一种用于超纯水检测的洁净取样装置的制作方法
- 国知局
- 2024-07-30 10:48:13
本技术涉及取样装置,具体为一种用于超纯水检测的洁净取样装置。
背景技术:
1、超纯水广泛应用在半导体生产中,其水质对产品良率有直接影响。超纯水制备系统设置在线仪表对水质进行监控,检测指标包括电阻率、总有机物、硼、硅、溶氧、颗粒等,但为了保证半导体生产安全,还需要定期对金属离子、无机阴离子、细菌等指标进行取样送检。但现有的超纯水取样器在取样过程中,极其容易引入空气从而造成对超纯水的污染,造成检测结果不准确,且操作不便。
2、因此,设计实用性强的一种用于超纯水检测的洁净取样装置是很有必要的。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种用于超纯水检测的洁净取样装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
2、为了解决上述技术问题,本实用新型提供如下技术方案:一种用于超纯水检测的洁净取样装置,包括箱体,所述箱体的内下表面设有滑槽,所述滑槽内滑动设置有滑动座,所述箱体的左侧内壁上固定连接有第一电动伸缩杆,所述第一电动伸缩杆的伸缩端与滑动座固定连接,所述滑动座内放置有取样瓶,所述取样瓶的上表面设有瓶塞,所述箱体内上表面的右侧固定连接有第二电动伸缩杆,所述第二电动伸缩杆的伸缩端固定连接有夹持机构,所述箱体上表面的中部位置处设有注水管,所述箱体的左侧设有氦气瓶,所述氦气瓶的上表面连接有进气管的一端,所述进气管的另一端伸进箱体内,所述箱体右侧面的下部设有排气管,所述排气管上设有控制阀。
3、根据上述技术方案,所述滑动座的前后两侧面均贯穿设置有紧固螺栓,所述紧固螺栓与滑动座螺纹连接,所述紧固螺栓的一端与取样瓶相抵。
4、根据上述技术方案,所述夹持机构包括连接壳体,所述连接壳体的上表面与第二电动伸缩杆的伸缩端固定连接,所述连接壳体的左侧面固定连接有驱动电机,所述驱动电机的输出端固定连接有双向螺旋螺纹杆,所述双向螺旋螺纹杆通过第一轴承伸进连接壳体内,所述双向螺旋螺纹杆的一端通过第二轴承与连接壳体转动连接,所述双向螺旋螺纹杆两端的螺纹处均螺纹套接有移动套,两个所述移动套的下表面均固定连接有连接杆的一端,所述连接杆的另一端伸出连接壳体并固定连接有夹板,所述连接壳体的下表面设有供连接杆移动的移动槽,所述连接壳体的左侧面并位于驱动电机的外侧固定连接有防护罩。
5、根据上述技术方案,所述箱体上表面的右侧设有气体检测仪。
6、根据上述技术方案,所述箱体的前表面铰接有密封门,所述密封门上设有观察窗,所述密封门前表面的右侧位置处固定连接有把手。
7、与现有技术相比,本实用新型所达到的有益效果是:本实用新型,通过箱体、滑槽、滑动座和第一电动伸缩杆的设置,可带动取样瓶进行左右移动,通过第二电动伸缩杆和夹持机构的设置,可实现将瓶塞从取样瓶取下,或是将瓶塞安放在取样瓶上,通过注水管的设置,从而便于将超纯水注入取样瓶中,通过氦气瓶、进气管、排气管和控制阀的设置,在进行取样注水时,可将箱体内的空气排出,避免箱体内的空气对超纯水造成污染。
技术特征:1.一种用于超纯水检测的洁净取样装置,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)的内下表面设有滑槽(2),所述滑槽(2)内滑动设置有滑动座(3),所述箱体(1)的左侧内壁上固定连接有第一电动伸缩杆(4),所述第一电动伸缩杆(4)的伸缩端与滑动座(3)固定连接,所述滑动座(3)内放置有取样瓶(5),所述取样瓶(5)的上表面设有瓶塞(6),所述箱体(1)内上表面的右侧固定连接有第二电动伸缩杆(7),所述第二电动伸缩杆(7)的伸缩端固定连接有夹持机构,所述箱体(1)上表面的中部位置处设有注水管(8),所述箱体(1)的左侧设有氦气瓶(9),所述氦气瓶(9)的上表面连接有进气管(10)的一端,所述进气管(10)的另一端伸进箱体(1)内,所述箱体(1)右侧面的下部设有排气管(11),所述排气管(11)上设有控制阀(12)。
2.根据权利要求1所述的一种用于超纯水检测的洁净取样装置,其特征在于:所述滑动座(3)的前后两侧面均贯穿设置有紧固螺栓(13),所述紧固螺栓(13)与滑动座(3)螺纹连接,所述紧固螺栓(13)的一端与取样瓶(5)相抵。
3.根据权利要求1所述的一种用于超纯水检测的洁净取样装置,其特征在于:所述夹持机构包括连接壳体(14),所述连接壳体(14)的上表面与第二电动伸缩杆(7)的伸缩端固定连接,所述连接壳体(14)的左侧面固定连接有驱动电机(15),所述驱动电机(15)的输出端固定连接有双向螺旋螺纹杆(16),所述双向螺旋螺纹杆(16)通过第一轴承(17)伸进连接壳体(14)内,所述双向螺旋螺纹杆(16)的一端通过第二轴承(18)与连接壳体(14)转动连接,所述双向螺旋螺纹杆(16)两端的螺纹处均螺纹套接有移动套(19),两个所述移动套(19)的下表面均固定连接有连接杆(20)的一端,所述连接杆(20)的另一端伸出连接壳体(14)并固定连接有夹板(21),所述连接壳体(14)的下表面设有供连接杆(20)移动的移动槽(22),所述连接壳体(14)的左侧面并位于驱动电机(15)的外侧固定连接有防护罩(23)。
4.根据权利要求1所述的一种用于超纯水检测的洁净取样装置,其特征在于:所述箱体(1)上表面的右侧设有气体检测仪(24)。
5.根据权利要求1所述的一种用于超纯水检测的洁净取样装置,其特征在于:所述箱体(1)的前表面铰接有密封门(25),所述密封门(25)上设有观察窗(26),所述密封门(25)前表面的右侧位置处固定连接有把手(27)。
技术总结本技术公开了一种用于超纯水检测的洁净取样装置,包括箱体,所述箱体的内下表面设有滑槽,所述滑槽内滑动设置有滑动座,所述箱体的左侧内壁上固定连接有第一电动伸缩杆,所述第一电动伸缩杆的伸缩端与滑动座固定连接,所述滑动座内放置有取样瓶,所述取样瓶的上表面设有瓶塞,所述箱体内上表面固定连接有第二电动伸缩杆,所述第二电动伸缩杆的伸缩端固定连接有夹持机构,所述箱体上表面设有注水管,所述箱体的左侧设有氦气瓶,所述氦气瓶上表面连接有进气管,所述进气管的一端伸进箱体内,所述箱体右侧面的下部设有排气管,本技术,具有实用性强和可避免空气对超纯水的污染,且方便操作的特点。技术研发人员:王昶晨,王晓燕,冒海燕受保护的技术使用者:沃威沃水技术(中国)有限公司技术研发日:20231113技术公布日:2024/7/23本文地址:https://www.jishuxx.com/zhuanli/20240730/154418.html
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