一种自动侦测Z轴高度的针卡板的制作方法

本申请涉及晶圆测试，尤其是涉及一种自动侦测z轴高度的针卡板。

背景技术：

1、目前晶圆测试是采用针卡对晶圆进行通电测试，其中x/y轴可透过显微镜轻松对位，但z轴无法直观判断针卡与晶圆接触情况，只能靠有经验的工程师，通过显微镜判断针尖的变化情况，来判定，但此经验仍会造成接触太少或太深情况，造成误测或压碎晶圆情况。

技术实现思路

1、为了克服现有技术中存在的问题，本申请提供一种自动侦测z轴高度的针卡板。

2、本申请提供的一种自动侦测z轴高度的针卡板采用如下的技术方案：

3、一种自动侦测z轴高度的针卡板，包括基板，基板安装在底座上，其中基板上安装有探针，基板上还安装有若干根跟踪针，其中跟踪针分别连接在基板外侧的gnd电路上，且跟踪针通过电子继电器连接晶圆测试设备；探针和跟踪针均与载物台上的晶圆对应。

4、通过采用上述技术方案，基板上安装的探针位于其底部，晶圆测试设备控制基板沿z轴向下移动将探针与载物台上的晶圆接触进行检测。同时安装在基板上的若干跟踪针也和探针一起向下移动，当均匀分布在基板上的跟踪针与探针一起沿着z轴移动，当跟踪针只有部分接触到晶圆时，设备的z轴持续向下，当所有跟踪针接触到晶圆时，跟踪针之间形成回路，触发电子继电器，使得电子继电器将讯号传递给晶圆测试设备，控制z轴停止向下。

5、优选的，跟踪针均匀分布在探针两侧。

6、优选的，跟踪针设有2-4根，且跟踪针环形分布基板与晶圆的对应处。

7、通过采用上述技术方案，跟踪针均匀分布并且设置在探针两侧，当跟踪针均与晶圆接触后，说明设置在跟踪针之间的探针均已与晶圆接触，从而保证晶圆测试的精度。

8、优选的，晶圆测试设备上还安装有插座，电子继电器的端部通过插头与晶圆测试设备上的插座连接。

9、通过采用上述技术方案，晶圆测试设备上安装的插座方便电子继电器端部通过插头与插座进行连接。

10、优选的，探针安装在基板的中间区域，探针的一端固定在基板上，另一端为自由端，自由端用于接触载物台上的晶圆。

11、综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

12、1.本申请实现针卡对位自动化，使产品更稳定，不在受到人为判断的影响；

13、2.有效提高产品良率，在较薄的晶圆采用此针卡，可以有效防止破片现象。

技术特征：

1.一种自动侦测z轴高度的针卡板，其特征在于：包括基板(1)，所述基板(1)安装在底座(2)上，其中基板(1)上安装有探针(3)，所述基板(1)上还安装有若干根跟踪针(4)，其中跟踪针(4)分别连接在基板(1)外侧的gnd电路(5)上，且跟踪针(4)通过电子继电器(6)连接晶圆(9)测试设备(7)；所述探针(3)和跟踪针(4)均与载物台(8)上的晶圆(9)对应。

2.根据权利要求1所述的一种自动侦测z轴高度的针卡板，其特征在于：所述跟踪针(4)均匀分布在探针(3)两侧。

3.根据权利要求2所述的一种自动侦测z轴高度的针卡板，其特征在于：所述跟踪针(4)设有2-4根，且跟踪针(4)环形分布基板(1)与晶圆(9)的对应处。

4.根据权利要求1所述的一种自动侦测z轴高度的针卡板，其特征在于：所述晶圆(9)测试设备(7)上还安装有插座(71)，电子继电器(6)的端部通过插头(61)与晶圆(9)测试设备(7)上的插座(71)连接。

5.根据权利要求1所述的一种自动侦测z轴高度的针卡板，其特征在于：所述探针(3)安装在基板(1)的中间区域，探针(3)的一端固定在基板(1)上，另一端为自由端，所述自由端用于接触载物台(8)上的晶圆(9)。

技术总结本申请涉及晶圆测试技术领域，一种自动侦测Z轴高度的针卡板，包括基板，基板安装在底座上，其中基板上安装有探针，基板上还安装有若干根跟踪针，其中跟踪针分别连接在基板外侧的GND电路上，且跟踪针通过电子继电器连接晶圆测试设备；探针和跟踪针均与载物台上的晶圆对应。本申请实现了针卡对位的自动化，提高产品的良率，适用于较薄的晶圆的测试。技术研发人员：张治强,卢冠华,李子忻,黄坤受保护的技术使用者：江苏长晟半导体科技有限公司技术研发日：20231114技术公布日：2024/7/25