多级式真空泵的制作方法

专利名称：多级式真空泵的制作方法技术领域：本实用新型涉及一种多级式真空泵，尤指一种适用于可减少外径尺寸及体积、并可减少重量及降低成本的多级式真空泵。背景技术：在一般的洁净制备设备中，例如目前半导体制备过程中的沉积、蚀刻、离子植入等设备，其皆必须使用一真空系统以抽真空形成一适当的真空环境供其操作。而于上述的真空系统中，必须借助一真空泵以达到真空的效果，故真空泵的品质关系着真空系统所能达成的效果。请参阅图1是公知多级式真空泵的剖面图，其中显示所谓多级式真空泵9是由多个连续轴向组接的壳体911～915、与多个隔板921～924交互重复层叠而成。图2还显示其中一级壳体914的立体分解图，并请一并参阅图3是图2的剖面图，其中，壳体914的内部中央镂空形成有一压缩腔体904，并容置有二平行转轴931、932上的转子933、934相互啮合旋转于该压缩腔体904内进行气体压缩作业。其中，前一压缩腔体904的气体是经由一预藏于环周外壁厚内的气体流道900而流至下一压缩腔体903(请参阅图1)以进行下一级的气体压缩作业。请注意图2及图3中所示的公知气体流道900，其是形成于壳体914的环周外壁厚内，亦即气体流道900是环绕于压缩腔体904外侧，因此无形中增大了公知壳体914的外径及体积，从而造成公知多级式真空泵9的整体尺寸及体积加大，并造成重量增加。发明内容本实用新型的主要目的是提供一种多级式真空泵，能减少多级式真空泵的外径尺寸及体积。本实用新型的另一目的是提供一种多级式真空泵，能减少重量，并降低成本。为达到上述目的，本实用新型的多级式真空泵包括有多个壳体、多个隔板、以及一转动模组。其中，多个壳体是彼此连续轴向组接，且每一壳体于内部中央镂空形成有一压缩腔体。此外，多个隔板是分别预设有一预定壁厚，且其是分别组设于上述两个壳体之间以分隔相邻二压缩腔体，并于每一隔板上贯设有二贯孔。另外，转动模组是包括有二平行的转轴，其是容设于每一壳体的压缩腔体内部、并同时穿经每一隔板的贯孔，而二转轴上并分别凸设有多个转子，且二相邻且对应的转子内对应容置于上述其中一压缩腔体内并能相互啮合旋转，藉此啮合旋转可压缩内部气体。本实用新型的特征在于上述每一隔板分别形成有一前表面、以及一后表面，并于其预定壁厚的内部挖设有至少一气流通道，此至少一气流通道是由前表面连通至后表面。当运作时，前一压缩腔体内的气体经由转轴的转子压缩后，会形成为一高压气体，亦即此一压缩腔体会相对形成为一高压区，而上述经压缩后的高压气体会经由隔板内的气流通道而流通至后一压缩腔体，此后一压缩腔体相对于前一压缩腔体是形成为一低压区。之后，已进入后一压缩腔体内的气体可再经由转轴的转子压缩，并再经由后一隔板内的气流通道而流通至再后一压缩腔体，藉此形成一多级式压缩。由上述可知，当气体于每一压缩腔体内经过压缩后，是直接经由隔板内的气流通道而流通至后一压缩腔体，其并不同于传统必须经由环绕形成于压缩腔体外侧的气体流道，因此，本实用新型的壳体在设计上比传统设计方式的壳体小，亦即本实用新型的多级式真空泵的外径尺寸及体积可有效减小，且相对可减少重量并降低成本。图1是公知多级式真空泵的剖面图。图2是公知多级式真空泵的其中一级壳体的立体分解图。图3是图2的剖面图。图4是本实用新型多级式真空泵的剖面图。图5是本实用新型其中一级壳体的立体分解图。图6是图5的隔板的立体组合图。图7是本实用新型隔板的不同实施例示意图之一。图8是本实用新型隔板的不同实施例示意图之二。其中，附图标记说明如下1-多级式真空泵； 21～25-壳体； 211～251-压缩腔体；212-气体出口； 252-气体入口；253-壳体凹槽；301、302-贯孔；31～34-隔板； 311～341-气流通道；342-前表面； 343-后表面； 344-左隔板；345-右隔板； 346-左气流通道； 347-右气流通道；348-环凹槽； 351-前开口； 352-后开口；4-转动模组； 41、42-转轴； 411，421-转子；5-同步齿轮组； 61～64-弹性体； 7-隔板；701、702-贯孔；71～73-侧板； 74-气流通道；8-隔板； 801、802-贯孔； 81～84-侧板；85-气流通道； 9-多级式真空泵； 900-气体流道；903、904-压缩腔体；911～915-壳体； 921～924-隔板；931、932-转轴；933、934-转子。具体实施方式为能更了解本实用新型的技术内容，特举一较佳具体实施例说明如下。首先，请参阅图4是本实用新型多级式真空泵的剖面图，其显示本实用新型的多级式真空泵1包括有多个壳体21～25、多个隔板31～34、以及一转动模组4。其中，多个壳体21～25是彼此连续轴向组接，每一壳体21～25于内部中央镂空形成有一压缩腔体211～251，而多个隔板31～34是分别预设有一预定厚度t，且分别组设于上述二个壳体21～25之间以分隔相邻二压缩腔体211～251。请同时参阅图4、图5是本实用新型其中一级壳体的立体分解图、及图6是图5的隔板的立体组合图，其显示其中一隔板34并以其作为说明，而其它隔板31～33的结构则皆与其相同。于前述的隔板34上是贯设有二贯孔301、302，而上述的转动模组4是包括有二平行的转轴41，42，此二转轴41，42是容设于压缩腔体211～251的内部、并穿经每一隔板31～34的贯孔301、302，且于二转轴41、42上并分别一体成形凸设有多个转子411、421，二相邻且对应的转子411、421内对应容置于上述其中一压缩腔体211～251内，同时，一同步齿轮组5带动二平行转轴41，42的二相邻转子411，421同步旋转并保持互相不接触，且能相互旋转以压缩内部气体。此外，上述隔板34于轴向二面分别形成有一前表面342、及一后表面343，并于隔板34的预定厚度t的内部挖设有一气流通道341，同时，于前表面342上开设有一前开口351，于后表面343上开设有一后开口352，前、后开口351、352可分别与气流通道341相通，而气流通道341则由前表面342的前开口351连通至后表面343的后开口352。于本实施例中，隔板34是分别由一左隔板344、及一右隔板345彼此对接组设而成，且于左隔板344内形成有一左气流通道346，于右隔板345内形成有一右气流通道347，左气流通道346是对应连通于右气流通道347以形成气流通道341，且此气流通道341是形成于隔板34的二贯孔301、302之间。当运作时，空气是先经由壳体25上的气体入口252进入至压缩腔体251内，之后气体经由转轴41、42的转子411、421压缩后，会形成为一高压气体，亦即此一压缩腔体251会相对形成为一高压区，而上述经压缩后的高压气体会经由隔板34的前开口351流入气流通道341，再经由后开口352流出至后一压缩腔体241，此前一压缩腔体251相对于后一压缩腔体241是形成为一低压区。之后，已进入后一压缩腔体241内的气体可再经由转轴41、42的转子411、421压缩，并再经由后一隔板33内的气流通道331而流通至再后一压缩腔体231，依此顺序经由气流通道321、311流通，最后压缩后的气体则经由壳体21的气体出口212流出，如此即形成一多级式压缩。由上述可知，当气体于每一压缩腔体221～251内经过压缩后，是直接经由隔板31～34内的气流通道311～341而流通至后一压缩腔体211～241，其并不同于传统必须经由环绕形成于压缩腔体外侧的气体流道，因此，本实用新型的壳体21～25于设计上可相较于传统设计方式为小，亦即本实用新型的多级式真空泵1的外径尺寸及体积可有效减小，且相对可减少重量并降低成本。请同时参阅并比较图1及图4，为明显表现出上述本实用新型与传统设计的尺寸差异，特此在附图中将比例设为一定，由附图中即可清楚得知本实用新型的尺寸及体积确实相较于传统方式为小。请再同时参阅图4、及图5，本实用新型另于隔板34上凹设有一环凹槽348，且将一弹性体64容设于此环凹槽348内(其它隔板31～33皆同样组设有弹性体61～63)，当隔板34组设于壳体25上时，可用以密封压缩腔体251以及吸收隔板34厚度t和壳体凹槽253之间的间隙，避免振动噪音产生。请参阅图7是本实用新型隔板的不同实施例示意图之一，其显示本实用新型的隔板7可改由三个侧板71～73彼此对接组设而成，且气流通道74是环绕形成于隔板7上贯孔701，702的外围。请参阅图8是本实用新型隔板的不同实施例示意图之二，其显示本实用新型的隔板8亦可改由四个侧板81～84彼此对接组设而成，且气流通道85亦环绕形成于隔板8上贯孔801、802的外围，而气流通道85的大小亦可为不同大小的设计。因此，本实用新型所述的隔板并不仅限于由二侧板组成，而可改为多片侧板彼此对接组设，且气流通道的大小亦可为适当的变化。上述实施例仅是为了方便说明而举例而已，本实用新型的权利范围以权利要求书所述为准，而非仅限于上述实施例。权利要求1.一种多级式真空泵，包括多个壳体，是彼此连续轴向组接，每一壳体于内部中央镂空形成有一压缩腔体；多个隔板，是分别预设有一预定厚度并分别组设于上述二个壳体之间以分隔相邻二压缩腔体，每一隔板上并贯设有二贯孔；一转动模组，是包括有二平行的转轴其是容设于所述压缩腔体内部、并穿经所述隔板的贯孔，所述二转轴上并分别凸设有多个转子，且二相邻的转子是对应容置于上述其中一压缩腔体内；以及一同步齿轮组，是带动该转动模组的二平行转轴的二相邻转子同步旋转；其特征是每一隔板分别形成有一前表面及一后表面，并于隔板的内部挖设有至少一气流通道，该至少一气流通道是由该前表面连通至该后表面。2.如权利要求1所述的多级式真空泵，其特征是每一隔板是分别由一左隔板及一右隔板彼此对接组设而成，且于该左隔板内形成有一左气流通道，于该右隔板内形成有一右气流通道，该左气流通道是对应连通于该右气流通道以形成该气流通道。3.如权利要求1所述的多级式真空泵，其特征是每一隔板的至少一气流通道是形成于每一隔板的二贯孔之间。4.如权利要求1所述的多级式真空泵，其特征是每一隔板的至少一气流通道是形成于每一隔板的二贯孔的外围。5.如权利要求1所述的多级式真空泵，其特征是每一隔板上并分别凹设有一环凹槽，且多个弹性体是分别容设于该环凹槽内。6.如权利要求1所述的多级式真空泵，其特征是每一隔板是分别由一第一侧板、一第二侧板、一第三侧板彼此对接组设而成。7.如权利要求1所述的多级式真空泵，其特征是每一隔板的前表面开设有一前开口、后表面开设有一后开口，该前、后开口并分别与该至少一气流通道相通。8.如权利要求1所述的多级式真空泵，其特征是每一隔板是由四个侧板彼此对接组设而成。9.如权利要求1所述的多级式真空泵，其特征是该同步齿轮组带动该转动模组的二平行转轴的二相邻转子同步旋转并保持互相不接触。10.如权利要求7所述的多级式真空泵，其特征是气体是经由该隔板前表面的前开口流入该气流通道，并经由该气流通道由该隔板后表面的后开口流出。专利摘要本实用新型涉及一种多级式真空泵，是在多个壳体内分别形成有一压缩腔体，且于每二壳体间组设有一隔板，当前一压缩腔体内的气体经由转轴的转子压缩后，可经由隔板内的气流通道流通至后一压缩腔体，并再经过压缩而流通至再后一压缩腔体。上述气体于每一压缩腔体内经过压缩后，是可直接经由隔板内的气流通道而流通至后一压缩腔体，其并不同于传统必须经由环绕形成于压缩腔体外侧的气体流道，故本实用新型的壳体于设计上可相较于传统设计方式为小，亦即本实用新型的多级式真空泵的外径尺寸及体积可有效减小，且相对可减少重量并降低成本。文档编号F04C25/02GK2660175SQ200320100640公开日2004年12月1日 申请日期2003年11月17日 优先权日2003年11月17日发明者刘明信, 方宏声, 沈添沐, 简荣祯, 陈俊宏 申请人:财团法人工业技术研究院