量驱动时间及空闲时间。另 外，控制部1102存储称为“空闲时间阈值”和“驱动时间阈值”的常数。以下，使用图19的动作例，对流体运送装置的控制方法进行说明。图20是表示流体运送装置的控制方法的例子的流程图，基本上在控制部1102的 控制下执行。在图19的例子中，假定“驱动时间阈值=、、”的关系成立。即，假定时刻、 和时刻、之间的时间长短为“驱动时间阈值”。另外，假定“(t3"t2) <空闲时间阈值< (t5_t4)，，的关系成立。首先，在时刻^的初始状态下，控制部1102接收驱动开始信号，执行步骤SO。 在步骤SO中，通过控制部1102，将构成压力维持部1100的弹簧部131、弹性膜部130和 弹簧可动部205设为初始状态。即，设成如图4所示弹簧可动部205位于初始状态的位 置。不过，假定在初始状态之前的时间内，以泵的动作已停止的状态保持长时间。一旦 结束步骤S0，则接下来由控制部102执行步骤Si。在步骤Sl中，首先，在控制部1102的控制下，开始通过电源IlOc向第一及第 二隔膜103及104施加驱动电压。关于驱动电压，在这里作为一例，考虑如图19所示的 0.5Hz且为士 1.5V的矩形波。此外，在控制部1102，设成压力维持标志=0、及驱动时 间=0。此外，通过控制部1102开始驱动时间的测量。不过，作为驱动电压的例子，也 可以考虑例如正弦波等其他周期函数。接着，在步骤S2中，持续恒定时间施加驱动电压。一旦步骤S2结束则接下来 执行步骤S3。接着，在步骤S3中，在控制部1102接收到驱动开始信号后开始进行步骤S3的 情况下，由控制部1102判定是否在控制部1102接收到驱动开始信号之后控制部1102已 接收到驱动停止信号。另外，在控制部1102判定在控制部1102接收到驱动开始信号后 已进行步骤S3的情况下，由控制部1102判定是否在进行了前次步骤S3之后控制部1102 已接收到驱动停止信号。在控制部1102判定控制部1102已接收到驱动停止信号的情况 下，过渡到步骤S4。在控制部1102判定控制部1102未接收到驱动停止信号的情况下， 过渡到步骤S9。在图19的动作例中，自时刻tQ起由控制部1102执行步骤SO、步骤Si、步骤S2 及步骤S3的处理。这些处理在通常的设备中以非常短的时间结束。此外，在图19的动 作例中，关于在步骤S3中控制部1102的判定结果，是过渡到步骤S9。在步骤S9中，由控制部1102判定压力维持部1100是否为初始状态。S卩，由控 制部1102判定弹簧可动部205的位置是否为初始状态的位置。在控制部1102判定弹簧 可动部205为初始状态的情况下，过渡到步骤S10。在控制部1102判定压力维持部1100 不是初始状态的情况下，即，在控制部1102判定为处于压力维持状态的情况下，过渡到 步骤S2 ο在步骤SlO中，由控制部1102判定当前的驱动时间是否为预先决定的驱动时间 阈值以上的值。驱动时间是在步骤Sl中开始由控制部1102测量的时间，是自步骤Sl的 执行时刻至当前为止的时间。驱动时间阈值的值例如为1分钟以上1小时以下的值。关 于在步骤SlO中基于控制部1102判定的结果，在控制部1102判定驱动时间为驱动时间阈值以上的值的情况下，过渡到步骤S11。在控制部1102判定驱动时间为小于驱动时间阈 值的值的情况下，过渡到步骤S2。在图19的动作例中，在时刻、以后时刻^之前的时刻，步骤S2、步骤S3、步骤 S9、步骤SlO由控制部1102反复执行。在初始状态下，电解液的压力被设成比流体或大 气等外部的压力低的值，其结果，成为第一及第二隔膜103及104以适当的张力伸展的状 态。但是，如果持续泵的动作，如上面的说明所述，与初始状态相比，认为第一及第二 隔膜103及104发生变形。在这里，考虑与初始状态相比第一及第二隔膜103及104伸展 的情况。此时，关于第一及第二隔膜103及104伸展后的结果，电解液室109的体积减 少，电解液的压力增加。此外，在泵的动作的持续时间(泵的驱动时间)大于某值的情 况下，电解液的压力范围会大于某范围，如果对其进行放置，第一及第二隔膜103及104 弛缓而泵的喷出动作的效率降低。在前述步骤的反复中，在任意步骤的处理中时刻^到来。在时刻^时，“驱动 时间=驱动时间阈值”的关系成立。在其以后的时刻，当最开始进行了步骤SlO的处理 时，作为其判定的结果，过渡到步骤S11。不过，在这里，忽略在时刻^时执行了步骤 SO的处理之后直在步骤Sl中开始测量驱动时间的时间。在步骤Sll中，将压力维持部1100过渡到压力维持状态。S卩，如图14所示， 成为通过在控制部1102的控制下的弹簧可动部驱动装置1103的驱动而将弹簧可动部205 移向右侧的状态。一旦步骤Sll的处理结束，则过渡到步骤S2。在该第一实施方式中，如前所述，测量驱动时间，在驱动时间为某值以上的情 况下，通过使压力维持部1100为压力维持状态，使电解液的压力减少，防止第一及第二 隔膜103及104弛缓。其结果，与以往的方法相比，可以将泵的动作效率和泵的流量(喷 出量)保持得较大。在进行前述的处理之后直到时刻t2的时间内，按照图20的流程，通过控制部 1102反复执行步骤S2、步骤S3、步骤S9的处理。在该反复中，就步骤S9的判定而言， 由于压力维持部1100不是初始状态，所以过渡到步骤S2。在前述步骤的反复中，在任 意步骤的处理中时刻I2到来。在该例中，假定控制部1102在时刻t2已接收到驱动停止信 号。在此以后的时刻，当最开始进行了步骤S3的处理时，关于其判定的结果，是过渡到 步骤S4。在步骤S4中，由控制部1102判定压力维持部1100是否为压力维持状态。在 控制部1102判定压力维持部1100为压力维持状态的情况下，过渡到步骤S5。在控制部 1102判定压力维持部1100不是压力维持状态而是初始状态的情况下，过渡到步骤S6。在 图19的例子中，在时刻t2时，由于压力维持部1100是压力维持状态，所以在步骤S4之 后过渡到步骤S5。在步骤S5中，就控制部1102而言，设成压力维持标志=1，过渡到步骤S6。在步骤S6中，在控制部1102的控制下，停止电源IlOc向第一及第二隔膜103 及104施加驱动电压，通过弹簧可动部驱动装置1103的驱动使弹簧可动部205移动，将 作为压力维持部1100的弹簧可动部205设成初始状态。此外，就控制部1102而言，在 空闲时间=0之后利用控制部1102开始测量空闲时间。在图19的例子中，在时刻^第一及第二隔膜103及104在伸展，所以如果使压力维持部1100恢复至初始状态，如图13所示成为第一及第二隔膜103及104弛缓后的状 态。另外，此时，认为电解液的压力成为比初始状态大的值。在步骤S6结束时，过渡 到步骤S7。接着，在步骤S7中，在控制部1102的控制下，在已停止第一及第二隔膜103及 104施加驱动电压的状态下，待机恒定时间。在步骤S7结束时，过渡到步骤S8。接着，在步骤S8中，由控制部1102判定在停止对第一及第二隔膜103及104施 加驱动电压之后控制部1102是否接收到驱动开始信号。在控制部1102判定当停止对第一 及第二隔膜103及104施加驱动电压之后控制部1102已接收到驱动开始信号的情况下， 过渡到步骤S12。在控制部1102判定当停止对第一及第二隔膜103及104施加驱动电压 之后控制部1102未接收到驱动开始信号的情况下，过渡到步骤S7。在图19的例子中，在直到时刻t3的时刻，由控制部1102反复执行步骤S7、步 骤S8的处理。在前述步骤的反复中，在任意步骤的处理中时刻t3到来。在该例子中，假定在 时刻t3控制部1102接收到驱动开始信号。在其以后的时刻，当最开始进行了步骤S8的 处理时，作为其判定的结果，过渡到步骤S12。在步骤S12中，由控制部1102判定是否为压力维持标志=1。在控制部1102判 定为压力维持标志=1的情况下，过渡到步骤S13。在控制部1102判定不是压力维持标 志=1而是压力维持标志=0的情况下，过渡到步骤Si。在图19的例子中，在时刻、时 为压力维持标志=1，所以过渡到步骤S13。在步骤S13中，由控制部1102判定“空闲时间乏空闲时间阈值”的条件是否成 立。在控制部1102判定“空闲时间2空闲时间阈值”的条件成立的情况下，过渡到步 骤Si。在控制部1102判定“空闲时间2空闲时间阈值”的条件不成立的情况下，过渡 到步骤S14。在图19的例子中，由于“(t3"t2) <空闲时间阈值< (t5_t4)”的关系成立，所以 在时刻t3时，“空闲时间<空闲时间阈值”的关系成立。因此，在图19的例子中，在 步骤S13之后过渡到步骤S14。在步骤S14中，就控制部1102而言，将压力维持部1100设成压力维持状态，过 渡到步骤Si。以后，在步骤Sl中，在控制部1102的控制下，开始从电源IlOc向第一及第二 隔膜103和104施加驱动电压，由控制部1102反复执行步骤S2、步骤S3、步骤S9的处 理直到时刻t4。在前述步骤的反复中，在任意步骤的处理中时刻t4到来。在该例中，假定在时 刻、控制部1102接收到驱动停止信号。在其以后的时刻，当最开始进行了步骤S3的处 理时，作为其判定的结果，过渡到步骤S4。然后，步骤S4、步骤S5、步骤S6由控制部1102来执行。然后，步骤S7、步骤S8的处理由控制部1102来执行直至时刻t5。在前述步骤的反复中，在任意步骤的处理中时刻t5到来。在该例中，假定在时 刻、控制部1102接收到驱动开始信号。在其以后的时刻，在最开始进行了步骤S8的处理 时，作为其判定的结果，过渡到步骤S12。此外，随后执行步骤S12，过渡到步骤S13。在图19的例子中，由于(t3_t2) <空闲时间阈值< (t5_t4)的关系成立，所以在时 刻、时“空闲时间>空闲时间阈值”的关系成立。因此，在图19的例子中，在步骤S13 之后过渡到步骤Si。在随后至时刻t7的时间内，所进行的处理与在时刻^结束步骤SO之后进行步骤 Sl的处理至在时刻t2进行步骤S6的处理的时间的处理一样。在上面的说明及图示中，在到了时刻to之后，到步骤SO、步骤Sl的处理结束的 时间非常短，可以忽略。另外，在上面的说明及图示中，在到了时刻t”时刻t6各时刻 之后，处理步骤S2、步骤S3、步骤S9、步骤SlO的任意步骤，直到步骤Sll的处理结束 的时间非常短，可以忽略。另外，在上面的说明及图示中，在到了时刻t2、时刻t4、时刻 t7各时刻之后，处理步骤S9、步骤S2、步骤S3的任意步骤，直到步骤S4、步骤S5、步 骤S6的处理结束的时间非常短，可以忽略。另外，在到了时刻t3、时刻t5各时刻之后， 处理步骤S7、步骤S8的任意步骤，处理步骤S12、步骤S13、步骤S14的任意步骤，直 到步骤Sl的处理结束的时间非常短，可以忽略。在这里，控制部1102管理各步骤的状态的过渡，当需要在各步骤中进行条件判 定时，执行它们的判定。另外，像已经说明的那样，由控制部1102存储称为压力维持标 志的变量的值，由控制部1102利用前述方法设定该值。另外，由控制部1102利用前述 的方法测量驱动时间及空闲时间，由控制部1102存储称为空闲时间阈值和驱动时间阈值 的常数。在步骤SO、步骤S6、步骤S11、步骤S14中，控制部1102对弹簧可动部驱动装 置1103发送用于指示弹簧可动部205的位置的设定或移动所致的弹簧可动部205的位置 的调节的调节指示信号。弹簧可动部驱动装置1103从控制部1102接收调节指示信号时，按照其内容，使 弹簧可动部205移动，调节弹簧可动部205的位置。作为对弹簧可动部205进行位置调节的弹簧可动部驱动装置1103，如前所述， 例如可以使用电磁电机、压电致动器、或超声波电机等各种驱动装置。或者，作为弹 簧可动部驱动装置1103，也可以使用导电性高分子致动器或形状存储合金等各种软致动ο在步骤S4、步骤S9中，控制部1102对弹簧可动部驱动装置1103输出状态表示 指示信号。在弹簧可动部驱动装置1103从控制部1102接收到状态表示指示信号时，对 控制部1102发送表示弹簧可动部205的状态的状态表示信号。如果控制部1102在步骤S4、步骤S9中从弹簧可动部驱动装置1103接收到状态 表示信号，则按照其内容进行上面说明的处理。在步骤Sl中，控制部1102对电源IlOc发送驱动开始信号。在电源IlOc从控 制部1102接收到驱动开始信号时，开始对第一及第二隔膜103及104施加预先决定的驱 动电压。在图19的例子中，驱动电压为0.5Hz、士 1.5V的周期性矩形波。在步骤S6中，控制部1102对电源IlOc发送驱动停止信号。在电源IlOc从控 制部1102接收到驱动停止信号时，停止对第一及第二隔膜103及104施加驱动电压。需要说明的是，在步骤Sl中开始施加驱动电压之后至步骤S6中停止施加驱动电压期间，电源IlOc持续地对第一及第二隔膜103及104施加驱动电压。从以上的作用出发，在本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置中，在 初始状态下，将电解液的压力设成比泵室内部的流体的压力小的合适的值时，即便由于 第一及第二隔膜103、104的各导电性高分子膜的周期性电解伸缩以外的原因而第一及第 二隔膜103、104进行了伸缩的情况下，通过弹性膜部130、弹簧部131及弹簧可动部205 的动作，电解液的压力也可以在某恒定的范围内保持。其结果，始终可以将电解液的压 力保持为比第一及第二泵室107、108的内部的流体的压力小的合适的值。所以，从第一 及第二泵室107、108向电解液室109的方向对第一及第二隔膜103、104施加某恒定范围 的力，所以通过该力，第一及第二隔膜103、104被保持成不松弛而是紧张的状态，第一 及第二隔膜103、104的张力被保持为合适的值。所以，在泵的动作中，第一及第二隔膜 103和104始终成为电解液室109的方向上变形为凸出形状的状态，保持为以恒定范围内 的大小对第一及第二隔膜103和104施加了拉伸方向的应力(牵引力)的状态。该状态 在泵动作时始终被保持，所以导电性高分子膜进行伸展和收缩时的工作，被高效用于第 一及第二泵室107、108的流体的喷出和吸入。S卩，可以增大泵的动作中的工作效率。在 这里，所谓泵的工作效率，定义成施加给泵的电能中泵用于流体的吸入和喷出的工作的 比例。如此，在本发明的前述第一实施方式涉及的流体运送装置中，泵动作时始终将 第一及第二隔膜103及104的拉伸方向的应力(牵引力)保持在合适的范围内，所以第一 及第二隔膜103及104的各导电性高分子膜进行伸展和收缩时的工作，被高效用于第一及 第二泵室107、108的流体的喷出和吸入。特别是就本发明而言，如上面的说明所述，在因第一及第二隔膜103及104的导 电性高分子膜的周期性电解伸缩以外的原因而施加给第一及第二隔膜103及104的张力发 生较大变化的情况下，不仅使用弹性膜部130和弹簧部131，还使用弹簧可动部205来使 第一及第二隔膜103及104的位置发生变化，此时，也可以充分进行第一及第二隔膜103 及104的张力(应力)的调节。如先前所说明的那样，如图49所示，通常，使导电性高 分子致动器进行伸缩动作时的变位振动的中心位置的变化的大小比变位振动的振幅大。 因此，与导电性高分子膜的周期性电解伸缩所导致的电解液室筐体内部分190的体积变 化相比，导电性高分子膜的周期性电解伸缩以外的原因所导致的电解液室筐体内部分190 的体积变化更大。为此，为了在泵的动作中将隔膜的张力保持在恒定范围内，在因导电 性高分子膜的周期性电解伸缩以外的原因而隔膜有很大的形状变化(伸缩)的情况下，适 当进行应力调节(压力的维持调节)是非常重要的。与此相对，在本发明的前述第一实 施方式中，在因第一及第二隔膜103及104的各导电性高分子膜的周期性电解伸缩以外的 原因而第一及第二隔膜103及104有很大形状变化(伸缩)的情况下，使弹簧可动部205 沿着其轴的方向移动，借助弹性膜部130和弹簧部131来调节电解液室109内的电解液 的压力和第一及第二泵室107、108内的流体的压力之差，可以将作用于第一及第二隔膜 103和104的压力适当维持在规定的范围内。需要说明的是，电解液室筐体内部分190的定义遵从于图7中说明的方法。按照本发明的前述第一实施方式，利用控制部1102来测量驱动时间和空闲时 间，由此可以推测施加给第一及第二隔膜103和104的压力的状态。为此，可以在未设置用于检测施加给第一及第二隔膜103和104的压力的力传感器等特别的传感器的情况下 进行控制。其结果，可以简化装置的构成。需要说明的是，在上述的说明中，对流体运送装置具有阀的构成进行说明，在 连续进行恒定量的流体的喷出和吸入的情况下，也可以在各个第一及第二泵室107、108 分别设置不具有阀的开口部一个，以分别从它们的开口部分别反复进行吸入和喷出的形 态使用。此时，在各泵室中，1个开口部兼有喷出口及吸入口的作用。作为第一及第二隔膜103和104分别示出了由聚合物致动器材料构成的例子， 但也可以为与其他膜重叠的层叠结构。例如，为了减小聚合物致动器材料的电压下降的 影响，也可以将导电性大的材料形成于聚合物致动器材料的表面的全体部分或一部分。 在这些情况下，为了不妨碍聚合物致动器材料的动作，优选其他材料由刚性小的材料形 成，或加工成容易变形的形状。另外，也可以由聚合物致动器材料以外的材料形成第一及第二隔膜103和104的 一部分。特别是在由弹性膜形成了第一及第二隔膜103和104的一部分的情况下，使施 加给聚合物致动器材料的张力更均勻，具有顺畅进行泵的动作等效果。通过采用前述的构成，可以构成流量为约10 IOOml/分钟的范围、喷出流体的 最大压力为约1 IOkPa的范围的流体运送装置。不过，不限于前述实施方式，通常可 以对应于必要的流量及压力，设计流体运送装置的形状或大小。在以往例的图48A所示的结构中，两片隔膜被相互固定于中央的1点，所以两片 隔膜分别容易产生褶皱。即，在隔膜的膜的刚性或形状有偏差的情况下，张力集中于隔 膜的连接固定点和周边部的多条线段及其周围的部分。所以，隔膜发生褶皱，隔膜的电 解伸缩的工作未被高效用于泵的吸入和喷出。与此相对，在该第一实施方式中，是第一及第二隔膜103、104的中央部分没有 固定点的结构，通过第一及第二泵室107、108和电解液室109之间的压力差，保持成第 一及第二隔膜103、104不松弛而第一及第二隔膜103、104以合适的张力张紧为凸出形状 的状态。所以，在该第一实施方式的第一及第二隔膜103、104中，张力不会像以往例那 样集中于隔膜的连接固定点和周边部的多条线段及其周围的部分。其结果，防止第一及 第二隔膜103、104发生褶皱，第一及第二隔膜103、104的电解伸缩的工作被高效用于泵 的吸入和喷出。另外，如前所述，与以往例的图48B所示的结构相比，该第一实施方式的流体 运送装置，通过由弹性膜部130、弹簧部131和弹簧可动部205构成的压力维持部1100的 作用，将第一及第二隔膜103、104的张力保持为合适的值，所以可以提高流体的喷出和 吸入的效率。综上，在该第一实施方式的流体运送装置中，弹性膜部130、弹簧部131和弹 簧可动部205具有将施加给第一及第二隔膜103、104的压力维持在合适的范围内的功能 (压力维持功能)。在本说明书中，具有将施加给第一及第二隔膜103及104的压力维持 在规定的范围内的功能的部分称为压力维持部1100。S卩，在该第一实施方式中，弹性膜 部130、弹簧部131和弹簧可动部205构成压力维持部1100。第一及第二隔膜103及104 伸展、第一及第二隔膜103及104的拉伸方向的压力(张力)减小而第一及第二隔膜103 及104弛缓(松弛)时(换言之，第一及第二泵室107、108内流体的压力减小到规定范围之外时)，弹性膜部130和弹簧部131通过它们的弹性在吸出框体部102内的电解液的 方向上发生变形，作用于第一及第二隔膜103及104的压力(张力)被保持在恒定范围内 (换言之，第一及第二泵室107、108内流体的压力被维持在规定的范围)。另外，在第一 及第二隔膜103及104的伸展大的情况下，使弹簧可动部205沿着轴方向朝向筐体部102 内移动，由此使弹性膜部130和弹簧部131在吸出筐体部102内的电解液的方向上变形， 其结果，可以将施加给第一及第二隔膜103及104的压力(张力)保持在恒定范围内。第一及第二隔膜103及104收缩、第一及第二隔膜103及104的拉伸方向的压力 (张力)增大时(换言之，第一及第二泵室107、108内流体的压力增大到规定范围之外 时)，弹性膜部130和弹簧部131在按压框体部102内的电解液的方向上变形，所以第一 及第二隔膜103及104的压力(张力)被保持在恒定范围(换言之，第一及第二泵室107、 108内流体的压力被维持在规定范围)。另外，在第一及第二隔膜103及104的收缩大的 情况下，使弹簧可动部205沿着轴方向朝向筐体部102外移动，由此可以使弹性膜部130 和弹簧部131在向筐体部102内注入电解液的方向上变形，其结果，可以将第一及第二隔 膜103及104的压力(张力)保持在恒定范围内。弹性膜部130和弹簧部131通过它们的弹性，对应于从电解液受到的压力的变化 而被动变形，来调节电解液的压力，将施加给第一及第二隔膜103及104的压力维持在合 适的范围内。与此相对，弹簧可动部205通过来自外部的力在轴方向上进退移动，主动 调节电解液的压力，将施加给第一及第二隔膜103及104的压力维持在合适的范围内。通 过组合它们的作用，可以将施加给第一及第二隔膜103及104的压力(张力)保持在恒定 范围内。即，对应于第一及第二隔膜103及104的变形所致的应力(张力)的变化，作 为电解液室109的壁面的一部分的弹性膜部130，因弹性所致的被动作用和来自外部的力 所致的主动作用而进行变形，由此施加第一及第二隔膜103及104的压力(张力)被保持 在恒定范围(换言之，第一及第二泵室107、108内流体的压力被维持在规定范围)。进而，该第一实施方式的流体运送装置为第一及第二隔膜103、104的中央部分 没有固定点的结构，通过第一及第二泵室107、108和电解液室109之间的压力差，保持 第一及第二隔膜103、104不会松弛而以合适的张力张紧为凸出形状的状态，施加给第一 及第二隔膜103、104的压力(张力)在整个面上被保持为大致均勻的值(换言之，第一及 第二泵室107、108内流体的压力被维持在规定范围)。该状态在泵动作时始终被保持， 所以导电性高分子膜进行伸展和收缩时的工作，被高效用于泵室107、108的流体的喷出 和吸入。基于上述，该第一实施方式的流体运送装置，将从电源IlOc施加的电能中第一 及第二泵室107、108的流体的喷出和吸入的工作所使用的比例称为工作效率，通过前述 的压力维持功能，泵的工作效率与以往的泵相比提高。图中，虽然为了简化表示而将其省略，但例如也可以设置合适的机构部件以使 弹簧部131不会压曲。在本说明书中，是为了对发明的本质部分进行说明而将其省略， 但在其他实施方式中，为了使各部分顺畅地进行机械动作，可以设置例如导向件等合适 的机构部件。具有将施加给第一及第二隔膜103、104的压力维持在规定范围内的功能的部 分即压力维持部1100，如前所述，将电解液室内部的电解液室109的体积保持为合适的值，将电解液的压力保持为合适的值。由此，施加给第一及第二隔膜103、104的压力 (张力)可以保持为合适的值，施加给第一及第二隔膜103、104的压力可以维持在规定的 范围内(换言之，第一及第二泵室107、108内流体的压力可以在规定的范围内维持)。特 别是如该第一实施方式所示，由弹性体(例如弹性膜部)130形成电解液室109的壁面， 只要是弹性体130对应于电解液室内部的压力进行变形的结构，就可以在第一及第二隔 膜103、104的变形程度小的情况下，自动调节电解液室109的内部压力和施加给第一及 第二隔膜103、104的压力(张力)(换言之，电解液室109的内部压力和第一及第二泵室 107、108内流体的压力可以分别在规定的范围内维持)。进而，在第一及第二隔膜103、 104的变形程度大的情况下，利用来自外部的力使弹簧可动部205沿着轴方向进退移动， 由此可以调节电解液室内部的压力和施加给第一及第二隔膜103、104的压力(张力)。另外，在如该第一实施方式所示两片第一及第二隔膜103、104相互反相位进行 伸展和收缩的结构中，两片第一及第二隔膜103、104进行的工作被用于流体的喷出和吸 入，所以可以增大喷出和吸入的工作量。需要说明的是，在上面的说明中，在初始状态下，如图4所示成为弹性膜部130 向外侧鼓起的形状，但也可以如图21所示成为弹性膜部130向内侧鼓起的形状。在图 4的构成中，就初始状态而言，弹簧部131以与自然长度相比进行了收缩的状态设置， 在图21的构成中，就初始状态而言，弹簧部131以与自然长度相比进行了伸展的状态设 置。另外，就任意构成而言，电解液的压力被设成小于第一及第二泵室107、108的流体 的压力的值。由此，第一及第二隔膜103、104成为向电解液室109的方向鼓起的形状， 保持为具有恒定的张力而未弛缓的状态。另外，在上面的说明中，如图4所示成为第一及第二隔膜103、104向电解液室 109的方向鼓起的形状，但也可以如图22所示成为第一及第二隔膜103、104向第一及第 二泵室107、108的方向鼓起的形状。就图4的构成而言，电解液室109的电解液的压力 被设成小于第一及第二泵室107、108的流体的压力的值，就图22的构成而言，电解液室 109的电解液的压力被设成大于第一及第二泵室107、108的流体的压力的值。由此，第 一及第二隔膜103、104成为向第一及第二泵室107、108的方向鼓起的形状，保持为具有 恒定的张力而未弛缓的状态。(第二实施方式)图23A是本发明的第二实施方式涉及的、使用了导电性高分子的流体运送装置 的截面图。在第二实施方式中，使用与前述第一实施方式不同的方法来进行弹簧可动部205 的控制。图23A是表示第二实施方式的流体运送装置的构成的图。在第二实施方式中， 与第一实施方式的构成相比，追加有配置在筐体部102的电解液室109内并对电解液室 109内的电解液的压力进行检测的压力检测部207。压力检测部207例如由压力传感器构 成，必要时(例如在控制部1102有此要求时)检测电解液室109内的电解液的压力，将 所检测的信息向控制部1102输入。另外，即便是该第二实施方式，弹簧部131、弹性膜 部130和弹簧可动部205作为压力维持部1100发挥功能。另外，控制部1102和压力检测部207以外的部分，以与第一实施方式的对应的部分大致相同的构成进行大致相同的动作。接口部1101从流体运送装置的外部接收流体运送装置的驱动动作和停止的命 令。在接口部1101接收到流体运送装置的驱动动作命令时，接口部1101对控制部1102 输出驱动开始信号。另外，在接口部1101接收到流体运送装置的停止命令时，接口部 1101对控制部1102输出驱动停止信号。控制部1102对驱动开始信号及驱动停止信号的接收作出反应，进行流体运送装 置的动作控制。控制部1102存储称为“压力维持标志”的变量的值，用以下说明的方 法对该值进行设定。另外，控制部1102存储称为“压力阈值”的常数。以下，使用图24所示的动作例，对第二实施方式中的流体运送装置的控制方法 进行说明。图24的动作例中的电压、变位和流量的时间变化与图19的动作例中的电压、 变位和流量的时间变化大致相同，但流体运送装置的控制方法稍微不同。图25是表示第二实施方式中的流体运送装置的控制方法的例子的流程图，基本 上在控制部1102的控制下执行。以下，对于图24的动作例，对应用图25的控制方法的情况的例子进行说明。在此处说明的例子中，与图19所示的例子一样，通过弹簧可动部205左右移动 而将作用于第一及第二隔膜103及104的压力维持在规定范围内。即，在时刻^至时刻^的时间、及时刻t3至时刻14的时间、及时刻t6至时刻t7W 时间内，如图14所示，成为弹簧可动部205已移向右侧的状态。由此，在这些时间内， 第一及第二隔膜103及104弛缓，可以在施加了合适的张力的状态下保持第一及第二隔膜 103及104。作为结果，在泵的动作中，其喷出量被保持为较大的值。另外，在前述以外的时间内，如图4所示，弹簧可动部205恢复至初始状态的位 置。如使用图19所说明的那样，在时刻t5和时刻、之间的时间内，在泵的动作前会有长 时间的停止期间，所以第一及第二隔膜103及104的位置返回至接近初始状态的位置。为 此，在时刻、和时刻^之间的时间、及时刻t5和时刻、之间的时间内，在弹簧可动部205 为初始状态的状态下，将作用于第一及第二隔膜103及104的压力维持在规定范围内，所 以泵的喷出量也被保持为较高的值。与前述第一实施方式一样，在以下的说明中为了简单，将弹簧可动部205如图 14所示已移向右侧的状态表述为“压力维持部1100为压力维持状态”。与此相对，将弹 簧可动部205如图4所示位于初始状态的位置表述为“压力维持部1100为初始状态”。首先，就时刻^的初始状态而言，控制部1102接收到驱动开始信号，执行步骤 SO。在步骤SO中，通过控制部1102，将构成压力维持部1100的弹簧部131、弹性膜部 130和弹簧可动部205设成初始状态。S卩，设成如图4所示弹簧可动部205位于初始状态 的位置。换言之，在弹簧可动部205未在初始状态的位置的情况下，驱动弹簧可动部驱 动装置1103，使弹簧可动部205向初始状态的位置移动。不过，在初始状态之前的时间 内，假定在泵的动作已停止的状态下长时间保持。一旦步骤SO结束，则接下来由控制部 1102来执行步骤Si。接着，在步骤Sl中，首先，在控制部1102的控制下，开始通过电源IlOc对第 一及第二隔膜103及104施加驱动电压。驱动电压在这里作为一例如图24所示施加0.5Hz 且为士 1.5V的矩形波。此外，在控制部1102中，设成压力维持标志=0。不过，作为驱动电压的例子，例如也可以考虑正弦波等其他周期函数。接着，在步骤S2中，以恒定时间持续施加驱动电压。一旦步骤S2结束，则接 下来执行步骤S3。接着，在步骤S3中，在控制部1102接收到驱动开始信号之后开始进行步骤S3 的情况下，由控制部1102判定在控制部1102接收到驱动开始信号之后控制部1102是否 已接收到驱动停止信号。另外，由控制部1102判定出控制部1102接收到驱动开始信号 之后已进行步骤S3的情况下，由控制部1102判定在进行了前次步骤S3之后控制部1102 是否已接收到驱动停止信号。在由控制部1102判定为控制部1102已接收到驱动停止信 号的情况下，过渡到步骤S4。在由控制部1102判定控制部1102未接收到驱动停止信号 的情况下，过渡到步骤S9。在图24的动作例中，自时刻tQ起由控制部1102执行步骤SO及步骤Sl及步骤S2 及步骤S3的处理。这些处理在通常的设备中以非常短的时间结束。此外，在图24的动 作例中，作为步骤S3中的控制部1102的判定的结果，过渡到步骤S9。在步骤S9中，由控制部1102判定压力维持部1100是否为初始状态。S卩，由控 制部1102判定弹簧可动部205的位置是否为初始状态的位置。在控制部1102判定压力维 持部1100为初始状态的情况下，过渡到步骤S10。在控制部1102判定压力维持部1100 不是初始状态的情况下，即，在控制部1102判定处于压力维持状态的情况下，过渡到步 马聚S2。在步骤SlO中，由压力检测部207检测电解液的压力。此外，由控制部1102判 定压力检测部207所检测的压力是否为预先决定的压力阈值以上的值。压力阈值的值例 如为 0.09IMPa(0.9atm)以上 0.10IMPa(0.999atm)以下的值。在这里，0.IOlMPa(Iatm) 表示标准大气压(1气压)。作为步骤SlO的判定的结果，在控制部1102判定检测的压 力为压力阈值以上的值的情况下，过渡到步骤S11。在控制部1102判定所检测的压力为 小于压力阈值的值的情况下，过渡到步骤S2。在图24的动作例中，在时刻、以后时刻^之前的时刻，步骤S2、步骤S3、步 骤S9、步骤SlO由控制部1102反复执行。就初始状态而言，电解液的压力被设成比流 体或大气等外部的压力低的值，其结果，第一及第二隔膜103及104成为以适当的张力张 紧的状态。但是，在泵的动作持续时，如上面的说明所述，认为与初始状态相比第一及 第二隔膜103及104发生变形。在这里，考虑与初始状态相比第一及第二隔膜103及104 伸展的情况。此时，作为第一及第二隔膜103及104伸展后的结果，电解液室109的体 积减少，电解液的压力增加。此外，在电解液的压力大于某范围的情况下，如果将其放 置，第一及第二隔膜103及104弛缓，泵的喷出动作的效率降低。目前，就初始状态而言，电解液的压力为小于压力阈值的值，作为电解液的压 力从初始状态起增加的结果，就时刻^而言，假定“电解液的压力=压力阈值”的关系 成立。在如前述所示控制部1102反复进行步骤S2、步骤S3、步骤S9、步骤SlO的处 理期间，时刻ti到来。在时刻ti以后的时刻，当最开始进行步骤SlO的处理时，作为其 判定的结果，过渡到步骤S11。就步骤Sll而言，将压力维持部1100过渡到压力维持状态。即，如图14所示，通过在控制部1102的控制下的弹簧可动部驱动装置1103的驱动，成为弹簧可动部205已 移向右侧的状态。一旦步骤Sll的处理结束，过渡到步骤S2。在第二实施方式中，如前述所示，在检测电解液的压力而电解液的压力成为某 值以上的情况下，通过使压力维持部1100为压力维持状态，防止电解液的压力减少而第 一及第二隔膜103及104弛缓。其结果，与以往的方法相比，可以将泵的动作效率和泵 的流量(喷出量)保持得较大。在前述的处理之后至时刻t2的时间内，按照图25的流程，通过控制部1102反复 执行步骤S2、步骤S3、步骤S9的处理。在该反复中，就步骤S9的判定而言，由于压力 维持部1100不是初始状态，所以过渡到步骤S2。在前述步骤的反复中，在任意步骤的处 理中时刻^到来。在该例中，假定控制部1102在时刻t2已接收到驱动停止信号。在此 以后的时刻，当最开始进行了步骤S3的处理时，关于其判定的结果，是过渡到步骤S4。在步骤S4中，由控制部1102判定压力维持部1100是否为压力维持状态。在 控制部1102判定压力维持部1100为压力维持状态的情况下，过渡到步骤S5。在控制部 1102判定压力维持部1100不是压力维持状态而是初始状态的情况下，过渡到步骤S6。在 图24的例子中，在时刻t2时，由于压力维持部1100是压力维持状态，所以在步骤S4之 后过渡到步骤S5。在步骤S5中，就控制部1102而言，设成压力维持标志=1，过渡到步骤S6。在步骤S6中，在控制部1102的控制下，停止电源IlOc向第一及第二隔膜103 及104施加驱动电压，通过弹簧可动部驱动装置1103的驱动使弹簧可动部205移动，将 作为压力维持部1100的一部分的弹簧可动部205设成初始状态。在图24的例子中，在时刻^第一及第二隔膜103及104伸展，所以如果使压力维 持部1100恢复至初始状态，如图13所示成为第一及第二隔膜103及104弛缓后的状态。 另外，此时，认为电解液的压力成为比压力阈值大的值。在步骤S6结束时，过渡到步骤 S7。接着，在步骤S7中，在控制部1102的控制下，在已停止第一及第二隔膜103及 104施加驱动电压的状态下，待机恒定时间。在步骤S7结束时，过渡到步骤S8。接着，在步骤S8中，由控制部1102判定在停止对第一及第二隔膜103及104施 加驱动电压之后控制部1102是否接收到驱动开始信号。在控制部1102判定当停止对第一 及第二隔膜103及104施加驱动电压之后控制部1102已接收到驱动开始信号的情况下， 过渡到步骤S12。在控制部1102判定当停止对第一及第二隔膜103及104施加驱动电压 之后控制部1102未接收到驱动开始信号的情况下，过渡到步骤S7。在图24的例子中，在直到时刻^的时刻，由控制部1102反复执行步骤S7、步 骤S8的处理。在前述步骤的反复中，在任意步骤的处理中时刻t3到来。在该例子中，假定在 时刻t3控制部1102接收到驱动开始信号。在其以后的时刻，当最开始进行了步骤S8的 处理时，作为其判定的结果，过渡到步骤S12。在步骤S12中，由控制部1102判定是否为压力维持标志=1。在控制部1102判 定为压力维持标志=1的情况下，过渡到步骤S13。在控制部1102判定不是压力维持标 志=1而是压力维持标志=0的情况下，过渡到步骤Si。在图24的例子中，在时刻、时为压力维持标志=1，所以过渡到步骤S13。在步骤S13中，由压力检测部207检测电解液的压力。此外，由控制部1102判 定所检测的压力是否为预先决定的压力阈值以上的值。作为判定的结果，在控制部1102 判定所检测的压力为压力阈值以上的值的情况下，过渡到步骤S14。作为判定的结果， 在所检测的压力为比压力阈值小的值的情况下，过渡到步骤Si。在图24的例子中，由于自时刻t2至时刻t3的时间短，所以时刻、的第一及第二 隔膜103和104的状态，与时刻t2压力维持部1100恢复至初始状态时的第一及第二隔膜 103和104的状态相比几乎没有变化。因此，就时刻t3而言，第一及第二隔膜103和104 弛缓，电解液的压力成为比压力阈值大的值。因此，在图24的例子中，在步骤S13之后 过渡到步骤S14。在步骤S14中，就控制部1102而言，将压力维持部1100设成压力维持状态，过 渡到步骤Si。以后，在步骤Sl中，在控制部1102的控制下，开始从电源IlOc向第一及第二 隔膜103和104施加驱动电压，由控制部1102反复执行步骤S2、步骤S3、步骤S9的处 理直到时刻t4。在前述步骤的反复中，在任意步骤的处理中时刻t4到来。在该例中，假定在时 刻、控制部1102接收到驱动停止信号。在其以后的时刻，当最开始进行了步骤S3的处 理时，作为其判定的结果，过渡到步骤S4。然后，步骤S4、步骤S5、步骤S6由控制部1102来执行。然后，步骤S7、步骤S8的处理由控制部1102来执行直至时刻t5。在前述步骤的反复中，在任意步骤的处理中时刻t5到来。在该例中，假定在时 刻、控制部1102接收到驱动开始信号。在其以后的时刻，在最开始进行了步骤S8的处理 时，作为其判定的结果，过渡到步骤S12。而且，随后执行步骤S12，过渡到步骤S13。在图24的例子中，由于时刻t4至时刻t5的时间长，与动作相伴随的第一及第二 隔膜103和104的变形消失，大致恢复至初始状态的形状。即，如图4所示第一及第二 隔膜103和104的弛缓消失，电解液的压力也成为比压力阈值小的值。因此，在图24的 例子中，在步骤S13之后过渡到步骤Si。在随后至时刻t7的时间内，所进行的处理与在时刻tQ结束步骤SO之后进行步骤 Sl的处理至在时刻t2进行步骤S6的处理的时间的处理一样。在上面的说明及图示中，在到了时刻to之后，到步骤SO、步骤Sl的处理结束的 时间非常短，可以忽略。另外，在上面的说明及图示中，在到了时刻t”时刻t6各时刻 之后，处理步骤S2、步骤S3、步骤S9、步骤SlO的任意步骤，直到步骤Sll的处理结束 的时间非常短，可以忽略。另外，在上面的说明及图示中，在到了时刻t2、时刻t4、时刻 t7各时刻之后，处理步骤S9、步骤S2、步骤S3的任意步骤，直到步骤S4、步骤S5、步 骤S6的处理结束的时间非常短，可以忽略。另外，在到了时刻t3、时刻t5各时刻之后， 处理步骤S7、步骤S8的任意步骤，处理步骤S12、步骤S13、步骤S14的任意步骤，直 到步骤Sl的处理结束的时间非常短，可以忽略。在这里，控制部1102管理各步骤的状态的过渡，当需要在各步骤中进行条件判 定时，执行它们的判定。另外，像已经说明的那样，由控制部1102存储称为压力维持标志的变量的值，由控制部1102利用前述方法设定该值。另外，就步骤SlO及步骤S13而 言，控制部1102对压力检测部207输出压力检测指示信号。在压力检测部207从控制部 1102接收到压力检测指示信号时，检测电解液的压力，将所检测的压力向控制部1102输 出。控制部1102存储称为压力阈值的常数，在步骤SlO及步骤S13中，由控制部1102 进行从压力检测部207接收的压力和压力阈值的比较。在步骤SO、步骤S6、步骤S11、步骤S14中，控制部1102对弹簧可动部驱动装 置1103发送用于指示弹簧可动部205的位置的设定或移动所致的弹簧可动部205的位置 的调节的调节指示信号。弹簧可动部驱动装置1103从控制部1102接收调节指示信号时，按照其内容，使 弹簧可动部205移动，调节弹簧可动部205的位置。在步骤S4、步骤S9中，控制部1102对弹簧可动部驱动装置1103输出状态表示 指示信号。在弹簧可动部驱动装置1103从控制部1102接收到状态表示指示信号时，对 控制部1102发送表示弹簧可动部205的状态的状态表示信号。如果控制部1102在步骤S4、步骤S9中从弹簧可动部驱动装置1103接收到状态 表示信号，则按照其内容进行上面说明的处理。在步骤Sl中，控制部1102对电源IlOc发送驱动开始信号。在电源IlOc从控 制部1102接收到驱动开始信号时，开始对第一及第二隔膜103及104施加预先决定的驱 动电压。在图24的例子中，驱动电压为0.5Hz、士 1.5V的周期性矩形波。在步骤S6中，控制部1102对电源IlOc发送驱动停止信号。在电源IlOc从控 制部1102接收到驱动停止信号时，停止对第一及第二隔膜103及104施加驱动电压。需要说明的是，在步骤Sl中开始施加驱动电压之后至步骤S6中停止施加驱动电 压期间，电源IlOc持续地对第一及第二隔膜103及104施加驱动电压。从以上的作用出发，在本发明的前述第二实施方式涉及的流体运送装置中，在 初始状态下，将电解液的压力设成比泵室内部的流体的压力小的合适的值时，即便由于 第一及第二隔膜103、104的各导电性高分子膜的周期性电解伸缩以外的原因而第一及第 二隔膜103、104进行了伸缩的情况下，通过弹性膜部130、弹簧部131及弹簧可动部205 的动作，电解液的压力也可以在某恒定的范围内保持。其结果，始终可以将电解液的压 力保持为比第一及第二泵室107、108的内部的流体的压力小的合适的值。因此，从第一 及第二泵室107、108向电解液室109的方向对第一及第二隔膜103、104施加某恒定范围 的力，所以通过该力，第一及第二隔膜103、104被保持成不松弛而是紧张的状态，第一 及第二隔膜103、104的张力被保持为合适的值。所以，在泵的动作中，第一及第二隔膜 103和104始终成为在电解液室109的方向上变形为凸出形状的状态，保持为以恒定范围 内的大小对第一及第二隔膜103和104施加了拉伸方向的应力(牵引力)的状态。该状 态在泵动作时始终被保持，所以导电性高分子膜进行伸展和收缩时的工作，被高效用于 第一及第二泵室107、108的流体的喷出和吸入。S卩，可以增大泵的动作中的工作效率。 在这里，所谓泵的工作效率，定义成施加给泵的电能中泵用于流体的吸入和喷出的工作 的比例。如此，在本发明的前述第一实施方式涉及的泵中，泵动作时始终将第一及第二隔膜103及104的拉伸方向的应力(牵引力)保持在合适的范围内，所以第一及第二隔 膜103及104的各导电性高分子膜进行伸展和收缩时的工作，被高效用于第一及第二泵室 107、108的流体的喷出和吸入。特别是就本发明而言，如上面的说明所述，在因第一及第二隔膜103及104的导 电性高分子膜的周期性电解伸缩以外的原因而施加给第一及第二隔膜103及104的张力发 生较大变化的情况下，不仅使用弹性膜部130和弹簧部131，还使用弹簧可动部205来使 第一及第二隔膜103及104的位置发生变化，此时，也可以充分进行第一及第二隔膜103 及104的张力(应力)的调节。如先前所说明的那样，如图49所示，通常，使导电性高 分子致动器进行伸缩动作时的变位振动的中心位置的变化的大小比变位振动的振幅大。 因此，与导电性高分子膜的周期性电解伸缩所导致的电解液室筐体内部分190的体积变 化相比，导电性高分子膜的周期性电解伸缩以外的原因所导致的电解液室筐体内部分190 的体积变化更大。为此，为了在泵的动作中将第一及第二隔膜103及104的张力保持在 恒定范围内，在因导电性高分子膜的周期性电解伸缩以外的原因而隔膜有很大的形状变 化(伸缩)的情况下，适当进行应力调节(压力的维持调节)是非常重要的。与此相对， 在本发明的前述第二实施方式中，在因第一及第二隔膜103及104的各导电性高分子膜的 周期性电解伸缩以外的原因而第一及第二隔膜103及104有很大形状变化(伸缩)的情况 下，使弹簧可动部205沿着其轴的方向移动，借助弹性膜部130和弹簧部131来调节电解 液室109内的电解液的压力和第一及第二泵室107、108内的流体的压力之差，可以将作 用于第一及第二隔膜103和104的压力适当维持在规定的范围内。需要说明的是，电解液室筐体内部分190的定义遵从于图7中说明的方法。按照本发明的前述第二实施方式，可以通过测量电解液的压力来准确地检测出 作用于第一及第二隔膜103和104的压力的状态。为此，可以准确地进行第一及第二隔 膜103和104的应力的调节(压力的维持调节)。其结果，可以提高泵的动作的效率。需要说明的是，在前述第一实施方式及第二实施方式中，虽然为了简化表示而 将其省略，但例如也可以设置合适的机构部件以使弹簧部131不会压曲。S卩，在前述第 一实施方式及第二实施方式的图1 图23A中，是为了对发明的本质部分进行说明而省略 了这样的机构部件的图示，但在其他实施方式中，为了使各部分顺畅地进行机械动作， 可以设置例如导向件等合适的机构部件。以下，关于具有导向件的例子，作为一例，对 第一实施方式的变形例进行说明。图23B、图23C、图23D示出本发明的第一实施方式的变形例。在该第一实施 方式的变形例中，在弹簧部131和弹性膜部130之间插入有棒状构件的连结部133。连结 部133连结弹簧部131的一端和弹性膜部130，在两者之间进行力的传递。另外，在弹 簧部131的周围形成有圆筒状的导向部132，具有防止构成另一端与弹簧可动部205连结 的弹簧部131的螺旋弹簧的压曲的作用。连结部133的前端部133a构成为活塞状，前端 部133a被弹簧部131的一端固定，而且，可以在导向部132内顺畅移动。由导向部132 和连结部133的前端部133a围成的空间，可以被密闭，也可以不密闭而使电解液进入其 中。需要说明的是，图23B示出弹簧部131伸展后的状态，图23C示出弹簧部131收 缩后的状态。另外，在该变形例中，在由导向部132和连结部133的前端部133a围成的空间 通过O形圈等密封构件133b密闭成可以滑动的情况下，也可以通过该密闭空间内部的气 体131G的弹性起到弹簧部131的作用。此时，弹簧可动部205的端部也与第二连结部 133A连结，由第二连结部133A的前端部133a围成的空间通过O形圈等密封构件133b密 闭成可以滑动，而且通过弹簧可动部205的轴方向的移动，第二连结部133A可以在导向 件部132内可以滑动。在圆筒状的导向部132内密闭的气体131G，作为弹性部的其他例 发挥功能。将使用该气体131G的情况的例子示于图23D。在这里，作为弹簧部131， 利用气体131G的弹性来代替螺旋弹簧。另外，当在导向部132和连结部133之间有摩擦 部分的情况下，通过使用润滑性高的离子液体作为电解液，具有降低该摩擦的效果。需要说明的是，在上面的说明中，通过将电解液的压力保持比某值小的值来防 止隔膜弛缓。此时，判定由压力检测部检测出的压力是否为压力阈值以上的值，在判定 由前述压力检测部检测出的压力为压力阈值以上的值时，通过使前述电解液室的壁面的 一部分移动或变形来使前述压力维持部动作，以将作用于前述隔膜的压力维持在规定范 围内。与此相对，也可以通过将电解液的压力保持为比某值大的值来防止隔膜弛缓。此 时，判定由压力检测部检测出的压力是否为压力阈值以下的值，在判定由前述压力检测 部检测出的压力为压力阈值以下的值时，通过使前述电解液室的壁面的一部分移动或变 形来使前述压力维持部动作，以将作用于前述隔膜的压力维持在规定范围内。(第三实施方式)图26是本发明的第三实施方式涉及的、使用了导电性高分子的流体运送装置的 截面图。图26的流体运送装置具备筐体部102、第一隔膜103、第二隔膜104、第一泵 室107、第二泵室108、电解液室109、布线部IlOa和110b、第一及第二吸入口 Illa和 111b、第一及第二喷出口 113a和113b、第一及第二吸入阀121和123、第一及第二喷出 阀122和124、第一力传递部141和第二力传递部142、导电性高分子膜伸缩部140、弹 性膜部130、电源(第一电源)110c、第二电源302c、对置电极部301、和布线部302a、 302b。第二电源302c，分别借助布线部302a、302b而与导电性高分子膜伸缩部140和对 置电极部301连接，可以向导电性高分子膜伸缩部140施加电压。第一及第二力传递部141及142、导电性高分子膜伸缩部140、弹性膜部130， 如以下的说明所示作为压力维持部1110起作用。另外，关于第一隔膜103和第二隔膜 104，以下为了简单起见而将其简称为隔膜。在第三实施方式中，压力维持部1110以外的各部分的构成、和这些部分所致的 流体的吸引和喷出的动作，与第一实施方式一样。接着，对第三实施方式中的压力维持部1110的作用进行说明。弹性膜部130由弹性体构成，以从外侧堵塞比第一实施方式的圆形贯通孔102h 小且在筐体部102的侧壁102s形成的圆形贯通孔102j并且在初始状态下向筐体部102的 外侧凸出的形状，将弹性膜部130的外缘部固定在筐体部102的侧壁102s。导电性高分 子膜伸缩部140对置配置且由2片长方形的导电性高分子膜构成，被保持为以拉伸方向的 张力张紧的状态，所述拉伸是在沿着贯通孔102j的轴方向的长边方向上的拉伸。2片导 电性高分子膜伸缩部140的一端被固定在筐体部102的侧壁102s的内面的贯通孔102j的周围，同时另一端配置在电解液室109内且长方形膜状的第二力传递部142被固定。长 方形膜状的第一力传递部141，一端固定在第二力传递部142的中央部，另一端固定在弹 性膜部130的中央部，连结第二力传递部142的中央部和弹性膜部130的中央部。第一 及第二力传递部141和142分别由刚性大的材料构成。作为刚性大的材料，例如考虑聚 丙烯、不锈钢等。在不锈钢的情况下，优选进行提高耐化学性的表面处理。第二力传递 部142在图26中与导电性高分子膜伸缩部140的左端连接，被保持为从导电性高分子膜 伸缩部140施加向右的力的状态。在从第二力传递部142向导电性高分子膜伸缩部140 施加向左的力的同时，从筐体部102施加向右的力，由此，导电性高分子膜伸缩部140如 前所述施加了沿着长边方向即图26的左右拉伸的方向的张力的状态。第一及第二力传递 部142和141相互固定而成为一体发挥作用，将导电性高分子膜伸缩部140的张力向弹性 膜部130传递。S卩，从第一力传递部141向弹性膜部130施加向右的力。像已经说明的那样，通常，在使用了导电性高分子膜的隔膜型泵中，因导电性 高分子膜的周期性电解伸缩以外的原因而隔膜的面积或形状或配置发生变化，会有施加 给隔膜的压力(张力)发生变化的情况。此时，在第三实施方式中，通过由第一及第二力 传递部141及142、导电性高分子膜伸缩部140、和弹性膜部130构成的压力维持部1110 的作用，施加给隔膜103及104的张力被保持在恒定范围内。图27是表示在第三实施方式中由于前述的原因等而施加给隔膜103及104的张 力发生变化时的隔膜103及104的应力调节(压力维持调节)的情形的例子的图。具体 而言，图27示出在隔膜103和104以前述的原因伸展后的、隔膜103及104的应力的调 节(压力维持调节)的情形。在隔膜103和104以前述的原因进行了伸展的情况下，通 过电解伸缩使导电性高分子膜伸缩部140收缩。由此，如图27所示，第一及第二力传递 部141和142向右侧移动，弹性膜部130的鼓起增大。由此，电解液室109的体积及压 力保持大致恒定。作为结果，施加给隔膜103及104的张力也保持在合适的范围，与以 往例相比，可以使泵的动作效率提高。不过，第三实施方式中的电解液室109表示由隔膜103及104、筐体部102和弹 性膜部130包围的空间部分。另外，在进行隔膜103及104的应力调节(压力维持调节) 时，用于使导电性高分子膜伸缩部140进行电解伸缩的对置电极使用对置电极部301。对 置电极部301固定在导电性高分子膜伸缩部140的2片导电性高分子膜中下侧的导电性高 分子膜附近的、筐体部102的侧壁102s的内面(在筐体部102为导体的情况下，与筐体 部102在绝缘的状态下固定)。第二电源302c与该对置电极部301、导电性高分子膜伸 缩部140的2片导电性高分子膜中的上侧导电性高分子膜连接。利用第二电源302c向对 置电极部301和导电性高分子膜伸缩部140之间施加电压，由此可以使导电性高分子膜伸 缩部140进行电解伸缩。也可以用构成隔膜103及104的导电性高分子膜代用该对置电 极部301。另外，为了有效进行导电性高分子膜伸缩部的电解伸缩，可以设计对置电极 部301的形状或大小或位置。另外，隔膜103及104的应力调节(压力维持调节)可以 一直(常时)进行，还可以以任意的时间间隔进行，或可以在流体运送装置的起动时或保 养时等进行。另外，也可以使电源(第一电源)110c和第二电源302c为共用。另外， 也可以在制造过程中进行隔膜103及104的应力调节(压力维持调节)。本说明书中的 隔膜103及104的应力调节(压力维持调节)，可以在包括前述的例子的任意定时实施。在当未进行隔膜103及104的应力调节(压力维持调节)时将施加给导电性高分子膜伸缩 部140的电压断开的情况下，该部分的消耗电力降低，而且，导电性高分子膜伸缩部140 的长度保持大致恒定，可以适当保持施加给隔膜103及104的压力。另外，可以通过例如在电解液室内部设置压力传感器(例如作为先前的压力检 测部207的一例的传感器)检测出施加给隔膜103及104的压力是否为合适的值。另外， 也可以通过测量当对构成隔膜103及104的导电性高分子膜施加电压时流过的电流，来检 测出施加给隔膜103及104的压力是否合适。在前述的说明中，所说明的情况是在隔膜103及104伸展而施加给隔膜103及 104的压力(张力)小于目标值时，通过使导电性高分子膜伸缩部140收缩而对隔膜103 及104的压力进行调节的情况，与此相反，例如在隔膜103及104收缩而隔膜103及104 的压力(张力)大于目标值时，通过使导电性高分子膜伸缩部140伸长而对施加给隔膜 103及104的压力进行调节。如第三实施方式所述，通过导电性高分子膜的电解伸缩来调节电解液室109的 体积，就由此对施加给隔膜103及104的压力(张力)进行调节的结构而言，压力维持部 1110为轻量，具有即便在动作时也安静的优点。需要说明的是，就前述说明的图27的一部分而言，省略了用于使导电性高分子 膜伸缩部140进行电解伸缩的第二电源302c、布线3021、302b、和对置电极301，但可以 使用图26的构成。图28是表示进行压力维持部1110的控制的本发明的第三实施方式涉及的流体运 送装置的构成的图。在该图28中，与图26相比，追加了接口部1101和控制部1102。接口部1101从流体运送装置的外部接收流体运送装置的驱动动作和停止的命 令。在接口部1101接收到流体运送装置的驱动动作命令时，接口部1101对控制部1102 输出驱动开始信号。另外，在接口部1101接收到流体运送装置的停止命令时，接口部 1101对控制部1102输出驱动停止信号。控制部1102对驱动开始信号及驱动停止信号的接收作出反应，进行流体运送装 置的动作控制。如上面的说明所述，在第三实施方式中，通过导电性高分子膜伸缩部140的电 解伸缩进行应力调节(压力维持调节)，但在导电性高分子膜伸缩部140的长度为图26 所示的状态时，表述为“压力维持部1110处于初始状态”。另外，在如图27所示与初 始状态相比导电性高分子膜伸缩部140收缩而弹性膜部130向外侧鼓起的状态时，表述为“压力维持部1110处于压力维持状态”。此时，在第三实施方式中，例如也可以使用图 20的流程图所示的控制方法，按照图19所示的动作例，对流体运送装置进行控制。就图20的、步骤SO、步骤S6、步骤S11、步骤S14而言，控制部1102对第二 电源302c发送用于指示通过电解伸缩对导电性高分子膜伸缩部140的长度进行调节的调 节指示信号。在第二电源302c从控制部1102接收调节指示信号时，按照其内容，通过电解伸 缩对导电性高分子膜伸缩部140的长度进行调节。在步骤S4、步骤S9中，第二电源302c对控制部1102发送表示压力维持部1110 的状态的状态表示信号。控制部1102在步骤S4、步骤S9中接收到状态表示信号时，按照其内容，进行 上面说明的处理。在步骤Sl中，控制部1102对电源IlOc发送驱动开始信号。电源IlOc从控制 部1102接收到驱动开始信号时，开始对隔膜103及104施加预先决定的驱动电压。在图 19的例子中，驱动电压为0.5Hz且士 1.5V的周期性矩形波。在步骤S6中，控制部1102对电源IlOc发送驱动停止信号。电源IlOc从控制 部1102接收到驱动停止信号时，停止对隔膜103及104施加驱动电压。关于第二电源302c从控制部1102接收到调节指示信号时的、通过电解伸缩进行 的导电性高分子膜伸缩部140的长度的调节方法，例如考虑以下的方法。首先，作为第一个例子，仅在第二电源302c从控制部1102接收到调节指示信号 时，按照其内容，考虑如下所示的方法，即，将用于进行电解伸缩的电压以恒定时间从 第二电源302c施加给导电性高分子膜伸缩部140和对置电极部301之间，在除此时以外 的时候，第二电源302c断开导电性高分子膜伸缩部140和对置电极部301之间的电压的 方法。在该方法中，可以降低导电性高分子膜伸缩部140的电解伸缩所必需的电力。另外，作为其他例子，在第二电源302c从控制部1102接收到调节指示信号时， 按照其内容，也考虑如下所示的方法，即，将用于进行电解伸缩的电压以恒定时间从第 二电源302c施加给导电性高分子膜伸缩部140和对置电极部301之间，然后，以某已经 决定的时间间隔由第二电源302c反复施加规定的电压的方法。在该方法中，通过对断开 电压时的导电性高分子膜伸缩部140的长度变化进行修正，可以进行更准确的隔膜103、 104的压力维持调节。另外，进而作为其他例子，也考虑到在第二电源302c从控制部110接收到调节 指示信号时由第二电源302c持续施加用于进行电解伸缩的电压的方法。在该方法中，由 于对导电性高分子膜伸缩部140持续施加电压，所以有隔膜的牵引力保持恒定的优点。 另外，作为其他方法，也可以考虑使从第二电源302c施加的电压随时间一起变化的方 法。具体而言，考虑在接收到调节指示信号后马上施加大的电压、然后以恒定时间持续 施加小电压的方法。在该方法中，可以在接收到调节指示信号之后马上实施隔膜的牵引 力调节，随后也可以持续地防止隔膜的牵引力发生变化。(第四实施方式)图29是本发明的第四实施方式涉及的、使用了导电性高分子的流体运送装置的 截面图。图29的流体运送装置具备筐体部102、第一隔膜103、第二隔膜104、第一泵 室107、第二泵室108、电解液室109、布线部IlOa和110b、第一及第二吸入口 Illa和 111b、第一及第二喷出口 113a和113b、第一及第二吸入阀121和123、第一及第二喷出 阀122和124、导电性高分子膜伸缩部140、弹性膜部130、电源(第一电源)110c、第二 电源302c、对置电极部301、布线部302a、302b、接口部1101、和控制部1102。导电性 高分子膜伸缩部140和弹性膜部130如以下的说明所示作为压力维持部1111起作用。另 外，关于第一隔膜103和第二隔膜104，以下为了简单起见将其简称为隔膜。第二电源 302c分别借助布线部302a、302b与导电性高分子膜伸缩部140和对置电极部301连接， 可以向导电性高分子膜伸缩部140施加电压。在第四实施方式中，压力维持部1111以外的各部分的构成、和由这些部分所致 的流体的吸引和喷出的动作，与前述的第二实施方式一样。接着，对第四实施方式中的压力维持部1111的作用进行说明。弹性膜部130由弹性体构成，以从内侧堵塞比第一实施方式的圆形贯通孔102h 小且比贯通孔102j大并在筐体部102的侧壁102s形成的圆形贯通孔102k并且在初始状态 下从电解液室109的外侧向电解液室109内凸出的形状，弹性膜部130的外缘部被固定在 筐体部102的侧壁102s。导电性高分子膜伸缩部140由1片长方形的导电性高分子膜构 成，保持为在筐体部102的侧壁102s和弹性膜部130之间以在沿着长边方向拉伸的方向上 的张力张紧的状态。另外，导电性高分子膜伸缩部140如图29所示，分别是沿着贯通孔 102j的轴方向的长边方向的一端固定在与形成有贯通孔102k的筐体部102的侧壁102s对 置的侧壁102s，另一端固定在弹性膜部130的中央部。筐体部102由刚性的大的材料构 成。筐体部102与图29的导电性高分子膜伸缩部140的左端连接，从导电性高分子膜伸 缩部140施加向右的力。从筐体部102向导电性高分子膜伸缩部140施加向左的力，从 弹性膜部130施加向右的力，由此，导电性高分子膜伸缩部140如前述所示保持为施加沿 着长边方向即图29的左右方向拉伸的方向的张力的状态。从导电性高分子膜伸缩部140 向弹性膜部130施加向左的力。像已经说明的那样，通常，在使用了导电性高分子膜的隔膜型泵中，因导电性 高分子膜的周期性电解伸缩以外的原因而隔膜的面积或形状或配置发生变化，会有施加 给隔膜的压力(张力)发生变化的情况。此时，在第四实施方式中，通过由导电性高分 子膜伸缩部140和弹性膜部130构成的压力维持部1111的作用，施加给隔膜103及104 的张力被保持在恒定范围内。图30是表示在第四实施方式中由于前述的原因等而施加给隔膜103及104的张 力发生变化时的隔膜103及104的应力调节(压力维持调节)的情形的例子的图。具体 而言，图30示出在隔膜103和104以前述的原因伸展时的、隔膜103及104的应力的调 节(压力维持调节)的情形。在隔膜103和104以前述的原因伸展的情况下，通过电解伸 缩使导电性高分子膜伸缩部140收缩。由此，如图30所示，弹性膜部130的鼓起增大。 由此，电解液室109的体积及压力保持大致恒定。作为结果，施加给隔膜的张力也保持 在合适的范围，与以往例相比，可以使泵的动作效率提高。不过，第四实施方式中的电解液室109表示由隔膜103及104、筐体部102和弹 性膜部130包围的空间部分。另外，在进行隔膜103及104的应力调节(压力维持调节) 时，用于使导电性高分子膜伸缩部140进行电解伸缩的对置电极使用对置电极部301。对 置电极部301固定成从弹性膜部130附近的、筐体部102的侧壁102s的内面向电解液室 109内突出。第二电源302c与该对置电极部301、导电性高分子膜伸缩部140连接。利 用第二电源302c在该对置电极部301和导电性高分子膜伸缩部140之间施加电压，由此 可以使导电性高分子膜伸缩部140进行电解伸缩。为了有效进行导电性高分子膜伸缩部 140的电解伸缩，可以设计对置电极部301的形状或大小或位置。可以使电源(第一电 源)1 IOc和第二电源302c为共用。也可以用构成隔膜103及104的导电性高分子膜代用该 对置电极部301。另外，隔膜103及104的应力调节(压力维持调节)可以一直进行，还 可以以任意的时间间隔进行，或可以在流体运送装置的起动时或保养时等进行。另外，也可以在制造过程中进行隔膜103及104的应力调节(压力维持调节)。本说明书中的 隔膜103及104的应力调节(压力维持调节)，可以在包括前述的例子的任意定时实施。 在当未进行隔膜103及104的应力调节(压力维持调节)时将施加给导电性高分子膜伸缩 部140的电压断开的情况下，该部分的消耗电力降低，而且，导电性高分子膜伸缩部140 的长度保持大致恒定，可以适当保持施加给隔膜103及104的压力。另外，可以通过例如在电解液室内部设置压力传感器(例如作为先前的压力检 测部207的一例的传感器)检测出施加给隔膜103及104的压力是否为合适的值。另外， 也可以通过测量当对构成隔膜103及104的导电性高分子膜施加电压时流过的电流，来检 测出施加给隔膜103及104的压力是否合适。需要说明的是，图30中用虚线示出初始状态下的隔膜103及104和弹性膜部130 的位置。在第四实施方式的构成中，弹性膜部130的中心部分与导电性高分子膜伸缩部 140连接，所以成为在导电性高分子膜伸缩部140的长度不发生变化时，弹性膜部130的 中心部分无法从某位置向右侧移动的结构。与此相反，在第三实施方式的构成中，成为 在导电性高分子膜伸缩部140的长度不发生变化时，弹性膜部130的中心部分从某位置向 左侧移动的结构。通过组合这些结构，也可以成为在导电性高分子膜伸缩部140的长度 不发生变化时，弹性膜部130的中心部分仅能在某两点之间移动的结构。进一步，通过适当设定导电性高分子膜伸缩部140的长度，也可以在导电性高 分子膜伸缩部140的长度不发生变化时，完全固定弹性膜部130的中心部分。使用这些 结构，对弹性膜部130的形状进行控制，由此也可以更准确地调节施加给隔膜103及104 的压力。图31是这些结构的例子，通过组合沿2个方向拉伸的导电性高分子膜伸缩部 140，来控制弹性膜部130的形状，可以更准确地调节施加给隔膜103及104的压力。在 图31中，配置三个导电性高分子膜伸缩部140，位于上部和下部的2个导电性高分子膜伸 缩部140的连接与图26的导电性高分子膜伸缩部140—样。另外，位于中间的1个导电 性高分子膜伸缩部140如图29所示左端与筐体部120连接，右端与弹性膜部130连接。图31的例子认为是第四实施方式或第三实施方式的变形例。需要说明的是，就前述说明的图30及图31的一部分而言，省略了用于使导电性 高分子膜伸缩部140进行电解伸缩的第二电源302c、布线3021、302b、和对置电极301， 但可以使用图29的构成。如上面的说明所述，在第四实施方式中，通过导电性高分子膜伸缩部140的电 解伸缩进行应力调节(压力维持调节)，但为了在此处进行说明，在导电性高分子膜伸缩 部140的长度为图29所示的状态时，表述为“压力维持部1111处于初始状态”。另外， 在如图30所示与初始状态相比导电性高分子膜伸缩部140收缩而弹性膜部130向内侧鼓 起的状态时，表述为“压力维持部1111处于压力维持状态”。此时，在第四实施方式 中，也与前述的实施方式一样，例如也可以使用图20的流程图所示的控制方法，按照图 19所示的动作例，对流体运送装置进行控制。(第五实施方式)图32是本发明的第五实施方式涉及的、使用了导电性高分子的流体运送装置的 截面图。图32的流体运送装置具备筐体部102、第一隔膜103、第二隔膜104、第一泵 室107、第二泵室108、电解液室109、布线部IlOa和110b、第一及第二吸入口 Illa和 111b、第一及第二喷出口 113a和113b、第一及第二吸入阀121和123、第一及第二喷出 阀122和124、弹簧部131、作为弹性部的一例的导电性高分子膜电解液室壁部150、电源 (第一电源)110c、第二电源302c、对置电极部301、布线部302a、302b、接口部1101、 和控制部1102。弹簧部131和导电性高分子膜电解液室壁部150如以下的说明所示作为 压力维持部1112起作用。另外，关于第一隔膜103和第二隔膜104，以下为了简单起见 将其简称为隔膜。第二电源302c分别借助布线部302a、302b与导电性高分子膜电解液 室壁部150和对置电极部301连接，可以向导电性高分子膜电解液室壁部150施加电压。在第五实施方式中，压力维持部1112以外的各部分的构成、和这些部分所致的 流体的吸引和喷出的动作，与前述的第二实施方式一样。接着，对第五实施方式中的压力维持部1112的作用进行说明。导电性高分子膜电解液室壁部150由导电性高分子膜构成，以从外侧堵塞在筐 体部102的侧壁102s形成的圆形的贯通孔102m且在初始状态下向筐体部102的外侧凸出 的形状，导电性高分子膜电解液室壁部150的外缘部固定在筐体部102的侧壁102s。弹 簧部131的形状例如为具有弹性的金属或合成树脂卷成螺旋状而成的形状，具有作为螺 旋弹簧的功能。弹簧部131在已从稳定状态收缩的状态下，两端以与筐体部102的侧壁 102s和导电性高分子膜电解液室壁部150相接的形式固定。导电性高分子膜电解液室壁 部150从弹簧部131受到向右的力而向右变形为凸出形状。在图32中，考虑形成导电性 高分子膜电解液室壁部150的导电性高分子膜的膜厚小的情况，示出变形为近似圆锥的 形状的情况下的例子。像已经说明的那样，通常，就使用了导电性高分子膜的隔膜型泵而言，因导电 性高分子膜的周期性电解伸缩以外的原因而隔膜的面积或形状或配置发生变化，会出现 施加给隔膜的压力(张力)发生变化的情况。此时，在第五实施方式中，通过由导电性 高分子膜电解液室壁部150和弹簧部131构成的压力维持部1112的作用，施加给隔膜的 张力被保持在恒定范围内。图33是表示在第五实施方式中因前述的原因等施加给隔膜103及104的张力发 生了变化时隔膜103及104的应力调节(压力维持调节)的情形的例子的图。具体而言， 图33示出隔膜103和104以前述的原因伸展时的、隔膜103及104的应力调节(压力维 持调节)的情形。在隔膜103和104以前述的原因伸展的情况下，通过电解收缩使导电 性高分子膜电解液室壁部150的面积收缩。由此，如图33所示，导电性高分子膜电解液 室壁部150的鼓起变小。由此，电解液室109的体积及压力保持大致恒定。作为结果， 施加给隔膜103及104的张力也保持在合适的范围，与以往例相比，可以使泵的动作效率 提尚。不过，第五实施方式中的电解液室109，表示由隔膜103及104、筐体部102、 和导电性高分子膜电解液室壁部150包围的空间部分。另外，在进行隔膜103及104的 应力调节(压力维持调节)时，用于使导电性高分子膜电解液室壁部150电解伸缩的对置 电极使用对置电极部301。通过第二电源302c在该对置电极部301和导电性高分子膜电 解液室壁部150之间施加电压，由此可以使导电性高分子膜电解液室壁部150电解伸缩。也可以用构成隔膜103及104的导电性高分子膜代用该对置电极部301。对置电极部301 的形状或大小或位置可以任意设计。另外，隔膜103及104的应力调节(压力维持调节) 可以一直进行，也可以以任意的时间间隔进行，或者可以在流体运送装置的起动时或保 养时等进行。在当不进行隔膜103及104的应力调节(压力维持调节)时将施加给导电 性高分子膜电解液室壁部150电压断开的情况下，该部分的消耗电力降低，导电性高分 子膜电解液室壁部150的面积保持大致恒定，所以可以适当保持隔膜103及104的压力。另外，可以通过例如在电解液室内部设置压力传感器(例如作为先前的压力检 测部207的一例的传感器)检测出施加给隔膜103及104的压力是否为合适的值。另外， 也可以通过测量当对构成隔膜103及104的导电性高分子膜施加电压时流过的电流，来检 测出施加给隔膜103及104的压力是否合适。在前述的说明中，对隔膜103及104伸展后使导电性高分子膜电解液室壁部150 的面积收缩的情况进行了说明，与此相反，例如也可以在隔膜103及104收缩后，通过扩 大导电性高分子膜电解液室壁部150的面积，对施加给隔膜103及104的压力进行调节。需要说明的是，就前述说明的图33的一部分而言，省略了用于使导电性高分子 膜伸缩部140进行电解伸缩的第二电源302c、布线3021、302b、和对置电极301，但可以 使用图32的构成。需要说明的是，在图33中，用虚线示出初始状态下的隔膜103及104和弹性膜 部150的位置。如上面的说明所述，在第五实施方式中，通过与电解伸缩相伴随的导电性高分 子膜电解液室壁部150的面积变化进行应力调节(压力维持调节)，但为了在此处进行说 明，在导电性高分子膜电解液室壁部150处于图32所示的状态时，表述为“压力维持部 1112处于初始状态”。另外，在如图33所示与初始状态相比导电性高分子膜电解液室壁 部150收缩而导电性高分子膜电解液室壁部150向内侧变形的状态时，表述为“压力维持 部1112处于压力维持状态”。此时，在第五实施方式中，与前述的实施方式一样，例如 也可以使用图20的流程图所示的控制方法，按照图19所示的动作例，对流体运送装置进 行控制。在第五实施方式中，对应于隔膜103及104的变形所致的应力(张力)变化，通 过导电性高分子膜电解液室壁部150的电解伸缩导致的主动作用，作为电解液室109的壁 面的一部分的导电性高分子膜电解液室壁部150进行变形，由此，施加给隔膜103及104 的压力(张力)保持在恒定范围。(第六实施方式)图34是本发明的第六实施方式涉及的、使用了导电性高分子的流体运送装置的 截面图。图34的流体运送装置的构成与图32的流体运送装置的构成大致相同。不过，在第六实施方式中，弹簧部131以已从稳定状态伸展的状态，以两端与 筐体部102的侧壁102s和导电性高分子膜电解液室壁部150的中央部相接的形式固定。 与此相对应，导电性高分子膜电解液室壁部150从弹簧部131受到图34的向左的力而变 形为向左凸出的形状(换言之，从电解液室109的外侧向电解液室109内凸出的形状)(圆 锥形状)，导电性高分子膜电解液室壁部150的外缘部固定在筐体部102的侧壁102s。另外，在第六实施方式中，压力维持部以外的各部分的构成、和这些部分所致的流体的吸 引和喷出的动作，与前述的第一实施方式一样。像已经说明的那样，通常，在使用了导电性高分子膜的隔膜型泵中，因导电性 高分子膜的周期性电解伸缩以外的原因而隔膜的面积或形状或配置发生变化，会出现施 加给隔膜的压力(张力)发生变化的情况。图35是表示在第六实施方式中因前述的原因等而施加给隔膜103及104的张力 发生了变化时隔膜的应力调节(压力维持调节)的情形的例子的图。具体而言，图35示 出隔膜103和104以前述的原因伸展后的、隔膜的应力调节(压力维持调节)的情形。在 隔膜103和104以前述的原因进行了伸展的情况下，通过电解伸缩使导电性高分子膜电解 液室壁部150的面积收缩。由此，如图35所示，导电性高分子膜电解液室壁部150的鼓 起变小。由此，电解液室109的体积及压力保持大致恒定。作为结果，施加给隔膜103 及104的张力也保持在合适的范围，与以往例相比，可以使泵的动作效率提高。关于电解液室109的定义、用于使导电性高分子膜电解液室壁部150电解伸缩的 对置电极的补充说明、隔膜103及104的应力调节(压力维持调节)的定时，在第五实施 方式中记载的内容也可以用于第六实施方式。另外，关于当未进行隔膜103及104的应力 调节(压力维持调节)时将施加给导电性高分子膜电解液室壁部150电压断开的方法、或 者施加给隔膜103及104的压力是否为合适的值的检测方法，也可以用于第六实施方式。 另外，在第六实施方式中，例如也可以在隔膜103及104收缩后，通过扩大导电性高分子 膜电解液室壁部150的面积，对施加给隔膜103及104的压力进行调节。另外，在第五及第六实施方式中，对导电性高分子膜电解液室壁部150与弹簧 部131连接的结构进行了说明，但也可以利用这些结构省略弹簧部。此时，导电性高分 子膜电解液室壁部150通过由电解液施加的压力而成为在平面上或在左右任意的方向上 鼓起的形状。就该结构而言，通过使导电性高分子膜电解液室壁部150电解伸缩来对电 解液室109的体积进行调节，也可以以与前述一样的原理对施加给隔膜103及104的压力 进行调节。将该情况下的例子示于图36。在图36中，电解液室109的内部的电解液的 压力被保持成低于泵室内部的流体的压力及导电性高分子膜电解液室壁部150的外部的 大气压。在该状态下，通过使导电性高分子膜电解液室壁部150电解伸缩，调节电解液 室内部的电解液的体积及压力，由此可以调节施加给隔膜103及104的压力(张力)。如 在此处说明的方法所示，在通过导电性高分子膜电解液室壁部150的导电性高分子膜的 电解伸缩来对电解液室109的体积进行调节的情况下，在未进行该调节时，电解液室109 的体积为大致恒定，所以在泵的动作时隔膜103及104的动作未被用于电解液室109的体 积变化的工作所消耗，所以有效进行流体的吸入和喷出。另外，在未对压力维持部中的 导电性高分子膜施加电压的情况下，在该部分的电力消耗也几乎没有，所以具有所谓能 量转换效率高的优点。在第六实施方式中，与前述的实施方式一样，例如也可以使用图20的流程图所 示的控制方法，按照图19所示的动作例，对流体运送装置进行控制。(第七实施方式)迄今为止，主要对隔膜103和104未直接连接的构成进行了说明。此时，如前 所示，2片隔膜借助电解液相互之间以所谓工作的形式进行能量的交换。与此相对，如图37所示，也可以借助绝缘性的连接构件106将2片隔膜103和104相互直接连接。此 外，此时例如也如图37所示设置与第三实施方式一样的压力维持部1110，由此可以得到 相同的效果。该压力维持部1110的导电性高分子膜伸缩部140及第一力传递部141各自 的长度比第三实施方式短，但压力维持部1110的结构相同。在图37中，省略了用于使作 为压力维持部1110的一部分的导电性高分子膜伸缩部140的电解伸缩进行的电源及对置 电极部及布线部，但也可以为与第三实施方式一样的构成。在本第七实施方式涉及的、 使用了导电性高分子的流体运送装置中，由于2片隔膜相互连接，所以即便关于一个隔 膜进行动作的力小的情况，在另一个隔膜进行动作的力大的情况下，也可以弥补该力，2 片隔膜进行连动动作。即，关于2片隔膜分别动作的力，可以相互补偿，所以可以高效 动作。(第八实施方式)图38是本发明的第八实施方式涉及的、使用了导电性高分子的流体运送装置的 截面图。在第八实施方式中，也与第七实施方式一样，借助绝缘性的连接构件106使2片 隔膜103和104相互直接连接。在图38中，在筐体部102的侧壁102s设置有贯通孔102t，在该贯通孔102t中设 置有注射器部160。注射器部160成为左右活动的构成。在因导电性高分子膜的周期性 电解伸缩以外的原因而隔膜103及104的面积或形状或配置发生变化，施加给隔膜103及 104的压力(张力)发生了变化的情况下，通过使注射器部160左右活动，可以对施加给 隔膜103及104的压力进行调节。由此，注射器部160作为压力维持部1114发挥功能。 使注射器部160动作的方法，可以使用与利用图52说明的内容一样的方法。例如，图39示出隔膜103和104以前述的原因伸展后的应力调节(压力维持调 节)方法的例子。在该图39中，使注射器部160向右活动，增加电解液室109的体积， 使电解液的压力减少。其结果，在第一泵室107及第二泵室108的内部存在的流体的压 力和电解液室内部的电解液的压力之差发生变化。其结果，施加给隔膜103和104的差 压发生变化，可以使用该差压来对施加隔膜103和104的压力进行调节。在图39中，示 出在第一泵室107及第二泵室108的内部存在的流体的压力，大于电解液室内部的电解液 的压力，隔膜103及104向电解液室109的方向稍微鼓起成凸出形状的状态。关于压力维持的调节，如先前所说明的那样，可以在任意的定时实施。即，另 外，隔膜103及104的应力调节(压力维持调节)可以一直进行，还可以以任意的时间间 隔进行，或可以在流体运送装置的起动时或保养时等进行。另外，也可以在制造过程中 进行隔膜103及104的应力调节(压力维持调节)。本说明书中的隔膜103及104的应力 调节(压力维持调节)，可以在包括前述的例子的任意定时实施。另外，在未进行应力调节(压力维持调节)的情况下，注射器部160以合适的方 法固定。固定考虑利用注射器部160和筐体部102的壁面之间的摩擦的方法、或利用合 适的机械构成的方法。另外，也可以通过使图26及图29中的类似力传递部141及142 和导电性高分子膜伸缩部140的结构，与注射器部160连接，利用导电性高分子膜伸缩部 140的导电性高分子膜的电解伸缩来使注射器部160进行动作。此时也可以得到与图26 及图29的说明部分中的内容一样的效果。注射器部160的移动可以手动进行。S卩，人可以在任意的定时直接进行注射器 的移动。另外，可以使用任意的致动器来进行注射器部160的移动。致动器也可以是如 电机那样使用了电磁力的致动器。另外，致动器也可以使用利用了静电力的致动器、利 用了压电元件的致动器、磁致致动器、使用了形状存储合金的致动器、利用了热膨胀的 致动器、超声波电机、或利用了导电性高分子膜等的一般的软致动器等其他致动器。如在此处说明的方法所示，在使用注射器部160的移动等来调节电解液室109的 体积的情况下，在未进行该调节时，电解液室109的体积大致恒定，所以在泵的动作时 隔膜103及104的动作未被用于电解液室109的体积变化的工作所消耗，所以有效进行流 体的吸入和喷出。图38所示的接口部1101、控制部1102的作用，与前述实施方式的对应的部分一 样。图38所示的注射器移动部1104起到与前述实施方式的弹簧可动部驱动装置1103 — 样的作用。即，注射器移动部1104接收到调节指示信号时，按照其内容，进行注射器部 160的位置的设定、移动及固定。即，注射器移动部1104进行注射器部160的位置的调 节。另外，注射器移动部1104对控制部1102发送表示注射器部160的状态的状态表示 信号。如上面的说明所述，在第八实施方式中，通过注射器部160的移动进行应力调 节(压力维持调节)，但在注射器部160的位置处于图38所示的状态时，表述为“压力 维持部1114处于初始状态”。另外，在如图39所示与初始状态相比注射器部160已向 右移动的状态时，表述为“压力维持部1114处于压力维持状态”。此时，在第八实施方 式中，例如也可以使用图20的流程图所示的控制方法，按照图19所示的动作例，对流体 运送装置进行控制。需要说明的是，在图39中，用虚线示出初始状态下的隔膜103及104和注射器 部160的位置。在第八实施方式中，对应于隔膜103及104的变形所致的应力(张力)变化，通 过来自外部的力导致的主动作用，作为电解液室109的壁面的一部分的注射器部160进行 移动，由此施加给隔膜103及104的压力(张力)保持在恒定范围。(第九实施方式)图40是本发明的第九实施方式涉及的、使用了导电性高分子的流体运送装置的 截面图。第九实施方式的结构和动作与第八实施方式大致相同，在第九实施方式中，使 注射器部160为螺纹结构的注射器部160A。此时，与通常的螺纹一样，通过使注射器部 160A在与注射器部160A的移动方向(图40中为左右方向)垂直的面内旋转，由此可以 移动注射器部160A。注射器部160A的移动而对隔膜103及104可以调节压力，在不调 节应力时，由于注射器部160A成为螺纹结构，所以如果不从外部向注射器部160A施加 力，则注射器部160A被固定，将施加给隔膜103及104的压力保持为合适的值。需要说 明的是，注射器部160成为螺纹结构，所以筐体部102的侧壁102s的贯通孔102η也成为 母螺纹孔。在前述的说明中，在使用2片隔膜103及104的情况下，对它们的中央部相互被 某构件固定的情况、和相互未固定的情况进行了说明，但也可以用弹簧或弹性膜等弹性体将2片隔膜103及104相互固定。将该例示于图41。此时，用绝缘性的弹簧连接部 208将2片隔膜103及104连接。(第十实施方式)图42是本发明的第十实施方式涉及的、使用了导电性高分子的流体运送装置的 截面图。图42的流体运送装置具备筐体部102、隔膜103、泵室107、电解液室109、 布线部IlOa和110b、吸入口 111、喷出口 113、吸入阀121、喷出阀122、弹簧部131、 弹性膜部130、第一及第二力传递部141和142、导电性高分子膜伸缩部140、作为弹性部 的作为一例的第二弹性膜部170、对置电极部180、接口部1101、控制部1102、电源(第 一电源)110c、第二电源302c、对置电极部301、和布线部302a、302b。第一及第二力 传递部141及142、导电性高分子膜伸缩部140和弹性膜部130，如以下的说明所示作为 压力维持部1115起作用。弹簧部131的两端与筐体部102的上面和隔膜103连接，弹簧部131以与稳定状 态相比进行了收缩的状态设置。隔膜103的一部分或全体部分由导电性高分子膜构成， 在电解液室109内充满电解液。从第一电源IlOc向构成隔膜103的导电性高分子膜和对 置电极部180之间施加电压，由此构成隔膜103的导电性高分子膜进行电解伸缩，由此， 隔膜103上下移动，进行流体的吸入和喷出。对置电极部180例如由钼网等形成，固定 在筐体部102的侧壁102s间，电解液成为可以向对置电极部180的两侧移动的结构。就 图42的状态而言，隔膜103通过电解伸缩而伸长，就图43的状态而言，隔膜103通过电 解伸缩而收缩。由此，泵室107的体积发生增减，进行流体的吸入和喷出。在图42的 状态下，从吸入口 111吸入流体，在图43的状态下，从喷出口 113喷出流体。在电解液 室109中充满的电解液大致为非压缩性流体，所以其体积保持大致恒定。因此，按照隔 膜103的上下运动，按照堵塞筐体部102的底壁102u的贯通孔102w的方式外缘部固定在 底壁102u的外侧的第二弹性膜部170，也进行上下运动，电解液室109的体积保持大致恒 定。在图42中第二隔膜170的凸出形状的鼓起变大，在图43中第二隔膜170的凸出形 状的鼓起变小。需要说明的是，图43中，用虚线示出图42的状态下的隔膜103和弹性膜部170 的位置。关于由第一及第二力传递部141及142、导电性高分子膜伸缩部140和弹性膜 部130构成的压力维持部1115的构成、动作及效果，与前述的第三实施方式大致相同。 即，通过从第二电源302c施加电压而使导电性高分子膜伸缩部140进行电解伸缩，由此 控制弹性膜部130的凸出形状，从而对电解液室109的体积和电解液的压力进行调节。 施加给隔膜103的力是来自弹簧部131的向下的力、筐体部102对隔膜103的固定点进行 固定的力、从泵室107内部的流体受到的压力、和从电解液室109内部的电解液受到的压 力。现在，通过使压力维持部动作，可以如前所述对隔膜103从电解液受到的压力进行 调节，由此，可以调节施加给隔膜103的压力(张力)。图44示出在隔膜103以前述原 因伸展后通过使导电性高分子膜伸缩部140收缩而对施加给隔膜103的压力进行调节的情 形。不过，虽图44未详细示出，但在隔膜103从泵室107内部的流体受到的压力、和从 电解液室109内部的电解液受到的压力之间有差别的情况下，隔膜103变形为向上下任意方向稍微凸出的形状。图44中，用虚线示出图42的状态下的隔膜103和弹性膜部130的位置。需要说明的是，在第十实施方式中，即便是除去了导电性高分子膜伸缩部140、 力传递部141及142和弹性膜部130的情况，也可以通过第二弹性膜部170和弹簧部131 的作用对施加给隔膜103的压力进行某种程度的调节。但是，通过使导电性高分子膜伸 缩部140、力传递部141及142和弹性膜部130进行动作，可以进行更精密的应力调节。 如第十实施方式所述，在使泵室为1个的结构中，由于结构简单，所以有制造及保养容 易的特征。另外，也可以通过使弹簧部131的端部为可动来调节弹簧部131的弹性力。图 45中，一端与隔膜103接触的弹簧部131的另一端与弹簧可动部205连接。通过使弹簧 可动部205上下移动，可以调节弹簧部131的弹性力，作为结果，可以对施加给隔膜103 的压力进行调节。在图45的例子中，对应于隔膜103的变形所致的应力(张力)变化，如先前的 实施方式所示，通过来自外部的力导致的主动作用，使弹簧可动部205进行移动，作为 电解液室109的壁面的一部分的隔膜103进行变形，由此施加给隔膜的压力(张力)被保 持在恒定范围。在前述的一部分图43 图45中，省略了用于使作为压力维持部1115的一部分 的导电性高分子膜伸缩部140进行电解伸缩的电源302c、对置电极部301和布线部3021、 302b,但可以是与图42—样的构成。另外，可以同样应用前述的实施方式中的控制方法及动作例。(第十一实施方式)在前述的说明中，示出了隔膜103、104在筐体部102以固定点连接的情况，通 过使隔膜103、104和筐体部120的连接部的位置或形状发生变化，也可以调节隔膜103、 104的压力。例如，在隔膜103、104分别进行了伸展时，分别向周边方向拉伸隔膜103、 104的端部而使其移动，由此也可以分别调节施加给隔膜103、104的压力。将该情况的 例子示于图46。在图46中，隔膜103及104的一部分的端部(例如图46的每个的右侧 端部)分别与隔膜连接部209连接，隔膜连接部209成为可以相对于筐体部102在图46 的左右(即筐体部102的厚度方向)上分别移动的结构。随着隔膜连接部209的左右移 动，隔膜103及104的连接部分(与隔膜连接部209连结的部分)左右移动，隔膜103或 104的端部出入筐体部102的侧壁102s的内部。不过，筐体部102和隔膜连接部209接触 的部分被密封，成为电解液不会外漏的结构。关于图47A，作为例子，是表示在隔膜103 及104伸展后隔膜连接部209向右侧移动而施加给隔膜103及104的压力得以被调节的情 形的图。如图47A所示，由于在隔膜103及104伸展后隔膜连接部209向右侧移动而使 电解液室109的体积保持大致恒定，所以可以将电解液的压力保持在合适的范围内。作 为结果，施加给隔膜103及104的压力(张力)可以保持在合适的范围内。图47A所示的连接构件移动部1105，起到与前述实施方式的注射器移动部1104 一样的作用。即，在连接构件移动部1105接收到调节指示信号时，按照其内容，进行隔 膜连接部209的位置设定、移动及固定。即，连接构件移动部1105对隔膜连接部209的 位置进行调节。另外，连接构件移动部1105对控制部1102发送表示隔膜连接部的状态55的状态表示信号。就第十一实施方式涉及的、使用了导电性高分子的流体运送装置而言，可以同 样应用前述实施方式的控制方法及动作例。在前述的一部分图47A中，省略了控制部1102等几个部分及布线，但其他部分 具有与上述说明的内容一样的构成。另外，隔膜连接部209例如也可以为与先前的实施 方式的弹簧可动部205或206 —样的构成。在第十一实施方式中，对应于隔膜103及104的变形所致的应力(张力)变化， 通过来自外部的力导致的主动作用，使隔膜连接部209进行移动，作为电解液室109的壁 面的一部分的隔膜103、104进行变形，由此，施加给隔膜的压力(张力)保持在恒定范围。需要说明的是，在上面的说明中对隔膜103及104由导电性高分子膜形成的情况 进行了说明，但也可以由弹性膜构成隔膜103及104的一部分，隔膜103及104的一部分 构成为可以沿着隔膜面方向弹性变形，由此可以对隔膜103及104的压力进行调节。此 时，通过构成隔膜103及104的一部分的弹性膜的作用，可以使施加给构成隔膜103及 104的导电性高分子膜的应力(张力)在隔膜面内更均勻。另外，在由弹性膜构成了隔 膜103及104的一部分的情况下，弹性膜可以变形为向泵室或电解液室方向鼓起的凸出形 状，通过该凸出形状发生变化而使得电解液室109的体积可以保持大致恒定，电解液的 压力被保持在合适的范围，所以可以将对隔膜103及104的压力保持在合适的范围。在这里，弹性膜是指杨氏模量不到IGPa的膜。与此相对，导电性高分子膜通常 杨氏模量为IGPa以上的值。(其他实施方式)准备多台前述第一 第十一实施方式的任意1个或多个实施方式的、使用了导 电性高分子的流体运送装置，将它们并联排列而分别将其流入侧和流出侧相互连接，由 此可以得到大运送流量。另外，就前述第一 第十一实施方式的任意1个或多个实施方式而言，以与前 述一样的结构，准备多台小型的前述流体运送装置并将它们并联排列，分别将其流入侧 和流出侧相互连接，由此可以得到大运送流量。此时，各流体运送装置中的第一及第二 隔膜103、104或隔膜103的凸出形状的鼓起减小，所以整体可以小型化。在如前所述将多台流体运送装置并联排列的情况下，也可以在相同面内排列多 个隔膜103d、104d来代替各一片的隔膜103、104(参照图47B)。在图47B中，第一隔 壁部193及第二隔壁部194由钼等金属形成，是具有多个开口部193a的平板形状。此 外，第一隔壁部193和第二隔壁部194以相互平行的方式配置在框体部102内。另外， 在第一隔壁部193的多个开口部193a分别配置有第一隔膜103d，且在第二隔壁部194的 多个开口部194a分别配置有第二隔膜104d。此外，通过第一隔壁部193和多个第一隔 膜103将第一泵室107和电解液室109分离。另外，通过第二隔壁部194和多个第二隔 膜104将第二泵室107和电解液室部109分离。多个第一隔膜103d彼此通过金属制的第 一隔壁部193连接，所以彼此保持相同电位。另外，多个第二隔膜104d通过金属制的第 二隔壁部194连接，所以彼此保持相同电位。另外，第一隔膜103d和第二隔膜104d不 电导通。在该结构中，通过改变第一隔膜103d和第二隔膜104d之间的电位，多个第一隔膜103d及多个第二隔膜104d分别与前述实施方式一样进行伸缩，所以可以进行泵的动作。另外，也可以在重叠隔膜的方向上排列泵结构。S卩，可以以任意的位置关系排 列泵结构。需要说明的是，通过组合前述各实施方式中的任意实施方式，可以发挥各自所 具有的效果。工业上的可利用性本发明的使用了导电性高分子的流体运送装置具有如下的功能，即在隔膜部变 形后，通过进行将电解液的压力维持在规定范围内的调节而在合适的范围内调节作用于 隔膜的压力的功能(压力维持调节功能)，可以很好地用作高效率的泵。关于本发明，参照附图充分记载了相关的优选实施方式，但对于熟悉该技术的 人来说，可以作出各种变形或修正。这样的变形或修正只要未超出由附加的技术方案所 限定的本发明的范围，就应该理解为这种变形或修正含于本发明的范围之中。5权利要求1.一种吸入及喷出流体的使用了导电性高分子的流体运送装置，具备 内部充满所述流体的泵室；框体部，在该框体部内部形成所述泵室且构成所述泵室的壁面的一部分； 隔膜，其被支承在所述框体部内且由一部分或全体部分进行电解伸缩的导电性高分 子膜形成，与所述框体部一起构成所述泵室的壁面；配置在所述框体部上且用于在所述泵室进行所述流体的喷出及吸入的开口部； 由所述框体部和所述隔膜包围且内部含有电解液，且该电解液的一部分与所述隔膜 相接的电解液室；用于向所述导电性高分子膜施加电压的电源； 将所述导电性高分子膜和所述电源电连接的布线部；和通过使所述电解液室的壁面的一部分移动或变形而使作用于所述隔膜的压力维持在 规定范围内的压力维持部。2.如权利要求1所述的使用了导电性高分子的流体运送装置，其中，所述压力维持部具有如下所示的功能，即通过使所述电解液室的壁面的一部分移动 或变形而使所述电解液室的体积发生变化，由此对作用于所述隔膜的压力进行调节以使 该压力维持在所述规定范围内。3.如权利要求1所述的使用了导电性高分子的流体运送装置，其中， 所述压力维持部由弹性部构成，所述弹性部作为所述电解液室的壁面的一部分配置成可以伸缩，通过弹性力使所述 电解液室的壁面的一部分发生变形，通过利用所述弹性部的弹性力使所述电解液室的壁面的一部分发生变形而使所述电 解液室的体积发生变化，由此对作用于所述隔膜的压力进行调节以使该压力维持在所述 规定范围内。4.如权利要求3所述的使用了导电性高分子的流体运送装置，其中，当调节对所述隔膜的压力时，作为所述电解液室的壁面的一部分的所述弹性部发生 变形，在除此之外时，作为所述电解液室的壁面的一部分的所述弹性部被固定。5.如权利要求1所述的使用了导电性高分子的流体运送装置，其中， 所述压力维持部具备导电性高分子膜，通过构成所述压力维持部的所述导电性高分子膜的电解伸缩使所述电解液室的壁面 的一部分发生变形，而使所述电解液室的体积发生变化，由此对作用于所述隔膜的压力 进行调节以使该压力维持在所述规定范围内。6.如权利要求5所述的使用了导电性高分子的流体运送装置，其中，构成所述压力维持部的所述导电性高分子膜，构成所述电解液室的壁面的一部分， 通过电解伸缩发生变形而使所述电解液室的体积发生变化，由此对作用于所述隔膜的压 力进行调节以使该压力维持在所述规定范围内。7.如权利要求5所述的使用了导电性高分子的流体运送装置，其中，所述压力维持部具备作为所述电解液室的壁面的一部分配置且可以弹性变形的弹 性膜部、和可以电解伸缩以使所述弹性膜部弹性变形的导电性高分子膜，通过所述导电性高分子膜的电解伸缩及所述弹性膜的弹性变形，所述电解液室的壁面的一部分发生变形。8.如权利要求1所述的使用了导电性高分子的流体运送装置，其中，还具备控制部，其测量从所述电源向所述隔膜的所述导电性高分子膜施加电压进行 泵的动作的驱动时间，判定所测量的所述驱动时间是否为阈值以上，在判定所述驱动时 间为所述阈值以上时，控制所述压力维持部进行动作以通过使所述电解液室的壁面的一 部分移动或变形而使作用于所述隔膜的压力维持在规定范围内。9.如权利要求1所述的使用了导电性高分子的流体运送装置，其中，还具备对所述电解液的压力进行检测的压力检测部和控制部，所述控制部判定由所述压力检测部检测出的压力是否为压力阈值以上的值，在判定 由所述压力检测部检测出的压力为压力阈值以上的值时，控制所述压力维持部进行动作 以通过使所述电解液室的壁面的一部分移动或变形而使作用于所述隔膜的压力维持在规 定范围内。10.如权利要求1所述的使用了导电性高分子的流体运送装置，其中，还具备对所述电解液的压力进行检测的压力检测部和控制部，所述控制部判定由所述压力检测部检测出的压力是否为压力阈值以下的值，在判定 由所述压力检测部检测出的压力为压力阈值以下的值时，控制所述压力维持部进行动作 以通过使所述电解液室的壁面的一部分移动或变形而使作用于所述隔膜的压力维持在规 定范围内。全文摘要一种使用了导电性高分子的流体运送装置，其具备带吸入喷出流体的泵的功能且内部充满流体的泵室(107、108)、构成泵室壁面的一部分的框体部(102)、由进行电解伸缩的导电性高分子膜形成并构成泵室壁面的一部分的隔膜(103、104)、内部所含的电解液的一部分与隔膜相接的电解液室(109)、向隔膜施加电压的电源、和通过使电解液室的壁面的一部分移动或变形而使所述隔膜的压力维持在规定范围内的压力维持部(1100、1110、1111、1112、1114、1115)。文档编号F04B43/04GK102016314SQ20098011510公开日2011年4月13日 申请日期2009年8月25日 优先权日2008年8月26日发明者横山和夫, 生岛君弥 申请人:松下电器产业株式会社