一种高精度线位移传感器全自动校准装置的制作方法

本技术涉及一种线位移传感器校准装置，具体涉及一种高精度线位移传感器全自动校准装置。

背景技术：

1、位移传感器是构成现代信息技术的三大支柱之一，线位移传感器是位移传感器的一种，在航天领域线位移传感器的使用尤为广泛，飞行器飞行的速度、加速度、位置、姿态等以及生产试验中都需要用到大量的线位移传感器。现有手动式线位移传感器校准装置存在准确度等级低、使用范围小等缺点，且无法满足某些科研生产任务。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是解决现有手动式线位移传感器校准装置存在的准确度等级低、使用范围小的问题，而提供一种高精度线位移传感器全自动校准装置。

2、为实现上述目的，本实用新型所提供的技术解决方案是：

3、一种高精度线位移传感器全自动校准装置，其特殊之处在于：

4、包括支架、设置在支架上的基座、设置在基座上的直线导轨、设置在直线导轨一端的激光干涉仪、可在直线导轨上移动的滑块、输出端与滑块相连的直线电机、与直线导轨平行设置的光栅尺、设置在滑块上的固定装置、设置在基座上且靠近直线导轨另一端的装夹机构，以及数据处理系统；所述激光干涉仪和光栅尺用于为高精度线位移传感器全自动校准装置提供长度基准；所述固定装置包括与滑块上端相连的连接板以及设置在连接板上的盒体，所述盒体的下部设置有第一夹缝；所述装夹机构包括机构底座、设置在机构底座上的x向平移模块、设置在x向平移模块上的y向平移模块、设置在y向平移模块上的水平转动模块、设置在水平转动模块上的俯仰调节模块以及设置在俯仰调节模块上的框体，框体的下部设置有与所述第一夹缝对应的第二夹缝，框体中设置有用于调整第二夹缝宽度的夹紧柱；所述数据处理系统包括与滑块连接的运动控制模块、与线位移传感器和滑块连接的数据采集模块以及与运动控制模块和数据采集模块连接的计算机；所述激光干涉仪、光栅尺分别与数据采集模块连接；线位移传感器为长条状，包括基础端和伸出端，所述第二夹缝用于穿设线位移传感器的基础端，所述第一夹缝用于穿设线位移传感器的伸出端。

5、进一步地，一种高精度线位移传感器全自动校准装置还包括多个限位器；所述限位器分为两组，每组包括两个限位器，两组限位器分别设置在直线导轨的两端。

6、进一步地，所述基座的材质为大理石，基座用于对其他组件提供稳定的基础。

7、进一步地，所述直线电机的u型定子采用水平安装的方式，可减少滑块表面的磁性，减少对特定类型传感器的电磁干扰。所述滑块与直线导轨之间采用球笼式滚珠结构连接。

8、进一步地，支架的下端设置有至少六个万向轮，便于装置整体的移动。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

10、1、本实用新型提供的高精度线位移传感器全自动校准装置，采用模块化设计，将固定装置和装夹机构作为独立的模块，均为可拆卸式连接，装卸便捷；计算机、运动控制模块、数据采集模块以及装置本体的相互配合，可实现对线位移传感器的全自动校准；

11、2、本实用新型提供的高精度线位移传感器全自动校准装置，装夹机构可实现x、y、z向三个自由度调节以及绕中心轴旋转、俯仰角调节，可将待测的线位移传感器置于最佳位置，校准精度高，其中用于z向调节的组件为夹紧柱；

12、3、本实用新型提供的高精度线位移传感器全自动校准装置，采用直线电机控制滑块运动，直线电机能够直接产生运动部件的直线运动，结构简单，且运动时噪音小、运动平稳，通过与直线导轨的配合，装置的稳定性更好，能够获得更高的控制精度。

技术特征：

1.一种高精度线位移传感器全自动校准装置，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的高精度线位移传感器全自动校准装置，其特征在于：

3.根据权利要求1或2所述的高精度线位移传感器全自动校准装置，其特征在于：

4.根据权利要求3所述的高精度线位移传感器全自动校准装置，其特征在于：

5.根据权利要求4所述的高精度线位移传感器全自动校准装置，其特征在于：

技术总结本技术涉及一种线位移传感器校准装置，为解决现有手动式线位移传感器校准装置存在的准确度等级低、使用范围小的问题，而提供一种高精度线位移传感器全自动校准装置。本技术包括支架、设置在支架上的基座、设置在基座上的直线导轨、设置在直线导轨一端的激光干涉仪、可在直线导轨上移动的滑块、输出端与滑块相连的直线电机、与直线导轨平行设置的光栅尺、设置在滑块上的固定装置、设置在基座上且靠近直线导轨另一端的装夹机构，以及数据处理系统；激光干涉仪和光栅尺用于为高精度线位移传感器全自动校准装置提供长度基准。固定装置包括与滑块上端相连的连接板以及设置在连接板上的盒体，盒体的下部设置有第一夹缝。技术研发人员：马车,赵米锋,朱锴,杨曦,高锦东,杜龙,薛小平受保护的技术使用者：西安航天计量测试研究所技术研发日：20231206技术公布日：2024/7/25