桨结构、运输装置以及加工设备的制作方法

本发明涉及半导体加工领域，具体涉及一种桨结构、运输装置以及加工设备。

背景技术：

1、在对半导体材料进行加工时，通常采用扩散、镀膜等热制程的工艺设备，其中，桨结构为一种用于运输半导体材料的结构，其中，桨结构通常由桨柄和桨叶组成，桨叶用于承载舟托和舟结构。。

2、相关技术中，为了提高产能通常增长桨结构的长度，以使桨结构能够承载更多的半导体材料，但是桨结构越长，桨叶一端下垂变形越严重，越容易发生断裂。因此，如何在扩大产能的同时避免桨结构断裂成为亟待解决的问题。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，提出了本申请。本申请实施例提供了一种桨结构、运输装置以及加工设备。

2、第一方面，本申请一实施例提供了一种桨结构，包括：桨柄；桨叶，桨叶的第一端与桨柄连接，桨叶被配置为承载舟托，其中，舟托被配置为承载舟结构，舟结构被配置为承载片状材料；支撑结构，与桨叶连接并凸出桨叶的上表面，支撑结构被配置为承载舟托中的至少部分舟结构。

3、在一些实施例中，支撑结构在桨叶的延伸方向上伸出桨叶的第二端；或者，支撑结构水平连接于桨叶的侧边。

4、在一些实施例中，所述桨叶具有沿所述桨叶的延伸方向的承载槽；其中，所述支撑结构部分设置于所述承载槽内。

5、在一些实施例中，所述承载槽的横截面形状包括矩形或梯形，所述支撑结构为长条形，所述支撑结构的横截面形状包括矩形；其中，所述支撑结构的延伸方向与所述承载槽的延伸方向相同，所述支撑结构的下表面与所述承载槽的槽底接触。

6、在一些实施例中，所述支撑结构的横截面形状包括矩形环。

7、在一些实施例中，桨叶与支撑结构可拆卸连接。

8、在一些实施例中，所述支撑结构具有第一销孔，所述桨叶具有第二销孔；其中，所述桨结构还包括：销，插入所述第一销孔和所述第二销孔。

9、在一些实施例中，所述桨结构还包括：加强件，所述加强件的一端与所述桨柄连接，所述加强件的另一端与所述桨叶连接。

10、在一些实施例中，所述加强件由所述桨柄的上表面延伸至所述承载槽的槽底。

11、在一些实施例中，所述支撑结构的材质为碳化硅、石英、陶瓷、金属中的任一种。

12、第二方面，本申请一实施例提供了一种运输装置，包括：上述第一方面任一的桨结构，被配置为承载舟托，舟托被配置为承载舟结构，舟结构被配置为承载片状材料；桨座，与桨结构连接，被配置为承载桨结构；驱动结构，与桨座连接，被配置为驱动桨座和桨结构运动，以运输舟托、舟结构和片状材料。

13、第三方面，本申请一实施例提供了一种加工设备，包括：框架；反应系统，反应系统设置于框架内；以及如上述第二方面所述的运输装置，运输装置设置于框架内，运输装置将舟托、舟结构和片状材料运输至反应系统内加工。

14、本申请实施例提出了桨结构、运输装置以及加工设备，其中桨结构中，若由桨叶承载舟托和舟结构的全部重量，桨叶第二端变形严重，因此，桨叶上负载的舟托和舟结构的第一重心会靠近桨叶的第二端；而本申请中支撑结构的上表面高于桨叶的上表面，因此可以由支撑结构承载至少部分舟结构，同时由桨叶承载舟托(以及部分舟结构)以及支撑结构，由于支撑结构负载较少变形程度较小，舟托(以及部分舟结构)、支撑结构以及支撑结构上承载的至少部分舟结构的第二重心相较于第一重心，会更靠近桨叶的第一端，从而减少桨叶的形变程度，提升桨叶的使用寿命，有效地降低桨叶的断裂概率。

技术特征：

1.一种桨结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的桨结构，其特征在于，所述支撑结构在所述桨叶的延伸方向上伸出所述桨叶的第二端；

3.根据权利要求1或2所述的桨结构，其特征在于，所述桨叶具有沿所述桨叶的延伸方向的承载槽；

4.根据权利要求3所述的桨结构，其特征在于，所述承载槽的横截面形状包括矩形或梯形，所述支撑结构为长条形，所述支撑结构的横截面形状包括矩形；

5.根据权利要求4所述的桨结构，其特征在于，所述支撑结构的横截面形状包括矩形环。

6.根据权利要求1或2所述的桨结构，其特征在于，所述桨叶与所述支撑结构可拆卸连接。

7.根据权利要求6所述的桨结构，其特征在于，所述支撑结构具有第一销孔，所述桨叶具有第二销孔；

8.根据权利要求1或2所述的桨结构，其特征在于，所述桨结构还包括：

9.根据权利要求8所述的桨结构，其特征在于，所述加强件由所述桨柄的上表面延伸至所述承载槽的槽底。

10.根据权利要求1或2所述的桨结构，其特征在于，所述支撑结构的材质为碳化硅、石英、陶瓷、金属中的任一种。

11.一种运输装置，其特征在于，包括：

12.一种加工设备，其特征在于，包括：

技术总结本申请提供了一种桨结构、运输装置以及加工设备，涉及半导体加工领域，解决了在扩大产能的同时避免桨结构断裂的技术问题。桨结构包括：桨柄、桨叶和支撑结构。若由桨叶承载舟托和舟结构的全部重量，桨叶第二端变形严重，桨叶上负载的舟托和舟结构的第一重心会靠近桨叶的第二端；而本申请中支撑结构的上表面高于桨叶的上表面，因此可以由支撑结构承载至少部分舟结构，同时由桨叶承载舟托(以及部分舟结构)以及支撑结构，由于支撑结构负载较少变形程度较小，舟托(以及部分舟结构)、支撑结构以及支撑结构上承载的至少部分舟结构的第二重心相较于第一重心，会更靠近桨叶的第一端，从而减少桨叶的形变程度，有效地降低桨叶的断裂概率。技术研发人员：万林,朱太荣,林佳继受保护的技术使用者：拉普拉斯新能源科技股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/29