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一种新型的快速抽空方法

  • 国知局
  • 2024-07-30 15:51:20

专利名称:一种新型的快速抽空方法技术领域:本发明属于一种抽真空的方法。现采用的旋片式和扩散式抽真空的方法所需时间较长,用排液法、即先向被抽元、器件灌液体,再将液体抽出的方法,又会对被抽空件造成污染。本发明提供了一种克服了上述缺点,采用真空泵对被抽空件间接抽空的方法。本发明包括真空容器,被抽空件、连通阀和泵。其主要特征是间接快速抽空,泵先对一系列真空容器抽空,被抽空件用快速接头与一多通阀连接,然后用多通阀依次接通真空容器,使被抽件迅速达到所要求的真空度。以下结合附图对本发明进行解释附图为本发明的原理图和一个实施例的原理图。见附图,本发明采用先将几个一定容量的真空容器〔1a〕、〔1b〕至〔1n〕用泵〔4a〕、〔4b〕至〔4n〕抽空到真空度按顺序增加的真空容器然后,将被抽空件〔2〕通过多通阀〔3〕依次与〔1a〕、〔1b〕至〔1n〕连通。根据平衡原理,被抽空件〔2〕的真空度将会依次递增,且决定于真空容器〔1〕的容积和真空度,以及被抽空件本身的空积,抽空时间决定于多通阀〔3〕的转换时间,加上很小的适当的平衡时间。本发明亦可用于快速向需加压件加压、原理相同,不同的是不用泵对容器抽空是用泵对容器加压。附图是本发明的一个实施例在采用负压法的氦质谱仪〔5〕检漏时,要求先将被检件〔2〕抽空,但用于流水生产线时,则要求在较短的时间(一般为十几秒)将被检件抽空到10-1~10-2τ,采用常规抽真空办法是很难做到的,使用本发明则可达到要求,其实施过程是这样的,先用泵〔4a〕、〔4b〕至〔4n〕分别对应对真空容器〔1a〕、〔1b〕至〔1n〕抽空,且〔1a〕、〔1b〕至〔1n〕的真空度是依次递增的,与真空容器相接有一多通阀〔3〕、其中〔3a〕、〔3b〕至〔3n〕分别是与对应的真空容器相接的,被抽空件〔2〕与〔3〕之间有一快速管按头连接,多通阀〔3〕最后一个通道与氦质谱仪〔5〕或其他检测仪连接。当操作多通阀由〔3a〕一直到〔3n〕时,被测件的真空度与〔1n〕的真空度一致,这时多通阀通道打到〔3X〕,使〔2〕与〔5〕连接,即可检到〔2〕的泄漏情况。本发明的主要优点是抽真空或加压时间非常之短,适用于现代化流水生产线上进行检测。权利要求1.快速抽真空的方法,其主要特征是间接快速抽空,泵先对一系列真空容器抽空,被抽空件用快速接头与一多通阀连接,然后用多通阀依次接通真空容器,使被抽件迅速达到所要求的真空度。2.根据权利要求1所述的快速抽真空的方法,其特征是,当用泵向容器加压时,可快速地对需加压件加压。全文摘要一种快速抽真空的方法,采用泵、真空容器和多通阀,先将多个真空容器抽成按顺序真空度依次递增的真空等级,然后用多通阀连接被抽件和系列真空容器,当多通阀依次接通真空容器时,根据平衡原理,被抽件能在极短时间内达到所要求的真空度。本发明还有流程简单,适用于流水生产线上将产品迅速抽空或进行负压检漏。文档编号F04F9/04GK1032382SQ8710209公开日1989年4月12日 申请日期1987年9月29日 优先权日1987年9月29日发明者李季霞 申请人:李季霞

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