磁检测装置的制作方法

本发明涉及一种磁检测装置。

背景技术：

1、专利文献1揭露封装化的磁检测装置的构成。专利文献1的磁检测装置具备引线框、安装于引线框的霍尔元件、及密封霍尔元件的密封树脂。

2、[背景技术文献]

3、[专利文献]

4、[专利文献1]日本专利特开2014-077730号公报

技术实现思路

1、[发明所要解决的问题]

2、作为提高磁检测装置的检测精度的方法，考虑通过在引线框等衬底与霍尔元件等磁检测元件之间，配置向磁检测元件引导磁通的集磁体，提高通过磁检测元件的磁通密度。在所述情况下，通过在衬底与磁检测元件之间插入集磁体，导致磁检测装置的高度尺寸变大。

3、[解决问题的技术方式]

4、本揭露的一形态也就是磁检测装置具备：磁检测元件；衬底，具有与所述磁检测元件对向的对向面；及集磁体，配置在所述磁检测元件与所述衬底之间，将磁通引导到所述磁检测元件；且所述衬底具有从所述对向面向所述磁检测元件的相反方向凹陷的凹部；所述集磁体的至少一部分配置在所述凹部内；所述集磁体包含从所述凹部的底面也就是凹部底面朝向所述磁检测元件立起的第1集磁部。

5、[发明的效果]

6、根据本发明，能够抑制高度尺寸的增加，且提高磁场的检测精度。

技术特征：

1.一种磁检测装置，其具备：磁检测元件；

2.根据权利要求1所述的磁检测装置，其中在所述衬底的厚度方向上，所述第1集磁部的所述磁检测元件侧的端部位于与所述衬底的所述对向面相同的位置或比所述对向面更靠所述磁检测元件侧。

3.根据权利要求1或2所述的磁检测装置，其中所述第1集磁部包含：柱状的支撑部，从所述凹部底面朝向所述磁检测元件立起；及磁性体膜，涂布在所述支撑部的表面。

4.根据权利要求3所述的磁检测装置，其中

5.根据权利要求4所述的磁检测装置，其中所述支撑倾斜部由与所述衬底相同的材料构成；且

6.根据权利要求5所述的磁检测装置，其中在所述衬底的厚度方向上，所述支撑倾斜部的长度长于所述支撑直立部的长度。

7.根据权利要求5所述的磁检测装置，其中在所述衬底的厚度方向上，所述支撑倾斜部的长度短于所述支撑直立部的长度。

8.根据权利要求4到7中任一权利要求所述的磁检测装置，其中所述支撑直立部的至少一部分位于比所述衬底的所述对向面更靠所述磁检测元件侧。

9.根据权利要求1到8中任一权利要求所述的磁检测装置，其中所述第1集磁部的侧面的至少一部分相对于所述衬底的所述对向面正交。

10.根据权利要求9所述的磁检测装置，其中所述第1集磁部是以所述衬底的厚度方向为高度方向的长方体形状。

11.根据权利要求1到10中任一权利要求所述的磁检测装置，其中所述集磁体包含：第2集磁部，在从所述衬底的厚度方向观察的俯视时，比所述第1集磁部更向侧方突出；且

12.根据权利要求11所述的磁检测装置，其中所述第2集磁部在所述俯视时，具有矩形状的外形。

13.根据权利要求1到12中任一权利要求所述的磁检测装置，其中所述衬底为si衬底。

技术总结本揭露的目的在于抑制高度尺寸的增加，且提高磁场的检测精度。本揭露的磁检测装置具备：磁检测元件；衬底，具有与磁检测元件对向的对向面；及集磁体，配置在磁检测元件与衬底之间，将磁通引导到磁检测元件。衬底具有从对向面向磁检测元件的相反方向凹陷的凹部。集磁体的至少一部分配置在所述凹部内。集磁体包含从凹部的底面也就是凹部底面朝向磁检测元件立起的第1集磁部。技术研发人员：桑原英治,樋口徹受保护的技术使用者：罗姆股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/23