供气系统及检测设备的制作方法

本申请涉及半导体设备，特别是涉及供气系统及检测设备。

背景技术：

1、在半导体领域中，利用检测设备对晶圆等被检测工件进行质量检测。检测设备中，用于承载晶圆的载片装置通常需要隔振装置对其载片平台予以支撑，以实现载气平台隔离振动的目的。在相关技术中，隔振装置采取空气弹簧等利用压缩气体来实现浮动支撑的减振隔振方案，供气气压稳定性是影响隔振装置的隔振效果的重要因素。

2、同时，在检测设备中，通常在其内部配备静电消除装置，向静电消除装置通入气体时，静电消除装置可产生消除被检测工件表面的离子以及检测设备内部离子的物质，提高检测设备内部的洁净度。

3、相关技术的检测设备中，隔振装置与静电消除装置单独供气，导致供气成本较高；而且，隔振装置的隔振效果容易受供气气压影响而隔振效果欠佳。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对检测设备的供气成本较高且隔振装置隔振效果欠佳的问题，提供一种供气系统及检测设备。

2、第一方面，本申请提供了一种供气系统，包括：

3、总气路，具有进气端和出气端，所述进气端用于连通气源；

4、至少两个分支气路，各所述分支气路独立的与所述出气端连通；所述至少两个分支气路包括第一分支气路和第二分支气路，所述第一分支气路用于与静电消除装置供气连通；

5、储气罐，设置于所述第二分支气路，用于向与所述第二分支气路连通的隔振装置供气。

6、在一些实施例中，所述供气系统还包括第一过滤件，所述第一过滤件设置于所述第一分支气路。

7、在一些实施例中，所述供气系统还包括调节阀，所述调节阀设置于所述第一分支气路。

8、在一些实施例中，所述供气系统还包括第一分气件，所述第一分气件设置于所述第二分支气路；

9、所述第一分气件包括进气口和多个出气口，所述进气口与所述储气罐连通，各所述出气口分别用于连通同一所述隔振装置的各弹性隔振部。

10、在一些实施例中，所述供气系统还包括第二过滤件，所述第二过滤件设置于所述总气路。

11、在一些实施例中，所述供气系统包括所述第二过滤件和所述第一过滤件，所述第一过滤件的流通量小于所述第二过滤件的流通量，且所述第一过滤件的过滤孔径低于所述第二过滤件的过滤孔径。

12、在一些实施例中，所述至少两个分支气路还包括第三分支气路和/或第四分支气路；所述第三分支气路用于向上料装置供气，所述第四分支气路用于向载片装置供气。

13、第二方面，本申请还提供了一种检测设备，包括：

14、腔体；

15、载片装置，位于所述腔体内，用于支撑被检测工件；

16、检测装置，位于所述腔体内，用于对承载于所述载片装置的所述被检测工件执行检测操作；

17、静电消除装置，用于向所述腔体内输送静电消除物质；

18、隔振装置，所述载片装置安装于所述隔振装置上；及

19、如上述任一项实施例所述的供气系统，所述第一分支气路与所述静电消除装置供气连通，所述第二分支气路与所述隔振装置连通。

20、在一些实施例中，所述检测设备还包括上料装置，所述上料装置用于向所述载片装置输送所述被检测工件。

21、在一些实施例中，所述隔振装置包括多个弹性隔振部，全部所述弹性隔振部共同支撑所述载片装置，各所述弹性隔振部被配置为独立的与所述第二分支气路连通，且可随内部气体含量变化而在支撑所述载片装置的方向上浮动。

22、上述供气系统及检测设备，通过总气路连通气源，并通过多个分支气路将气源流出的气体进行分流，实现一个气源向静电消除装置和隔振装置同时供气，“一气源多用”进而降低供气成本。而且，该供气系统配备有储气罐，储气罐设置在用于连通隔振装置的第二分支气路上，利用储气罐存储气体并稳定气体气压，使得流向隔振装置的气体气压稳定性较好，可提高隔振装置的隔振效果，有利于提高检测设备的检测结果的准确性。

技术特征：

1.一种供气系统(100)，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的供气系统(100)，其特征在于，所述供气系统(100)还包括第一过滤件(140)，所述第一过滤件(140)设置于所述第一分支气路(121)。

3.根据权利要求1或2所述的供气系统(100)，其特征在于，所述供气系统(100)还包括调节阀(160)，所述调节阀(160)设置于所述第一分支气路(121)。

4.根据权利要求1或2所述的供气系统(100)，其特征在于，所述供气系统(100)还包括第一分气件(170)，所述第一分气件(170)设置于所述第二分支气路(122)；

5.根据权利要求1或2所述的供气系统(100)，其特征在于，所述供气系统(100)还包括第二过滤件(150)，所述第二过滤件(150)设置于所述总气路(110)。

6.根据权利要求5所述的供气系统(100)，其特征在于，所述供气系统(100)还包括设置于所述第一分支气路(121)的第一过滤件(140)，所述第一过滤件(140)的流通量小于所述第二过滤件(150)的流通量，且所述第一过滤件(140)的过滤孔径低于所述第二过滤件(150)的过滤孔径。

7.根据权利要求5所述的供气系统(100)，其特征在于，所述至少两个分支气路(120)还包括第三分支气路(123)和/或第四分支气路(124)；

8.一种检测设备(1000)，其特征在于，包括：

9.根据权利要求8所述的检测设备(1000)，其特征在于，所述检测设备(1000)还包括上料装置(400)，所述上料装置(400)用于向所述载片装置(500)输送所述被检测工件。

10.根据权利要求8所述的检测设备(1000)，其特征在于，所述隔振装置(200)包括多个弹性隔振部(201)，全部所述弹性隔振部(201)共同支撑所述载片装置(500)，各所述弹性隔振部(201)被配置为独立地与所述第二分支气路(122)连通，且可随内部气体含量变化而在支撑所述载片装置(500)的方向上浮动。

技术总结本申请涉及一种供气系统及检测设备，供气系统包括总气路、至少两个分支气路和储气罐。总气路具有进气端和出气端，进气端用于连通气源。各分支气路独立的与出气端连通。至少两个分支气路包括第一分支气路和第二分支气路，第一分支气路用于与静电消除装置供气连通，储气罐设置于第二分支气路，用于向与第二分支气路连通的隔振装置供气。本申请的技术方案，通过总气路和多个分支气路可实现一个气源向静电消除装置和隔振装置同时供气，“一气源多用”进而降低供气成本。而且利用储气罐存储气体并稳定气体气压，使得流向隔振装置的气体气压稳定性较好，可提高隔振装置的隔振效果，有利于提高检测设备的检测结果的准确性。技术研发人员：雷传,吴灿,孟恒,许康,徐益飞,杜振东受保护的技术使用者：长川科技（苏州）有限公司技术研发日：20231012技术公布日：2024/5/19