一种氨气充装设备及系统的制作方法

本技术涉及半导体生产，尤其涉及一种氨气充装设备及系统。

背景技术：

1、在半导体工艺中，常用到一些特种气体，例如氨气。根据不同的生产工艺，会采用不同的储存介质储存氨气。常用的储存介质包括槽车、t瓶、钢瓶等。

2、在使用上述储存介质前，需要对储存介质进行特种气体充装。在现有的充装系统中，一般包括以下流程：1)对槽车、t瓶进行加热，以使残留的液态氨转换为气态氨；2)采用直接充装或低真空充装对槽车、t瓶、钢瓶直接进行氨气充装。

3、然而，现有的充装系统存在以下问题：1)在加热过程中，容易出现压力过高的问题，进而容易引发爆炸；2)特种气体源直接对槽车、t瓶、钢瓶进行充装，无法对充装的氨气进行分析，容易出现氨气质量不稳定的问题；3)采用直接充装或低真空充装时，由于充装管道以及压缩机残存空气，导致管道的洁净度差，进而影响充装的氨气质量；4)由于未对氨气进行分析，无法保证充装过程中氨气质量的一致性；5)在充装完毕时，充装管路会残留氨气，直接排放容易造成环境污染。

4、目前针对相关技术中存在的加热压力高导致爆炸、氨气质量不稳定、管道洁净度低、氨气直接排放造成环境污染等问题，尚未提出有效的解决方案。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是针对现有技术中的不足，提供一种氨气充装设备及系统，以解决相关技术中存在的加热压力高导致爆炸、氨气质量不稳定、管道洁净度低、氨气直接排放造成环境污染等问题。

2、为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案是：

3、第一方面，提供一种氨气充装设备，包括：

4、充装模块，所述充装模块分别与氨气源、储存设备连通，用于获取并传输氨气至储存设备；

5、过滤模块，所述过滤模块与所述充装模块连通，用于对氨气进行过滤；

6、氮气吹扫模块，所述氮气吹扫模块分别与氮气源、所述充装模块连通，用于使用氮气对所述充装模块进行吹扫；

7、氦气吹扫模块，所述氦气吹扫模块分别与氦气源、所述充装模块连通，用于使用氦气对所述充装模块进行吹扫；

8、分析模块，所述分析模块与所述充装模块连通，用于分析氨气；

9、第一回收模块，所述第一回收模块分别与所述充装模块、一级冷凝系统连通，用于回收氨气；

10、尾气处理模块，所述尾气处理模块分别与所述充装模块、尾气处理系统连通，用于处理尾气；

11、第一泄压模块，所述第一泄压模块与所述充装模块连通，用于泄压。

12、在其中的一些实施例中，还包括：

13、第二泄压模块，所述第二泄压模块与所述充装模块连通，用于泄压。

14、在其中的一些实施例中，还包括：

15、第一压力监测模块，所述第一压力监测模块与所述充装模块连通，用于监测所述充装模块的压力。

16、在其中的一些实施例中，还包括：

17、第一负压模块，所述第一负压模块分别与所述尾气处理模块、尾气处理系统连通，用于向所述尾气处理模块提供负压环境，以使所述充装模块的气体传输至所述尾气处理模块。

18、在其中的一些实施例中，还包括：

19、第二负压模块，所述第二负压模块与所述第一负压模块连通，用于提供负压环境。

20、在其中的一些实施例中，还包括：

21、第二压力监测模块，所述第二压力监测模块与所述第一负压模块连通，用于监测所述第一负压模块的压力。

22、在其中的一些实施例中，还包括：

23、第二回收模块，所述第二回收模块分别与储存设备、三级冷凝系统连通，用于回收氨气。

24、第二方面，提供一种氨气充装系统，包括：

25、如第一方面所述的氨气充装设备，所述氨气充装设备分别与氨气源、储存设备连通，用于获取并传输氨气至储存设备，以及获取储存设备传输的气态氨气；

26、加热设备，所述加热设备设置于储存设备的侧部，用于加热储存设备以使储存设备的液态氨气转换为气态氨气；

27、重量检测设备，所述重量检测设备设置于储存设备的底部，用于检测储存设备的重量。

28、本实用新型采用以上技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：

29、本实用新型的一种氨气充装设备及系统，设置氮气吹扫模块和氦气吹扫模块分别进行氮气吹扫和氦气吹扫，可以将未被利用和蒸发冷凝的氨气持续补充到相应的管路，不仅提高了氨气的利用效率，同时提高了气体的纯度；设置分析模块、第一回收模块和第二回收模块，在氨气合格的情况下，将氨气进行一级冷凝回收；在氨气不合格的情况下，将氨气进行三级冷凝回收；设置尾气处理模块，对没有完全利用或冷凝的气体进行处理，减少对环境的污染；设置第一泄压模块，防止加热过程中压力突然增大导致爆炸意外，提高系统安全性。

技术特征：

1.一种氨气充装设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的氨气充装设备，其特征在于，所述充装模块包括：

3.根据权利要求1所述的氨气充装设备，其特征在于，所述过滤模块包括：

4.根据权利要求1所述的氨气充装设备，其特征在于，还包括：

5.根据权利要求4所述的氨气充装设备，其特征在于，所述第二泄压模块包括：

6.根据权利要求4～5任一所述的氨气充装设备，其特征在于，还包括：

7.根据权利要求6所述的氨气充装设备，其特征在于，所述第一负压模块还包括：

8.根据权利要求6所述的氨气充装设备，其特征在于，还包括：

9.根据权利要求8所述的氨气充装设备，其特征在于，所述第二压力监测模块包括：

10.一种氨气充装系统，其特征在于，包括：

技术总结本技术涉及一种氨气充装设备及系统，氨气充装设备包括充装模块、过滤模块、氮气吹扫模块、氦气吹扫模块、分析模块、第一回收模块、尾气处理模块和第一泄压模块。其优点在于，设置氮气吹扫模块和氦气吹扫模块分别进行氮气吹扫和氦气吹扫，可以将未被利用和蒸发冷凝的氨气持续补充到相应的管路，提高了氨气的利用效率，同时提高了气体的纯度；设置分析模块、第一回收模块和第二回收模块，在氨气合格的情况下，将氨气进行一级冷凝回收；在氨气不合格的情况下，将氨气进行三级冷凝回收；设置尾气处理模块，对没有完全利用或冷凝的气体进行处理，减少对环境的污染；设置第一泄压模块，防止加热过程中压力突然增大导致爆炸意外，提高系统安全性。技术研发人员：纪雪峰,陈亮,范威威受保护的技术使用者：上海良薇机电工程有限公司技术研发日：20231027技术公布日：2024/5/29