一种碳纤维固化保温毡体积电阻率的测量装置的制作方法

本技术涉及碳纤维固化保温毡，具体为一种碳纤维固化保温毡体积电阻率的测量装置。

背景技术：

1、单晶硅生长炉的保温层采用碳纤维固化保温毡，对于单晶硅生产炉的热场控制具有重要意义，碳纤维固化保温毡热导率低，起到保温作用；另外较低的电阻率减少电磁感应效应产生的额外热量，节约电力消耗，因此，准确测定使用环境中碳纤维固化保温毡的电阻率，对单晶硅生长炉热场的设计具有重要指导作用。

2、碳纤维固化保温毡，通常是以碳纤维软毡为原料，采用树脂作为黏合剂，通过层压、缠绕、真空抽滤、模压等工艺成型固化，再经高温石墨化处理后得到的硬质保温材料，碳纤维软毡则是由碳纤维通过编织、针刺等工艺制备而成，因此，碳纤维固化保温毡的电阻率，除了取决于碳纤维的本身电阻性质外，还受到碳纤维的体积含量、取向、排布方式等影响；碳纤维固化保温毡的电阻率具有不均匀性，硬质碳毡固有的弹性，受到不可避免外力时其形状和密度均会改变，导致测试样品的电阻测量结果分散性较大、误差大。

3、单晶硅生长炉用碳纤维固化保温毡，其内部纤维取向具有各向异性，另外碳纤维固化保温毡在使用环境中要承受高温和一定压力，因此需要开发一种可以在高温、真空和一定压力环境中，测试碳纤维固化保温毡体积电阻率的装置，满足单晶硅生产炉热场设计及其使用需求。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种碳纤维固化保温毡体积电阻率的测量装置，解决了碳纤维固化保温毡测试操作不便的问题。

2、为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种碳纤维固化保温毡体积电阻率的测量装置，包括真空试验箱，所述真空试验箱内壁底部的一侧设置有夹具，并且真空试验箱内壁底部的另一侧设置有控制器，所述夹具与控制器之间通过导线连接，所述夹具包括样品台，所述样品台的背面固定连接有箱体，并且箱体的顶部固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定连接有螺纹杆，并且螺纹杆的表面螺纹连接有滑块，所述滑块的一侧固定连接有活动板，并且活动板的底部与样品台的顶部均设置有电极，所述活动板的内部设置有压力传感器。

3、优选的，所述真空试验箱一侧的顶部固定连接有真空系统。

4、优选的，所述箱体的表面开设有与滑块相适配的滑槽。

5、优选的，所述样品台的底部固定连接有底座。

6、优选的，所述夹具的外部设置有精密高温烘箱。

7、优选的，所述真空试验箱内壁的一侧固定连接有机械手。

8、有益效果

9、本实用新型提供了一种碳纤维固化保温毡体积电阻率的测量装置。与现有技术相比具备以下有益效果：该碳纤维固化保温毡体积电阻率的测量装置，通过真空试验箱内壁底部的一侧设置有夹具，并且真空试验箱内壁底部的另一侧设置有控制器，夹具与控制器之间通过导线连接，夹具包括样品台，样品台的背面固定连接有箱体，并且箱体的顶部固定连接有伺服电机，伺服电机的输出端固定连接有螺纹杆，并且螺纹杆的表面螺纹连接有滑块，滑块的一侧固定连接有活动板，并且活动板的底部与样品台的顶部均设置有电极，活动板的内部设置有压力传感器，对碳纤维固化保温毡进行检测较为便利，直接将其放置在样品台上然后通过电极检测电压，再通过压力传感器检测压力，从而通过计算其导电率，机械手随意翻转样品，观察定位样品，可以获取较为准确的数据。

技术特征：

1.一种碳纤维固化保温毡体积电阻率的测量装置，包括真空试验箱(1)，其特征在于：所述真空试验箱(1)内壁底部的一侧设置有夹具(2)，并且真空试验箱(1)内壁底部的另一侧设置有控制器(3)，所述夹具(2)与控制器(3)之间通过导线(4)连接，所述夹具(2)包括样品台(21)，所述样品台(21)的背面固定连接有箱体(22)，并且箱体(22)的顶部固定连接有伺服电机(23)，所述伺服电机(23)的输出端固定连接有螺纹杆(24)，并且螺纹杆(24)的表面螺纹连接有滑块(25)，所述滑块(25)的一侧固定连接有活动板(26)，并且活动板(26)的底部与样品台(21)的顶部均设置有电极(27)，所述活动板(26)的内部设置有压力传感器(28)。

2.根据权利要求1所述的一种碳纤维固化保温毡体积电阻率的测量装置，其特征在于：所述真空试验箱(1)一侧的顶部固定连接有真空系统(5)。

3.根据权利要求1所述的一种碳纤维固化保温毡体积电阻率的测量装置，其特征在于：所述箱体(22)的表面开设有与滑块(25)相适配的滑槽(29)。

4.根据权利要求1所述的一种碳纤维固化保温毡体积电阻率的测量装置，其特征在于：所述样品台(21)的底部固定连接有底座(6)。

5.根据权利要求1所述的一种碳纤维固化保温毡体积电阻率的测量装置，其特征在于：所述夹具(2)的外部设置有精密高温烘箱(7)。

6.根据权利要求1所述的一种碳纤维固化保温毡体积电阻率的测量装置，其特征在于：所述真空试验箱(1)内壁的一侧固定连接有机械手(8)。

技术总结本技术公开了一种碳纤维固化保温毡体积电阻率的测量装置，包括真空试验箱，所述真空试验箱内壁底部的一侧设置有夹具，并且真空试验箱内壁底部的另一侧设置有控制器，所述夹具与控制器之间通过导线连接，所述夹具包括样品台，所述样品台的背面固定连接有箱体，并且箱体的顶部固定连接有伺服电机，伺服电机的输出端固定连接有螺纹杆，本技术涉及碳纤维固化保温毡技术领域。该碳纤维固化保温毡体积电阻率的测量装置，对碳纤维固化保温毡进行检测较为便利，直接将其放置在样品台上然后通过电极检测电压，再通过压力传感器检测压力，从而通过计算其导电率，机械手随意翻转样品，观察定位样品，可以获取较为准确的数据。技术研发人员：裴庆武受保护的技术使用者：常州京洋半导体材料科技有限公司技术研发日：20231027技术公布日：2024/7/23